在弧矢方向偏離2.1mm,IMA:-2.115,0.000mm為所成的像點(diǎn)在子午方向無偏離,在弧矢方向偏離-2.115mm。如圖3a至圖3c所示,在按照上述方式設(shè)計(jì)由成像物鏡6與感光元件7所組成的成像系統(tǒng)的MTF值后,不論被測物體在激光位移傳感器量程內(nèi)的什么位置,best終所呈現(xiàn)的光斑均為長條狀,且長條狀的光斑在子午方向(T)上被拉長,而在弧矢(S)方向上被壓縮。這樣,就能夠使得光斑與像元之間的接觸面積增大,使得光斑更加容易地被感光元件所接收,能夠更好地應(yīng)對使用中因?yàn)檎駝?dòng)或機(jī)械變形等隨帶來的不良影響。同時(shí),還能夠降低成像物鏡的設(shè)計(jì)難度,降低成本。不僅如此,由于光斑在弧矢方向上被壓縮,所以更加容易確定光斑在弧矢方向上的中心位置,有助于提高測量精度。另外,光斑在子午方向上的拉長,并不會(huì)影響測量精度。激光技術(shù)的應(yīng)用使得這種傳感器具有高分辨率和高靈敏度,能夠滿足各種精密測量需求。防水激光位移傳感器答疑解惑
本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題,在于提供一種激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置,通過該裝置來提高檢驗(yàn)的精度,減小設(shè)備尺寸節(jié)約空間。本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置,包括一可伸縮導(dǎo)軌、一微調(diào)裝置、一傳感器夾持裝置、一激光位移傳感器以及一激光紅外線接收擋板;所述微調(diào)裝置和傳感器夾持裝置設(shè)于所述可伸縮導(dǎo)軌的上端;所述激光位移傳感器夾持在所述傳感器夾持裝置上,且使所述激光位移傳感器的激光發(fā)射端朝向所述微調(diào)裝置;所述激光紅外線接收擋板與所述微調(diào)裝置固接,且使所述激光紅外線接收擋板的接收面朝向所述傳感器夾持裝置。銷售激光位移傳感器市場價(jià)格激光位移傳感器可以用于測量光學(xué)元件的位置和形狀。
要想在工作范圍內(nèi)得到好的光斑質(zhì)量,可采用柱面鏡或非球面實(shí)現(xiàn),另外波前編碼和切趾法在延拓焦深方面也有很好的效果[3,4],但這樣的光學(xué)系統(tǒng)相對較復(fù)雜,元件較多,不宜裝調(diào),成本也會(huì)增長。因此,在精度允許的情況下,可考慮全部采用球面鏡,不考慮焦深延拓,用變倍的方法實(shí)現(xiàn)在40、45、50、55、60mm物距處光斑大小盡量均勻一致。根據(jù)光譜分布,設(shè)定中心波長權(quán)重為3,邊緣波長權(quán)重為1。要消掉少量的色差,系統(tǒng)至少需要兩片鏡片。根據(jù)以上要求選定了一個(gè)初始結(jié)構(gòu),經(jīng)過優(yōu)化得到以下best設(shè)計(jì)結(jié)果。圖2為優(yōu)化后的鏡頭結(jié)構(gòu)(像距在50mm處)。表1為effective工作范圍內(nèi)軸上視場的光斑大小分布。
在一個(gè)實(shí)施例中,激光位移傳感器通過調(diào)整成像物鏡6與感光元件7之間的距離,在空間頻率為62.5lp/mm處,MTFS大于10倍的MTFT,其中,MTFS為量程內(nèi)被測點(diǎn)在S方向的MTF值,MTFT為量程內(nèi)被測點(diǎn)在T方向的MTF值,曲線1為物點(diǎn)在子午方向和弧矢方向上都沒有偏離的MTFT值,曲線2為物點(diǎn)在子午方向和弧矢方向上都沒有偏移的MTFS值;曲線3為物點(diǎn)在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無偏離的MTFT值;曲線4為物點(diǎn)在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無偏離的MTFS值;曲線5為物點(diǎn)在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無偏離的MTFT值;曲線6為物點(diǎn)在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無偏離的MTFS值(其中,在弧矢方向內(nèi),向光軸以里偏離為正,向光軸以外偏離為負(fù))。在一具體實(shí)施例中,在空間頻率為62.5lp/mm處,量程內(nèi)被測點(diǎn)的MTFS≥0.5,MTFT<0.05。類似地,在采用上述方式1的情況CN10685539 1B6下,同樣可以保證成像物鏡的MTFT和MTFS滿足這些條件。這種傳感器還可以用于測量建筑物的結(jié)構(gòu)變形,以確保其安全性。
在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽踊∈赶虻那闆r下,成像物鏡本身的MTFS>MTFT、或者在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下,成像物鏡本身的MTFT>MTFS,使得解析結(jié)果滿足條件;和/或在成像物鏡前和/或在成像物鏡后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件,并且配合微調(diào)所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對距離使得解析結(jié)果滿足條件。反光元件,反光元件設(shè)置在成像物鏡的出射光路上,成像物鏡的出射光經(jīng)反光元件反射后,入射到感光元件。它還可以用于測量材料的膨脹和收縮,以研究其熱學(xué)性質(zhì)。寧德激光位移傳感器定做
激光位移傳感器是利用激光技術(shù)進(jìn)行測量的傳感器。防水激光位移傳感器答疑解惑
激光位移傳感器的測量精度容易受到被測物體表面特征的影響,為了減小測量誤差,在整形鏡設(shè)計(jì)中應(yīng)盡量使出射光斑在有效的測量范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)光斑小且均勻。針對傳感頭小型化設(shè)計(jì)的要求,半導(dǎo)體激光器體積小、重量輕的優(yōu)點(diǎn)正好符合這一要求,但其光束質(zhì)量并不理想,需要對其進(jìn)行光束整形。半導(dǎo)體激光器快慢軸的光束分布極不對稱:快軸發(fā)散角較大,半角的典型值為30~40°,光束呈高斯分布,發(fā)光范圍的半寬度為0.6~0.8μm,慢軸發(fā)散角的半角典型值為3~6°,光束分布不規(guī)則,發(fā)光范圍半寬度為50~100μm。因此,在不允許能量損失的情況下,要求整形系統(tǒng)的物方數(shù)值孔徑(NA)>0.573;但由于光束的快軸能量呈高斯分布,通常取半寬度(FWHM)為20°,此時(shí)NA=0.342。系統(tǒng)物距應(yīng)盡量小一些,但考慮到工藝問題,不宜過小,選定為2.5mm。為了便于設(shè)計(jì),將系統(tǒng)倒置,整個(gè)系統(tǒng)的主要要求為:工作波長為785±10nm,像方NA=0.342,像距l(xiāng)′=2.5mm,物距l(xiāng)=40~60mm,焦距f=3~4mm。防水激光位移傳感器答疑解惑