8.根據權利要求7所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述機殼設置有兩層，所述聚焦透鏡組位于所述機殼的上層，所述感光元件位于所述機殼的下層，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組，所述光線轉向鏡組包括有上反光鏡，設置在所述上反光鏡下方位置的下反光鏡，所述光線轉向鏡組用于將上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜共焦位移傳感探頭還設置有提示組件，所述提示組件包括有：發(fā)光件，所述發(fā)光件設置在光源耦合器中；導光光纖，所述導光光纖的一端連接在所述光源耦合器中且另一端延伸連接在探頭殼體的側壁上，所述導光光纖用于傳導所述發(fā)光件所發(fā)出的提示光。10.根據權利要求9所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述入射光纖，接收光纖，導光光纖外表面套設有保護套，所述保護套一端固定設置在探頭殼體內。該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡的成像范圍限制。嘉興光譜共焦位移傳感器產品基本性能要求

這樣，通過棱鏡組對接收光纖的出光端發(fā)出的多色光進行色散，色散后的光通過聚焦透鏡組進行聚焦，使焦點位于感光元件上，通過感光元件與控制電路電性連接，從而實現(xiàn)電信號輸出，即對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產生對應關系；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析，通過波光譜波峰位置反推出被測物體的位移，實現(xiàn)使用光譜共焦原理測量位移的過程。本實施例采用棱鏡組進行色散，具有較小的光能量損失。鄭州如何光譜共焦位移傳感器該傳感器的應用將有助于提高微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領域中的精密測量的準確性和效率。

在接收光纖的出光端可裝配連接有光譜儀，當光譜儀與接收光纖的出光端裝配好后，光譜儀與接收光纖的出光端實現(xiàn)固定連接，光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。這樣，通過光源耦合器產生多色光，多色光在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內；通過光譜共焦位移傳感探頭內的透鏡組和光學元件使多色光發(fā)生光譜色散，不同波長的單色光聚焦到不同的軸向高度，使波長與被測物體的位移產生對應關系；

發(fā)光件和導光光纖的入光端之間，固定設置有濾光片，濾光片固定設置在發(fā)光件和導光光纖之間，濾光片用于過濾紅外線，以減少光熱效應高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時，使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側壁上開設有沉孔，連接導光光纖的出光端的插槽開設在沉孔底部，且導光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接；這樣，通過沉孔的設置，在探頭殼體上形成對導光光纖連接位進行避讓，避免使用者在使用過程中觸碰到導光光纖，從而影響影響導光光纖，或損傷導光光纖與探頭殼體的連接位。光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸式位移傳感器。

激光位移傳感器的工作原理是利用激光發(fā)射光束投射到被測物體表面，接收反射光并將光信號轉換為電信號輸出，從而獲取被測物體空間位置信息。根據激光源發(fā)射光束的不同，激光傳感器可分為點、線兩種。點激光位移傳感器在一個采樣周期內只能獲得被測量的一維信息，使用時通常依托于三坐標測量機或三坐標機床等設備，通過設備機械運動及傳感器同步掃描來獲取被測物體三維信息。因此，激光位移傳感器在精密測量領域有著廣泛的應用。。。該傳感器可被應用于微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領域中的精密測量。?？诠庾V共焦位移傳感器的用途和特點

它可以應用于材料的力學性能測試、微納加工、光學元件的制造等多個領域。嘉興光譜共焦位移傳感器產品基本性能要求

在探頭殼體的內側壁上固定設置有反光鏡，所述反光鏡用于反射所述半透半反光學鏡所發(fā)出的反射光，即反光鏡對半透半反光學鏡所反射的光線進行再次反射，所述接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方，通過反光鏡所反射的反射光進入到接收光纖的入光端，再通過接收光纖傳遞反射光到光譜儀。本實施例中采用的入射光纖和接收光纖的入光端和出光端的用于導光的纖芯直徑均為微米級，直徑通常為50-100毫米，導光直徑非常小，當反射光的焦點落在接收光纖的纖芯之外時，無法對反射光進行接收，而需要測量的相應波長的反射光可以順利通過接收光纖的纖芯，被順利接收和傳導，實現(xiàn)對不同波長的反射光進行選擇和物理過濾，因此可以通過縮小光纖的纖芯直徑來使采樣信號更銳利，從提高采樣信號的信噪比和測量精確度。嘉興光譜共焦位移傳感器產品基本性能要求