多個光入射口可以沿著與線傳感器的線方向相對應(yīng)的預(yù)定方向設(shè)置。因此,可以容易地設(shè)計分光器。分光器可以包括設(shè)置有多個光入射口的光入射面。在這種情況下,多個光入射口可以設(shè)置在包括線方向和預(yù)定基準軸的方向的平面與光入射面相交的直線上。因此,可以容易地設(shè)計分光器。在針對多個光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將如下區(qū)域假定為測量對象區(qū)域的情況下，多個受光區(qū)域可以與分別對應(yīng)于多個光學(xué)頭的多個測量對象區(qū)域相對應(yīng),其中，該區(qū)域是線傳感器的從在射出多個光東中的具有shortest波長的光作為測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為測量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域。它可以測量物體的微小位移，精度可以達到亞微米級別。國產(chǎn)光譜共焦位移傳感器以客為尊
過去,針對測量待測物體的高度等,已經(jīng)使用了光譜共焦傳感器的技術(shù)。例如,日本的intenational公開2014/141535(以下稱為專利文獻1)公開了使用多個頭部的共焦光學(xué)系統(tǒng)來進行對測量對象的位移的多點測量的共焦測量設(shè)備。在該共焦測量設(shè)備中,在各頭部中設(shè)置有光學(xué)濾波器,并且設(shè)置要用于測量的波長帶,以使得這些頭部彼此不同。例如,在No.1頭部中使用具有約400nm~600nm的波長的光,并且在第二頭部中使用具有約600nm~800nm的波長的光(專利文獻1的說明書中的段落、通過以這種方式使要在這些頭部中使用的光的波長帶彼此不同,可以將分光器內(nèi)部所布置的攝像裝置分割成要由各頭部使用的多個區(qū)域(通道)。結(jié)果,可以針對多個光學(xué)頭only使用一個分光器(攝像裝置)來進行測量對象的多點測量.遼寧本地光譜共焦位移傳感器該傳感器的應(yīng)用將有助于提高微納制造、半導(dǎo)體制造和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域中的精密測量的準確性。
根據(jù)權(quán)利要求所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個光學(xué)頭是2個光學(xué)頭或者3個光學(xué)頭。一種測量方法,包括以下步驟:射出具有不同波長的多個光束:通過多個光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將所射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光;使從所述多個光學(xué)頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出衍射光束:以及基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學(xué)頭的測量對象的多個測量點各自的位置。
將光源耦合器與光譜共焦位移傳感探頭分開設(shè)置，設(shè)置在光源耦合器中的發(fā)光件實現(xiàn)發(fā)光，并通過導(dǎo)光光纖進行傳導(dǎo)光后在探頭殼體上顯示，從而實現(xiàn)產(chǎn)生熱量的發(fā)光件與探頭殼體分離，而不影響探頭殼體，從而減少發(fā)光件發(fā)光時產(chǎn)生的熱量對光譜共焦位移傳感探頭精度的影響，減少測量誤差，提高測量精度；通過濾光片過濾紅外線，進一步減小發(fā)熱量和傳導(dǎo)的熱量。將探頭殼體設(shè)置成可拆卸的上殼體和下殼體兩部分，產(chǎn)生的少量熱量集中在上殼體而不對下殼體上的主要光學(xué)部件產(chǎn)生影響，從而減少測量誤差，提高測量精度。該傳感器可以與其他測量設(shè)備相結(jié)合，實現(xiàn)多參數(shù)的綜合測量。
本實用新型提供一種光譜共焦位移傳感器，包括光源耦合器，入射光纖，光譜共焦位移傳感探頭，接收光纖，光譜儀，所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端，所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。通過光譜共焦工作原理，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質(zhì)心位置的缺陷。1.一種光譜共焦位移傳感器，其特征在于，包括有：光源耦合器，所述光源耦合器用于產(chǎn)生多色光；入射光纖，所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發(fā)出的多色光；光譜共焦位移傳感探頭，所述光譜共焦位移傳感探頭固定連接在所述入射光纖的出光端，所述光譜共焦位移傳感探頭用于對入射光纖傳導(dǎo)的多色光進行軸向色散后將不同波長的光分別聚焦，并對被測物體的反射光進行傳導(dǎo)；光譜共焦位移傳感器是一種高精度具有廣泛的應(yīng)用前景。滄州光譜共焦位移傳感器制造公司
它利用光譜共焦技術(shù)來測量物體的微小位移，具有亞微米級的高精度。國產(chǎn)光譜共焦位移傳感器以客為尊
本實用新型公開了光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠?、y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素?zé)艄庠催B接Y型光纖，光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,Y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組，光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套筒和一個彎月透鏡,盒體內(nèi)設(shè)置有光路通道、限位槽和透光孔，光路通道上從左往右依次設(shè)置有較早卡槽和第二卡槽,兩個雙凸球面鏡分別限位在兩個較早卡槽內(nèi),彎月透鏡限位在第二卡槽內(nèi)。本實用新型采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組，具有較強的實用性,減小傳感器探頭的體積,光源發(fā)射和接收同光路,適用于具有高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進行測量。國產(chǎn)光譜共焦位移傳感器以客為尊