激光位移傳感器的測(cè)量精度容易受到被測(cè)物體表面特征的影響，為了減小測(cè)量誤差，在整形鏡設(shè)計(jì)中應(yīng)盡量使出射光斑在有效的測(cè)量范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)光斑小且均勻。針對(duì)傳感頭小型化設(shè)計(jì)的要求，半導(dǎo)體激光器體積小、重量輕的優(yōu)點(diǎn)正好符合這一要求，但其光束質(zhì)量并不理想，需要對(duì)其進(jìn)行光束整形。半導(dǎo)體激光器快慢軸的光束分布極不對(duì)稱:快軸發(fā)散角較大，半角的典型值為30～40°，光束呈高斯分布，發(fā)光范圍的半寬度為0.6～0.8μm，慢軸發(fā)散角的半角典型值為3～6°，光束分布不規(guī)則，發(fā)光范圍半寬度為50～100μm。因此，在不允許能量損失的情況下，要求整形系統(tǒng)的物方數(shù)值孔徑(NA)>0.573；但由于光束的快軸能量呈高斯分布，通常取半寬度(FWHM)為20°，此時(shí)NA=0.342。系統(tǒng)物距應(yīng)盡量小一些，但考慮到工藝問(wèn)題，不宜過(guò)小，選定為2.5mm。為了便于設(shè)計(jì)，將系統(tǒng)倒置，整個(gè)系統(tǒng)的主要要求為:工作波長(zhǎng)為785±10nm，像方NA=0.342，像距l(xiāng)′=2.5mm，物距l(xiāng)=40～60mm，焦距f=3～4mm。高精度激光位移傳感器具有較高的分辨率，能夠測(cè)量微小的位移變化。小型激光位移傳感器定做

如權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述可伸縮導(dǎo)軌包括一電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌、一number one支撐件、一第二支撐件、一滑動(dòng)輪、一伸縮制動(dòng)開(kāi)關(guān)以及一控制面板；所述number one支撐件安裝在所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌固定端的底部，所述第二支撐件安裝在所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌可伸縮端的底部；所述滑動(dòng)輪設(shè)于所述第二支撐件的底部；所述伸縮制動(dòng)開(kāi)關(guān)設(shè)于所述第二支撐件的側(cè)面；所述控制面板與所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌電連接。防水激光位移傳感器廠家供應(yīng)激光位移傳感器可精確非接觸測(cè)量被測(cè)物體的位置、位移等變化。

在以激光三角法為基本原理的激光位移傳感器中，相對(duì)于成像物鏡，物面和像面都成傾斜狀態(tài)，即物面與像面都與成像物鏡光軸成一定的夾角。在傳統(tǒng)激光位移傳感器中，光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)都兼顧成像物鏡子午方向(T方向)和弧矢方向(S方向)兩個(gè)方向的成像質(zhì)量。由于需要兼顧兩個(gè)方向的成像質(zhì)量，所以這種需求的存在會(huì)增加激光位移傳感器的成像物鏡設(shè)計(jì)難度，提高制造和維護(hù)成本。不僅如此，隨著激光位移傳感器的使用，很可能會(huì)因?yàn)檎駝?dòng)、機(jī)械變形等原因，使得激光器發(fā)出的光斑無(wú)法準(zhǔn)確投射到傳感器上，導(dǎo)致系統(tǒng)信噪比降低，影響測(cè)量的準(zhǔn)確性，甚至可能出現(xiàn)完全無(wú)法進(jìn)行測(cè)量的問(wèn)題。

在采用方式2的情況下，可以在成像物鏡前或成像物鏡6后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件(如平板玻璃)，配合調(diào)整成像物鏡6與感光元件7之間的距離時(shí)，可以在微米量級(jí)進(jìn)行調(diào)整。每次調(diào)整后，可以進(jìn)行MTF解析，在判斷解析結(jié)果滿足上述條件時(shí)，停止調(diào)節(jié)。如果調(diào)整后發(fā)現(xiàn)解析結(jié)果不滿足上述條件，則繼續(xù)進(jìn)行調(diào)整。此外，在圖1所示的實(shí)施例中，反光元件8設(shè)置在接收物鏡6和感光元件7之間，從而可以提高所述激光位移傳感器的內(nèi)部空間利用率，減小其外形尺寸。在所述激光位移傳感器外形尺寸允許的情況下，反光元件8可省略。在測(cè)量光斑和成像物鏡6之間的帶通濾光片5被用來(lái)濾除或降低雜散光對(duì)測(cè)量系統(tǒng)的影響。使用三角測(cè)量原理的位移傳感器時(shí)，需要根據(jù)目標(biāo)物的表面狀態(tài)傾斜安裝傳感頭，以確保可適當(dāng)接收反射光。

帶通濾光片，設(shè)置于成像物鏡的入射光路上。聚焦透鏡，設(shè)置于激光器的出射光路上?？蛇x地，上述感光元件為線陣感光元件，線陣感光元件的多個(gè)感光單元沿直線排列，該直線的延伸方向?yàn)槎鄠€(gè)感光單元的主要排列方向。上述也可以是感光元件為面陣感光元件，面陣感光元件包括以矩形排列的多個(gè)感光單元，面陣感光元件的長(zhǎng)邊延伸方向?yàn)槎鄠€(gè)感光單元的主要排列方向。此外，上述成像物鏡可以為單一鏡片，且成像物鏡的物側(cè)面和像側(cè)面皆為非球面；或者，成像物鏡為多個(gè)透鏡組成的透鏡組。激光位移傳感器可以用于測(cè)量光學(xué)元件的位置和形狀。深圳激光位移傳感器性價(jià)比高企業(yè)

高精度激光位移傳感器還可以用于科學(xué)研究和實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用。小型激光位移傳感器定做

在一個(gè)實(shí)施例中，激光位移傳感器通過(guò)調(diào)整成像物鏡6與感光元件7之間的距離，在空間頻率為62.5lp/mm處，MTFS大于10倍的MTFT，其中，MTFS為量程內(nèi)被測(cè)點(diǎn)在S方向的MTF值，MTFT為量程內(nèi)被測(cè)點(diǎn)在T方向的MTF值，曲線1為物點(diǎn)在子午方向和弧矢方向上都沒(méi)有偏離的MTFT值，曲線2為物點(diǎn)在子午方向和弧矢方向上都沒(méi)有偏移的MTFS值；曲線3為物點(diǎn)在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無(wú)偏離的MTFT值；曲線4為物點(diǎn)在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無(wú)偏離的MTFS值；曲線5為物點(diǎn)在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無(wú)偏離的MTFT值；曲線6為物點(diǎn)在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無(wú)偏離的MTFS值(其中，在弧矢方向內(nèi)，向光軸以里偏離為正，向光軸以外偏離為負(fù))。在一具體實(shí)施例中，在空間頻率為62.5lp/mm處，量程內(nèi)被測(cè)點(diǎn)的MTFS≥0.5，MTFT＜0.05。類似地，在采用上述方式1的情況CN10685539 1B6下，同樣可以保證成像物鏡的MTFT和MTFS滿足這些條件。小型激光位移傳感器定做