機(jī)殼設(shè)置有兩層，聚焦透鏡組位于所述機(jī)殼的上層，感光元件位于機(jī)殼的下層，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設(shè)置有用于轉(zhuǎn)變光線傳播方向的光線轉(zhuǎn)向鏡組，光線轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡，設(shè)置在上反光鏡下方位置的下反光鏡，光線轉(zhuǎn)向鏡組用于使上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。這樣，通過光線轉(zhuǎn)向鏡組使光線實(shí)現(xiàn)掉頭轉(zhuǎn)向，從而充分利用上下空間，使原有的水平光路變換為上下光路，使光譜儀的長(zhǎng)度變短，有利于光譜儀小型化和便攜化。該傳感器可以用于微納加工、生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的精密測(cè)量。小型光譜共焦位移傳感器以客為尊
Preferencyly，在本實(shí)施例中發(fā)光件設(shè)置有2個(gè)，在保證良好提示效果的前提下，采用更少的發(fā)光件以減少發(fā)熱對(duì)探頭的影響，發(fā)光件左右對(duì)稱布置在光源耦合器中，通過卡扣和螺紋連接固定在光源耦合器中，導(dǎo)光光纖也設(shè)置有2個(gè)，分別通過插槽3400與發(fā)光件連接，兩個(gè)導(dǎo)光光纖的出光端在探頭殼體上呈左右對(duì)稱設(shè)置，發(fā)光件發(fā)出的指示光能通過導(dǎo)光光纖的傳導(dǎo)，從各個(gè)方向射出，使用者能從各個(gè)角度觀察到探頭工作情況。創(chuàng)視智能技術(shù)創(chuàng)視智能技術(shù)防護(hù)光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的微小變形進(jìn)行精確測(cè)量，對(duì)于研究材料的性能具有重要意義。
在接收光纖的出光端可裝配連接有光譜儀，當(dāng)光譜儀與接收光纖的出光端裝配好后，光譜儀與接收光纖的出光端實(shí)現(xiàn)固定連接，光譜儀帶有感光元件并用于把被測(cè)物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。這樣，通過光源耦合器產(chǎn)生多色光，多色光在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)；通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學(xué)元件使多色光發(fā)生光譜色散，不同波長(zhǎng)的單色光聚焦到不同的軸向高度，使波長(zhǎng)與被測(cè)物體的位移產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系；
本實(shí)用新型涉及光電精密測(cè)量領(lǐng)域，尤其涉及的是一種光譜共焦位移傳感器。隨著我國(guó)的航空航天、汽車、造船等高技術(shù)產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展，對(duì)產(chǎn)品和零部件外形尺寸的工藝水平及精度要求越來越高，所以，能否進(jìn)行高效率、高精度的檢測(cè)，將直接關(guān)系到產(chǎn)品的質(zhì)量和使用壽命。能進(jìn)行高效率、高精度測(cè)量的技術(shù)手段通常分為接觸式測(cè)量(以機(jī)械式和壓電式為主)與非接觸式測(cè)量(光學(xué)式為主)兩類。非接觸式光學(xué)測(cè)量具有如下優(yōu)點(diǎn)：無損檢測(cè)：可測(cè)量柔軟和易變形件、脆性和易損件，特別適合不允許接觸的場(chǎng)景。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)不同材料的位移測(cè)量，包括金屬、陶瓷、塑料等。
白色光中所包括的多個(gè)可見光束彼此分離,并且從殼體部向著待測(cè)物體的測(cè)量點(diǎn)射出。應(yīng)當(dāng)注意,在圖中,RGB這三個(gè)顏色的光表示由物鏡分離的多個(gè)可見光束。當(dāng)然,還射出其它顏色(其它波長(zhǎng))的光。 圖1所示的波長(zhǎng)和聚焦位置P,表示多個(gè)可見光束中的具有shortest波長(zhǎng)的可見光的波長(zhǎng)和聚焦位置,并且例如與藍(lán)色光B相對(duì)應(yīng)。波長(zhǎng)入和聚焦位置P表示多個(gè)可見光數(shù)中的具有longest波長(zhǎng)的可見光的波長(zhǎng)和聚焦位置,并且例如與紅色光R相對(duì)應(yīng)。波長(zhǎng)和聚焦位置P表示多個(gè)可見光束中的任意可見光的波長(zhǎng)和聚焦位置,并且在圖中例示出綠色光G(k=1~n).光譜共焦位移傳感器具有非接觸式測(cè)量的優(yōu)勢(shì)，可以在微觀尺度下進(jìn)行精確的位移測(cè)量。質(zhì)量光譜共焦位移傳感器常見問題
光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度、抗振動(dòng)等優(yōu)點(diǎn)。小型光譜共焦位移傳感器以客為尊
根據(jù)權(quán)利要求7所述的光譜共焦傳感器,其中，所述分光器包括設(shè)置有所述多個(gè)光入射口的光入射面，以及所述多個(gè)光入射口設(shè)置在包括所述線方向和所述預(yù)定基準(zhǔn)軸的方向的平面與所述光入射面相交的直線上。根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的光譜共焦傳感器,其中，在針對(duì)所述多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將如下區(qū)域假定為測(cè)量對(duì)象區(qū)域的情況下,所述多個(gè)受光區(qū)域與分別對(duì)應(yīng)于所述多個(gè)光學(xué)頭的多個(gè)測(cè)量對(duì)象區(qū)域相對(duì)應(yīng),其中,該區(qū)域是所述線傳感器的從在射出所述多個(gè)光束中的具有shortest波長(zhǎng)的光作為所述測(cè)量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長(zhǎng)的光作為所述測(cè)量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域。小型光譜共焦位移傳感器以客為尊