被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應關系；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析，通過光譜波峰反推出被測物體的位移，實現(xiàn)利用光譜共焦原理測量位移的過程；因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過光譜共焦工作原理，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質心位置的缺陷。該傳感器可應用于微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領域中的精密測量。湖北光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求

根據(jù)權利要求7所述的光譜共焦傳感器,其中，所述分光器包括設置有所述多個光入射口的光入射面，以及所述多個光入射口設置在包括所述線方向和所述預定基準軸的方向的平面與所述光入射面相交的直線上。根據(jù)權利要求1至8中任一項所述的光譜共焦傳感器,其中，在針對所述多個光學頭中的各光學頭將如下區(qū)域假定為測量對象區(qū)域的情況下,所述多個受光區(qū)域與分別對應于所述多個光學頭的多個測量對象區(qū)域相對應,其中,該區(qū)域是所述線傳感器的從在射出所述多個光束中的具有shortest波長的光作為所述測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為所述測量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域。小型光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品使用誤區(qū)光譜共焦位移傳感器是一種高精度、具有廣泛的應用前景。

入射光纖，接收光纖，多個導光光纖外表面套設有保護套，所述保護套一端固定設置在探頭殼體內。這樣通過保護套使入射光纖，接收光纖，多個導光光纖形成通過光源耦合器產(chǎn)生多色光，多色光在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內。通過光譜共焦位移傳感探頭內的半透半反光學鏡和色散鏡頭使多色光發(fā)生光譜色散，不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置，使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應關系；被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應關系；

光譜共焦位移傳感探頭還設置有提示組件，提示組件包括有：發(fā)光件，發(fā)光件設置在光源耦合器中；導光光纖，所述導光光纖的一端連接在光源耦合器中，且另一端延伸連接在探頭殼體的側壁上，所述導光光纖用于傳導發(fā)光件所發(fā)出的提示光。進一步，入射光纖，接收光纖，導光光纖外表面套設有保護套，所述保護套一端固定設置在探頭殼體內。采用上述方案的有益效果是：本實用新型提出的一種光譜共焦位移傳感器，通過光源耦合器產(chǎn)生多色光源，多色光源在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內，通過光譜共焦位移傳感探頭內的透鏡組和光學元件使多色光發(fā)生光譜色散，不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置，使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應關系；光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度、抗振動等優(yōu)點。

接收光纖，所述接收光纖的入光端固定設置在所述光譜共焦位移傳感探頭內，所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導的被測物體的反射光；光譜儀，所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端，所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。2.根據(jù)權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體，所述探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接；半透半反光學鏡，所述半透半反光學鏡固定設置在所述入射光纖的出光端的正下方；反光鏡，所述反光鏡固定設置在所述探頭殼體的內側壁上，所述反光鏡用于反射所述半透半反光學鏡所發(fā)出的反射光，所述接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、高分辨率的位移測量技術，具有廣泛的應用前景。鎮(zhèn)江原裝光譜共焦位移傳感器

它可以實現(xiàn)對材料的微觀結構進行高精度測量，對于研究材料的微觀性質具有重要意義。湖北光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求

本實用新型解決的技術問題在于，針對現(xiàn)有技術的上述缺陷，提供一種光譜共焦位移傳感器，旨在通過光譜共焦工作原理，避免通過激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質心位置的缺陷。本實用新型解決技術問題所采用的技術方案如下： 一種光譜共焦位移傳感器，包括底座，其中，還包括有：光源耦合器，所述光源耦合器用于產(chǎn)生多色光； 入射光纖，所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發(fā)出的多色光；湖北光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求