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湖州光譜共焦位移傳感器設備生產(chǎn)

來源: 發(fā)布時間:2024-06-20

線傳感器可以是在使用預定基準軸作為基準的情況下布置的。在這種情況下,光學系統(tǒng)可以是在使用預定基準軸作為基準的情況下配置的,并且光學系統(tǒng)可以包括多個測量光束入射的多個光入射口,其中 多個光入射口在使用 預定基準軸作為基準的情況下設置在不同位置處。通過以這種方式在使用預定基準軸作為基準的情況下在布置線傳感器的同時配置光學系統(tǒng),可以向線傳感器的不同受光區(qū)域射出相應的測量光。特別地,通過使用該基準軸作為基準來在不同位置處設置多個光入射口,可以容易將各測量光射出至多個受光區(qū)域。 預定基準軸可以與在使 測量光從 分光器的虛擬光入射口入射至 光學系統(tǒng)的情況下的光軸相對應。通過在使用測量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準的情況下在布置線傳感器的同時配置光學系統(tǒng),可以將從多個光入射口入射的測量光分別射出至線傳感器的多個受光區(qū)域。該傳感器的應用將有助于提高微納制造、半導體制造和生物醫(yī)學等領域中的精密測量的準確性。湖州光譜共焦位移傳感器設備生產(chǎn)

在光源耦合器上可裝配連接有入射光纖,入射光纖固定連接在光源耦合器上后,入射光纖的入光端固定連接在光源耦合器中,入射光纖用于接收并傳導所述多色光光源所發(fā)出的多色光;,在入射光纖的出光端固定連接有光譜共焦位移傳感探頭,光譜共焦位移傳感探頭用于對入射光傳導的多色光進行軸向色散后將不同波長的光分別在聚焦于軸向不同高度,并對被測物體的反射光進行接收和傳導;在光譜共焦位移傳感探頭上固定連接有接收光纖,接收光纖的入光端固定設置在光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),接收光纖的入光端用于選擇性的接收光譜共焦位移傳感探頭傳導的被測物體的反射光,接收到的反射光在接收光纖內(nèi)進行傳導;揚州光譜共焦位移傳感器答疑解惑它可以實現(xiàn)對材料的微觀結(jié)構(gòu)進行高精度測量,對于研究材料的微觀性質(zhì)具有重要意義。

本實用新型公開了光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),傳感器系統(tǒng)由鹵素燈光源、y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素燈光源連接Y型光纖,光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,Y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組,光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套筒和一個彎月透鏡,盒體內(nèi)設置有光路通道、限位槽和透光孔,光路通道上從左往右依次設置有較早卡槽和第二卡槽,兩個雙凸球面鏡分別限位在兩個較早卡槽內(nèi),彎月透鏡限位在第二卡槽內(nèi)。本實用新型采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,具有較強的實用性,減小傳感器探頭的體積,光源發(fā)射和接收同光路,適用于具有高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進行測量。

將光纖和光纖連接至白色LED。具體地,光纖和被布置成使得它們的端部在白色LED 的發(fā)光區(qū)域中彼此充分地接近。因此,可以從單個白色LED 向光纖和射出白色光W。應當注意,可以適當?shù)卦O計發(fā)光區(qū)域的面積和光纖的芯直徑等,并且還可以配置用于將白色光W向兩個光纖射出的光學系統(tǒng)等。光纖分束器將從光纖導入的白色光W導出至與No.1光學頭相連接的光纖。此外,光纖分束器34a將從光纖導入的測量光進行分支,并且將其導出至與分光器相連接的光纖。因此,使從No.1光學頭射出的測量光從光纖射出到分光器的內(nèi)部。光譜共焦技術可以消除光學系統(tǒng)的像差和色差等影響,提高測量精度。

被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸?shù)焦庾V儀,光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應關系;光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析,通過光譜波峰反推出被測物體的位移,實現(xiàn)利用光譜共焦原理測量位移的過程;因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過光譜共焦工作原理,避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,克服不易確定像點的質(zhì)心位置的缺陷。該傳感器的應用將有助于提高微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領域中的精密測量的準確性。新品光譜共焦位移傳感器供應鏈

光譜共焦技術消除了光學像差和色差的影響,提高了測量精度。湖州光譜共焦位移傳感器設備生產(chǎn)

上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設置為啞光面,探頭殼體的末端固定設置有用于對光線進行色散聚焦的色散鏡頭,色散鏡頭包括有準直鏡組和色散聚焦鏡組,準直鏡組設置在多色光光源的一側(cè),用于多色光源的準直;色散聚焦鏡組設置在被測物體的一側(cè),用于將多色光分別聚焦,并產(chǎn)生軸向色散。光譜儀包括有機殼,固定設置在機殼中并位于接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進行色散的棱鏡組,固定設置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進行聚焦的聚焦透鏡組,感光元件設置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光。湖州光譜共焦位移傳感器設備生產(chǎn)