本實(shí)用新型的工作原理如下:1)鹵素?zé)艄庠窗l(fā)出的光,通過Y型光纖后,一端經(jīng)光譜共焦透鏡組后,照射到被測物體表面,經(jīng)過光譜共焦透鏡組后買不同波長的光產(chǎn)生光譜的色散。2)光源通過光譜共焦透鏡組后,照射到某一位置的被測物體,經(jīng)被測物體表面反射的某一波長的單色光,反向回到Y(jié)型光纖的另一端,單色光到達(dá)共焦小孔,由于小孔濾波的作用,only有被測物體表面反射的該波長單色光,通過共焦小孔后進(jìn)入光譜儀,采集光譜信息;并通過調(diào)整被測物體的位置,利用光譜儀來收集反射回來光的光譜信息。3)對采集到的光譜信息進(jìn)行光強(qiáng)的歸一化處理,并對原始的光譜數(shù)據(jù)進(jìn)行去噪平滑等預(yù)處理后,擬合出一條符合平滑的曲線,然后采用高斯擬合的算法來進(jìn)行峰譜定位,高斯函數(shù)的峰值位置為其一階導(dǎo)數(shù)的零點(diǎn),可以認(rèn)為找到了高斯函數(shù)的一階導(dǎo)數(shù)零點(diǎn)就找到了高斯函數(shù)的峰譜位置。4)利用超精密的運(yùn)動控制臺,來標(biāo)定不同位置對應(yīng)的光譜譜峰值,找出一一對應(yīng)關(guān)系;標(biāo)定完成后,通過讀取軟件上峰譜值的大小,就可以測出被測物離光源的精確位置。以上only為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例,但本實(shí)用新型的技術(shù)特征并不局限于此。任何以本實(shí)用新型為基礎(chǔ),為實(shí)現(xiàn)基本相同的技術(shù)效果,所作出地簡單變化、等同替換或者修飾等。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對材料的振動頻率和振動幅度的測量,對于研究材料的振動特性具有重要意義。設(shè)備光譜共焦位移傳感器招商加盟
根據(jù)權(quán)利要求所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個(gè)光學(xué)頭是2個(gè)光學(xué)頭或者3個(gè)光學(xué)頭。一種測量方法,包括以下步驟:射出具有不同波長的多個(gè)光束:通過多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將所射出的所述多個(gè)光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點(diǎn)反射的測量光;使從所述多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出衍射光束:以及基于所述線傳感器的所述多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來計(jì)算作為所述多個(gè)光學(xué)頭的測量對象的多個(gè)測量點(diǎn)各自的位置。河北光譜共焦位移傳感器廠家直銷價(jià)格光譜共焦位移傳感器需要專門的光譜共焦顯微鏡來實(shí)現(xiàn)測量。
本實(shí)施例中在探頭殼體的內(nèi)壁上一體成型設(shè)置有鏡座,反光鏡粘接固定設(shè)置在所述鏡座上,所述反光鏡的反光面與探頭殼體的軸向呈45°設(shè)置。通過鏡座對反光鏡形成穩(wěn)定支撐,使反光鏡的反光面與所述探頭殼體的軸向呈45°,便于對光線進(jìn)行反射,使被測物體反射的光線經(jīng)半透半反光學(xué)鏡后轉(zhuǎn)折90°,到達(dá)反光鏡,反光鏡對其轉(zhuǎn)折90°,使光線順利進(jìn)入接收光纖的入光端。探頭殼體的末端固定設(shè)置有用于對光線進(jìn)行色散聚焦的色散鏡頭,色散鏡頭包括有準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組,準(zhǔn)直鏡組固定設(shè)置在靠近多色光光源的一側(cè),用于多色光的準(zhǔn)直;色散聚焦鏡組設(shè)置在被測物體的一側(cè),用于將多色光分別色散和聚焦,使不同波長的光的焦點(diǎn)沿軸向分布在不同高度。從半透半反光學(xué)鏡射出的光線到達(dá)色散鏡頭,先通過準(zhǔn)直鏡組對多色光進(jìn)行準(zhǔn)直,使出射光線變成為軸向平行光,軸向平行光到達(dá)色散聚焦鏡組,從色散聚焦鏡組射出的各色光由于波長的不同而聚焦在不同的高度,各焦點(diǎn)高度按照波長的順序,沿軸向依次排列。
在接收光纖的出光端可裝配連接有光譜儀,當(dāng)光譜儀與接收光纖的出光端裝配好后,光譜儀與接收光纖的出光端實(shí)現(xiàn)固定連接,光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。這樣,通過光源耦合器產(chǎn)生多色光,多色光在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi);通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學(xué)元件使多色光發(fā)生光譜色散,不同波長的單色光聚焦到不同的軸向高度,使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系;光譜共焦位移傳感器是一種高精度的非接觸式位移傳感器。
光譜共焦位移傳感探頭還設(shè)置有提示組件,提示組件包括有:發(fā)光件,發(fā)光件設(shè)置在光源耦合器中;導(dǎo)光光纖,所述導(dǎo)光光纖的一端連接在光源耦合器中,且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上,所述導(dǎo)光光纖用于傳導(dǎo)發(fā)光件所發(fā)出的提示光。進(jìn)一步,入射光纖,接收光纖,導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)有保護(hù)套,所述保護(hù)套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi)。采用上述方案的有益效果是:本實(shí)用新型提出的一種光譜共焦位移傳感器,通過光源耦合器產(chǎn)生多色光源,多色光源在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學(xué)元件使多色光發(fā)生光譜色散,不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置,使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系;該傳感器的優(yōu)點(diǎn)包括高精度、非接觸式和抗溫度、抗振動等效應(yīng)。設(shè)備光譜共焦位移傳感器招商加盟
光譜共焦技術(shù)可以消除光學(xué)像差和色差的影響,提高測量精度。設(shè)備光譜共焦位移傳感器招商加盟
被測物體表面反射的反射光通過探頭選擇性的接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀,光譜儀對反射光進(jìn)行聚焦并通過設(shè)置在光譜儀中的感光元件對反射光進(jìn)行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系;光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析,通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移,實(shí)現(xiàn)光譜共焦測量位移的過程,通過光譜共焦工作原理,避免激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷。設(shè)備光譜共焦位移傳感器招商加盟