光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分 。光源發(fā)出一束白光，透鏡組將其發(fā)散成一系列波長(zhǎng)不同的單色光，通過(guò)同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個(gè)連續(xù)的焦點(diǎn)組 ，每個(gè)焦點(diǎn)的單色光波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)一個(gè)軸向位置。當(dāng)樣品位于焦點(diǎn)范圍內(nèi)時(shí)，樣品表面會(huì)聚焦后的光反射回去，這些反射回來(lái)的光再經(jīng)過(guò)與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過(guò)狹縫進(jìn)入控制箱中的單色儀。因此，只有位于樣品表面的焦點(diǎn)位置才能聚焦在狹縫上，單色儀將該波長(zhǎng)的光分離出來(lái)，由控制箱中的光電組件識(shí)別并獲取樣品的軸向位置。采用高數(shù)值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達(dá)到較高分辨率，滿足薄膜厚度分布測(cè)量要求。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的表面形貌進(jìn)行高精度測(cè)量，對(duì)于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義；平面度測(cè)量 光譜共焦供應(yīng)

因?yàn)楣步箿y(cè)量方法具有高精度的三維成像能力，所以它已被用于表面輪廓和三維結(jié)構(gòu)的精密測(cè)量。本文分析了白光共焦光譜的基本原理，建立了透明靶丸內(nèi)表面圓周輪廓測(cè)量校準(zhǔn)模型，并基于白光共焦光譜和精密旋轉(zhuǎn)軸系，開(kāi)發(fā)了透明靶丸內(nèi)、外表面圓周輪廓的納米級(jí)精度測(cè)量系統(tǒng)和靶丸圓心精密位置確定方法，使用白光共焦光譜測(cè)量靶丸殼層內(nèi)表面輪廓數(shù)據(jù)時(shí)，其測(cè)量精度受到多個(gè)因素的影響，如白光共焦光譜傳感器光線的入射角、靶丸殼層厚度、殼層材料折射率和靶丸內(nèi)外表面輪廓的直接測(cè)量數(shù)據(jù)。防水光譜共焦主要功能與優(yōu)勢(shì)光譜共焦透鏡組設(shè)計(jì)和性能優(yōu)化是光譜共焦技術(shù)研究的重要內(nèi)容之一；

隨著精密儀器制造業(yè)的發(fā)展，對(duì)工業(yè)生產(chǎn)測(cè)量的精度和適應(yīng)性要求越來(lái)越高，需要具有高精度、適應(yīng)性強(qiáng)和實(shí)時(shí)無(wú)損檢測(cè)等特性的位移傳感器。光譜共焦位移傳感器的問(wèn)世解決了這個(gè)問(wèn)題，它是一種非接觸式光電位移傳感器，可達(dá)到亞微米級(jí)甚至更高的測(cè)量精度。傳感器對(duì)于雜光等干擾光線并不敏感，具有較強(qiáng)的抵抗能力，適應(yīng)性強(qiáng)，且具有小型化的特點(diǎn)，應(yīng)用前景廣闊。光學(xué)色散鏡頭是光譜共焦位移傳感器的重要組成部分之一 ，其性能參數(shù)對(duì)于位移傳感器的測(cè)量精度和分辨率具有決定性作用。

光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)的技術(shù)，在測(cè)量過(guò)程中無(wú)需軸向掃描，直接由波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)軸向距離信息，因此可以大幅提高測(cè)量速度?；诠庾V共焦技術(shù)的傳感器是近年來(lái)出現(xiàn)的一種高精度、非接觸式的新型傳感器，精度理論上可達(dá)到納米級(jí)。由于光譜共焦傳感器對(duì)被測(cè)表面狀況要求低、允許被測(cè)表面有更大的傾斜角、測(cè)量速度快、實(shí)時(shí)性高，因此迅速成為工業(yè)測(cè)量的熱門(mén)傳感器，大量應(yīng)用于精密定位，薄膜厚度測(cè)量、微觀輪廓精密測(cè)量等領(lǐng)域。本文介紹了光譜共焦技術(shù)的原理，并列舉了光譜共焦傳感器在幾何量計(jì)量測(cè)試中的典型應(yīng)用。同時(shí)，對(duì)共焦技術(shù)在未來(lái)精密測(cè)量的進(jìn)一步應(yīng)用進(jìn)行了探討，并展望了其發(fā)展前景。該技術(shù)可以采集樣品不同深度處的光譜信息進(jìn)行測(cè)量。

隨著機(jī)械加工水平的不斷發(fā)展，各種微小而復(fù)雜的工件都需要進(jìn)行精確的尺寸和輪廓測(cè)量，例如測(cè)量小零件的內(nèi)壁凹槽尺寸和小圓角。為避免在接觸測(cè)量過(guò)程中刮傷光學(xué)表面，一些精密光學(xué)元件也需要進(jìn)行非接觸式的輪廓形貌測(cè)量。這些測(cè)量難題通常很難用傳統(tǒng)傳感器來(lái)解決，但可以使用光譜共焦傳感器來(lái)構(gòu)建測(cè)量系統(tǒng)。通過(guò)二維納米測(cè)量定位裝置，光譜共焦傳感器可以作為測(cè)頭，以實(shí)現(xiàn)超精密零件的二維尺寸測(cè)量。使用光譜共焦位移傳感器，可以解決渦輪盤(pán)輪廓度在線檢測(cè)系統(tǒng)中滾針渦輪盤(pán)輪廓度檢測(cè)的問(wèn)題。在進(jìn)行幾何量的整體測(cè)量過(guò)程中，還需要采用多種不同的工具和技術(shù)對(duì)其結(jié)構(gòu)體系進(jìn)行優(yōu)化，以確保幾何尺寸的測(cè)量更加準(zhǔn)確 ?；诎坠釲ED的光譜共焦位移傳感器是一種新型的傳感器。高性能光譜共焦找哪家

光譜共焦位移傳感器具有非接觸式測(cè)量的優(yōu)勢(shì)，可以在微觀尺度下進(jìn)行精確的位移測(cè)量。平面度測(cè)量 光譜共焦供應(yīng)

光譜共焦測(cè)量技術(shù)由于其高精度、允許被測(cè)表面有更大的傾斜角、測(cè)量速度快、實(shí)時(shí)性高、對(duì)被測(cè)表面狀況要求低以及高分辨率等特點(diǎn)，已成為工業(yè)測(cè)量的熱門(mén)傳感器，在生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、表面工程研究、精密測(cè)量和3C電子等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。本次測(cè)量場(chǎng)景采用了創(chuàng)視智能TS-C1200光譜共焦傳感頭和CCS控制器。TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度、±0.02%的線性精度 、30kHz的采樣速度和±60°的測(cè)量角度，適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面，支持485、USB、以太網(wǎng)和模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口。平面度測(cè)量 光譜共焦供應(yīng)