系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)如圖1所示。從圖1可以看出，整個(gè)系統(tǒng)由上位機(jī)、激光位移傳感器和平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)三部分組成。激光位移傳感器由激光位移控制器、感測(cè)頭和監(jiān)視器組成。平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)主要由平移臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制器、驅(qū)動(dòng)器、電源和二維電動(dòng)平移臺(tái)組成。系統(tǒng)的部分設(shè)備如圖2所示。圖2列出了激光位移傳感器感測(cè)頭和二維電動(dòng)平移臺(tái)。圖3為激光位移傳感器感測(cè)頭測(cè)量對(duì)象物原理。參考距離根據(jù)被測(cè)對(duì)象物的變化可測(cè)量范圍為2 mm，基準(zhǔn)距離為30 mm，傳感器顯示解析度為0.3μm，線性度達(dá)到滿量程的0.3％，即精度達(dá)到6μm。高精度激光位移傳感器具有較高的分辨率，能夠測(cè)量微小的位移變化。東莞激光位移傳感器制造公司

如權(quán)利要求4所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述電子測(cè)量?jī)x包括一電子千分表以及一千分表夾持裝置；所述電子千分表夾持在所述千分表夾持裝置上，所述千分表夾持裝置一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述橫向蝸桿上。如權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述傳感器夾持裝置包括一縱向螺桿以及一夾持器；所述夾持器套設(shè)在所述縱向螺桿上，所述激光位移傳感器夾持在所述夾持器上。aaaaaaaaa東莞激光位移傳感器制造公司激光傳感器是新型測(cè)量?jī)x器。能夠精確非接觸測(cè)量被測(cè)物體的位置、位移等變化。

隨著現(xiàn)代化工業(yè)的發(fā)展，激光位移傳感器作為高精度、高響應(yīng)的非接觸測(cè)量?jī)x器，在光電技術(shù)檢測(cè)領(lǐng)域得到了大范圍的應(yīng)用。其采用的激光三角法原理在理論上已相當(dāng)成熟，但在實(shí)際應(yīng)用中還有一定的困難。由于三角法建立在理想成像的基礎(chǔ)之上，所以三角法能否準(zhǔn)確實(shí)現(xiàn)還要依賴于所采用的光學(xué)系統(tǒng)。現(xiàn)階段，國(guó)外此類的高精度物鏡設(shè)計(jì)處于前沿水平，并擁有比較成熟的產(chǎn)品，但其多透鏡組合與非球面的加工方式在制造成本上相當(dāng)昂貴。國(guó)內(nèi)對(duì)激光位移傳感器光學(xué)系統(tǒng)的研究主要還處于實(shí)驗(yàn)性階段，尚沒(méi)有形成產(chǎn)品化。針對(duì)目前市場(chǎng)上對(duì)激光位移傳感器的大范圍需求，本文從簡(jiǎn)單實(shí)用的角度出發(fā)，利用CODEV光學(xué)設(shè)計(jì)軟件對(duì)激光三角法進(jìn)行實(shí)際光路模擬與優(yōu)化設(shè)計(jì)，形成了一整套具有優(yōu)良成像特性的光學(xué)系統(tǒng)，為傳感器的產(chǎn)品化生產(chǎn)提供了理論依據(jù)。

隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展，具有非接觸、高精度、穩(wěn)定性好、可自動(dòng)化及易于與計(jì)算機(jī)相結(jié)合等特點(diǎn)的激光位移檢測(cè)技術(shù)在自動(dòng)檢測(cè)、機(jī)器人視覺(jué)、計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)與制造等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，已將逐漸取代傳統(tǒng)的接觸式檢測(cè)技術(shù)，成為現(xiàn)代檢測(cè)技術(shù)很重要的手段和方法。非接觸式激光平面檢測(cè)系統(tǒng)主要利用激光位移傳感器與平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)來(lái)檢測(cè)對(duì)象物平面平整度。位移傳感器用來(lái)測(cè)量目標(biāo)物體的距離，按與對(duì)象物的接觸類型它分為兩類：主要有使用差動(dòng)電壓等形式的接觸式與使用磁場(chǎng)、超聲波、激光等形式的非接觸式。由于非接觸式激光位移傳感器具有高精度表面掃描的特點(diǎn)，系統(tǒng)選擇基恩士公司的LT一9001Series型激光位移傳感器，該激光位移傳感器可以對(duì)任何對(duì)象物進(jìn)行高精密度的位移測(cè)定，例如可以對(duì)微細(xì)工件、粗面工件的高度進(jìn)行測(cè)定，還可以測(cè)量電路板上的焊錫以及測(cè)定透明體的表面和厚度。平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)選擇丹納赫公司的ULTIMAC—G型控制器和二維電動(dòng)平移臺(tái)。云南麗江天文工作站2.4mm天文望遠(yuǎn)鏡終端的拼接CCD相機(jī)為了得到更清晰的天體圖像，將采用該非接觸式激光平面檢測(cè)系統(tǒng)，對(duì)拼接CCD相機(jī)平面平整度進(jìn)行檢測(cè)。激光技術(shù)的應(yīng)用使得這種傳感器具有高分辨率和高靈敏度，能夠滿足各種精密測(cè)量需求。

在圖1所示的實(shí)施例中，成像物鏡6包含以下兩種結(jié)構(gòu)形式：(形式一)成像物鏡6為物側(cè)面和像側(cè)面都為非球面的單一非球面鏡片，(形式二)成像物鏡6是由多個(gè)鏡片組合而成的透鏡組。綜上所述，本發(fā)明在激光位移傳感器的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)，利用增加像散，在感光元件的感光單元沿著S方向排列的情況下，拉高成像物鏡S方向的MTF值同時(shí)降低T方向上的MTF值，使得線陣感光元件上的光斑呈現(xiàn)長(zhǎng)條狀態(tài)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)以下技術(shù)效果：降低激光位移傳感器中成像物鏡的設(shè)計(jì)難度，同時(shí)降低了設(shè)備的成本；它可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)物體的位移變化，提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)支持。國(guó)內(nèi)激光位移傳感器詳情

非接觸式位移傳感器的出現(xiàn)推動(dòng)了現(xiàn)有技術(shù)的適應(yīng)，以滿足新的測(cè)量要求并提高測(cè)量的準(zhǔn)確性和分辨率。東莞激光位移傳感器制造公司

為克服由于前述各種因素導(dǎo)致激光位移傳感器像面上的像點(diǎn)光斑不對(duì)稱現(xiàn)象對(duì)位移檢測(cè)產(chǎn)生的影響，目前本技術(shù)領(lǐng)域采用的做法大致有以下幾種情況:采用抗飽和芯片，用以消除芯片飽和產(chǎn)生的拖尾現(xiàn)象，但該方法還無(wú)法減小被測(cè)物體表面因反射不均勻或因粗糙度不均勻而引起的檢測(cè)誤差;在工業(yè)檢測(cè)中根據(jù)不同的被測(cè)物體表面反射情況,按照其產(chǎn)生的有規(guī)律的不同形狀的光斑,采用不同的數(shù)據(jù)處理方法提高檢測(cè)精度，這對(duì)工作場(chǎng)合穩(wěn)定、被測(cè)物體表面有規(guī)律的情況是完全可以的，但對(duì)被測(cè)表面反射情況事先無(wú)法知道的道路檢測(cè)方面，同樣還存在由于光斑不對(duì)稱產(chǎn)生的測(cè)量誤差;東莞激光位移傳感器制造公司