此外,物鏡使在聚焦位置P處被測量點所反射的可見光會聚到光纖處。具體地,殼體部的后端的連接口設(shè)置在聚焦于測量點上且被測量點反射的可見光由物鏡會聚至的共焦位置處。通過使光纖連接至連接口,可以選擇性地射出多個可見光束中的在聚焦位置P處被測量點反射的可見光作為測量光)。在圖1中,在物鏡和連接口之間示出了被待測物體0反射的RGB這三個顏色的光。在圖1所示的示例中,在聚焦位置處存在測量點。因此,使被測量點反射的綠色光G會聚到光纖處。結(jié)果,綠色光G的反射光作為測量光經(jīng)由光纖射出。這樣射出的測量光的波長和光軸上的測量點的位置處于一對一關(guān)系。它可以實現(xiàn)對材料的微觀結(jié)構(gòu)進行高精度測量,對于研究材料的微觀性質(zhì)具有重要意義。徐州設(shè)備光譜共焦位移傳感器
根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線傳感器是在使用預(yù)定基準軸作為基準的情況下布置的,以及所述光學系統(tǒng)是在使用所述預(yù)定基準軸作為基準的情況下配置的,并且所述光學系統(tǒng)包括所述多個測量光束入射的多個光入射口,其中所述多個光入射口在使用所述預(yù)定基準軸作為基準的情況下設(shè)置在不同位置處。根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中,所述預(yù)定基準軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學系統(tǒng)的情況下的光軸相對應(yīng)。鄭州光譜共焦位移傳感器安裝操作注意事項該傳感器利用光路中的光譜信息來測量位移。
通過在使用測量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準的情況下在布置線傳感器的同時配置光學系統(tǒng),可以將從多個光入射口入射的測量光分別射出至線傳感器的多個受光區(qū)域。 多個光入射口可以被設(shè)置成從 多個光入射口入射的 多個測量光束各自的光軸變得與 預(yù)定基準軸大致平行。因此,可以容易地將各測量光束射出至多個受光區(qū)域。 多個光入射口可以設(shè)置在相對于 預(yù)定基準軸相互對稱的位置處。因此,可以容易地設(shè)計分光器。 多個光入射口可以設(shè)置在相對于 虛擬光入射口相互對稱的位置處。通過將多個光入射口設(shè)置在相對于作為基準軸的起點的虛擬光入射口相互對稱的位置處,可以容易地設(shè)計分光器。
白色光中所包括的多個可見光束彼此分離,并且從殼體部向著待測物體的測量點射出。應(yīng)當注意,在圖中,RGB這三個顏色的光表示由物鏡分離的多個可見光束。當然,還射出其它顏色(其它波長)的光。 圖1所示的波長和聚焦位置P,表示多個可見光束中的具有shortest波長的可見光的波長和聚焦位置,并且例如與藍色光B相對應(yīng)。波長入和聚焦位置P表示多個可見光數(shù)中的具有longest波長的可見光的波長和聚焦位置,并且例如與紅色光R相對應(yīng)。波長和聚焦位置P表示多個可見光束中的任意可見光的波長和聚焦位置,并且在圖中例示出綠色光G(k=1~n).光譜共焦位移傳感器可以實時監(jiān)測材料的變化情況,對于研究材料的力學性能具有重要意義。
這樣,通過棱鏡組對接收光纖的出光端發(fā)出的多色光進行色散,色散后的光通過聚焦透鏡組進行聚焦,使焦點位于感光元件上,通過感光元件與控制電路電性連接,從而實現(xiàn)電信號輸出,即對反射光進行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系;光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應(yīng)關(guān)系后進行分析,通過波光譜波峰位置反推出被測物體的位移,實現(xiàn)使用光譜共焦原理測量位移的過程。本實施例采用棱鏡組進行色散,具有較小的光能量損失。傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。溫州光譜共焦位移傳感器歡迎選購
它可以測量物體微小的位移,精度高達亞微米級別。徐州設(shè)備光譜共焦位移傳感器
本實施例中的光譜共焦位移傳感探頭具體包括有探頭殼體,探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接,探頭殼體優(yōu)先采用圓柱形殼體,用于對探頭內(nèi)的光學元件進行安裝和支撐且對結(jié)構(gòu)進行保護,易于想到的是,探頭殼體可設(shè)置為方形,多邊形或其他特定形狀。在探頭殼體內(nèi)固定設(shè)置有半透半反光學鏡,半透半反光學鏡位于所述入射光纖的出光端的正下方;半透半反光學鏡對通過入射光纖傳導后的多色光實現(xiàn)一半透射而一半反射,而當透射的光線經(jīng)過被測物體反射形成反射光后照射到半透半反光學鏡上,半透半反光學鏡對反射光進行一半透射,一半反射;徐州設(shè)備光譜共焦位移傳感器