這樣，通過棱鏡組對接收光纖的出光端發(fā)出的多色光進行色散，色散后的光通過聚焦透鏡組進行聚焦，使焦點位于感光元件上，通過感光元件與控制電路電性連接，從而實現(xiàn)電信號輸出，即對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應關系；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析，通過波光譜波峰位置反推出被測物體的位移，實現(xiàn)使用光譜共焦原理測量位移的過程。本實施例采用棱鏡組進行色散，具有較小的光能量損失。它可以應用于材料的力學性能測試、微納加工、光學元件的制造等多個領域。浦東新區(qū)光譜共焦位移傳感器誠信企業(yè)推薦

分光器包括線傳感器和光學系統(tǒng)。光學系統(tǒng)包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且所述光學系統(tǒng)向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束。 所述位置計算部基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。該光譜共焦傳感器包括用于使用從光源部射出的光進行測量的多個光學頭。從光學頭各自射出的測量光由于衍射光柵而發(fā)生衍射,并且分別向線傳感器的多個受光區(qū)域射出。因此,可以基于線傳感器的多個受光區(qū)域的各受光位置來計算多個測量點各自的位置。結(jié)果,可以在不增加衍射光柵和線傳感器的數(shù)量的情況下,利用少量的組件來執(zhí)行多點測量徐州光譜共焦位移傳感器誠信企業(yè)推薦光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的振動頻率和振動幅度的測量，對于研究材料的振動特性具有重要意義。

根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線傳感器是在使用預定基準軸作為基準的情況下布置的,以及所述光學系統(tǒng)是在使用所述預定基準軸作為基準的情況下配置的,并且所述光學系統(tǒng)包括所述多個測量光束入射的多個光入射口,其中所述多個光入射口在使用所述預定基準軸作為基準的情況下設置在不同位置處。根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預定基準軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學系統(tǒng)的情況下的光軸相對應。

傳統(tǒng)的光譜儀中，還可采用光柵進行分光，與棱鏡組相比，光柵分光的光能量損失較大，對于光譜共焦系統(tǒng)，finally照射到光譜儀的感光器件上的efficient光譜儀中，還可采用光柵進行分光，與棱鏡組相比，光柵分光的光能量損失較大，對于光譜共焦系統(tǒng)，finally照射到光譜儀的感光器件上的有效光能信號很弱，影響測量精度和效果。光譜儀還包括有用于對反射光進行準直的準直透鏡組，準直透鏡組設置在接收光纖的出光端與棱鏡組之間。通常光線是發(fā)散的，即開始相鄰的兩條光線傳播后會相離越來越遠，通過準直透鏡組對反射光進行準直，可以讓多色光平行射入棱鏡組。平行光束的方向穩(wěn)定性高，在接收平面上能形成穩(wěn)定的中心，有利于后續(xù)對各色光進行色散。該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡的成像范圍限制。

本實用新型目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)所存在的不足而提供光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)的技術(shù)方案,采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,具有較強的實用性,實現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,光源發(fā)射和接收同光路,利用光譜儀對采集的光波進行采集分析,測量精度高,適用于具有高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進行測量。為了解決上述技術(shù)問題,本實用新型采用如下技術(shù)方案:光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:傳感器系統(tǒng)由鹵素燈光源、Y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素燈光源連接Y型光纖,光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組,光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套筒和一個彎月透鏡,盒體內(nèi)設置有光路通道、限位槽和透光孔,光路通道位于限位槽和透光孔之間,光路通道上從左往右依次設置有兩個相互平行的number one卡槽和一個第二卡槽,兩個雙凸球面鏡分別限位在兩個number one卡槽內(nèi),彎月透鏡限位在第二卡槽內(nèi),Y型光纖通過SMA905插頭與盒體相連。該傳感器可以用于微納加工、生物醫(yī)學、半導體制造等領域的精密測量。石家莊光譜共焦位移傳感器詳情

光譜共焦技術(shù)消除了光學像差和色差的影響，提高了測量精度。浦東新區(qū)光譜共焦位移傳感器誠信企業(yè)推薦

被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應關系；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析，通過光譜波峰反推出被測物體的位移，實現(xiàn)利用光譜共焦原理測量位移的過程；因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過光譜共焦工作原理，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質(zhì)心位置的缺陷。浦東新區(qū)光譜共焦位移傳感器誠信企業(yè)推薦