通過所述控制面板14設置所述電動伸縮雙直線導軌11伸縮至特定的距離，打開所述激光位移傳感器4，使得所述激光位移傳感器4的激光照射在所述激光紅外線接收擋板5的接收面上，記錄所述激光位移傳感器4至所述激光紅外線接收擋板5的距離；旋轉(zhuǎn)所述位移調(diào)節(jié)把手212使得所述橫向蝸桿211橫向位移，記錄所述電子千分表221的位移數(shù)據(jù)，記錄此時所述激光位移傳感器4至所述激光紅外線接收擋板5的距離，通過比較所述激光位移傳感器4前后兩次測量的距離差與所述電子千分表221的位移數(shù)據(jù)，計算所述激光位移傳感器4的誤差；調(diào)節(jié)所述電動伸縮雙直線導軌11的伸縮距離，重復以上測量，以減少測量誤差。高精度激光位移傳感器具有較高的靈敏度，能夠檢測微小的位移變化。浙江激光位移傳感器成本價

從圖3所示的成像光學系統(tǒng)結構圖可看出，在整個物面并不垂直于光軸時，經(jīng)過系統(tǒng)成像以后得到的像面也不垂直于光軸，與光軸存在一定的夾角β，設計的lastβ優(yōu)化值取為60.4628°，此時像面上可得到比較理想的光斑分布。在工作范圍內(nèi)不同視場的散射光均能很好地成像于探測器。在圖4中可看到不同視場的成像光斑形狀，此點列圖表明成像光斑分布均勻，但還存在一定的剩余像差，主要為球差，光斑大小可見表2，光斑直徑在20μm左右。同時根據(jù)設計結果可得像距為33.092mm，經(jīng)計算tanα/tanβ=0.6137，di/do=0.6145，此物鏡設計基本滿足于Scheimpflug理想成像條件。黃浦區(qū)激光位移傳感器性價比高激光位移傳感器在精密制造行業(yè)中的應用案例。

本發(fā)明提出的激光位移傳感器的成像物鏡和感光元件的調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)解析結果滿足MTFS＞MTFT或MTFT＞MTFS，能夠利用像散，讓呈現(xiàn)在感光元件上的光斑在水平方向(即，弧矢方向，S方向)變窄，而在豎直方向(即，子午方向，T方向)變長(或者讓光斑在水平方向(即，弧矢方向，S方向)變寬，而在豎直方向(即，子午方向，T方向)變窄)，有助于更加容易地確定光斑在水平方向上的中心位置，從而提高測量的準確度；由于激光位移傳感器中感光元件的多個感光單元的陣列排布形狀為矩形或線形，將矩形長邊或直線的延伸方向上的MTF降低，也不會影響測量精度；不僅如此，由于在MTF值被拉高的方向上光斑變窄，而在MTF值被降低的方向上光斑變寬，所以光斑與像元之間的接觸面積增大，使得光斑更加容易地被感光元件所接收，能夠更好地應對使用中因為振動或機械變形等隨帶來的不良影響；此外，由于本發(fā)明提出的激光位移傳感器所采用的成像物鏡無需兼顧水平方向和CN1 06855391B4豎直方向的MTF值，所以能夠降低物鏡的設計難度，節(jié)省制造和維護成本；

在圖1所示的實施例中，成像物鏡6包含以下兩種結構形式：(形式一)成像物鏡6為物側面和像側面都為非球面的單一非球面鏡片，(形式二)成像物鏡6是由多個鏡片組合而成的透鏡組。綜上所述，本發(fā)明在激光位移傳感器的光學系統(tǒng)設計時，利用增加像散，在感光元件的感光單元沿著S方向排列的情況下，拉高成像物鏡S方向的MTF值同時降低T方向上的MTF值，使得線陣感光元件上的光斑呈現(xiàn)長條狀態(tài)，進而實現(xiàn)以下技術效果：降低激光位移傳感器中成像物鏡的設計難度，同時降低了設備的成本；激光位移傳感器的使用非常方便。

本發(fā)明涉及光學測量領域，并且特別地，涉及一種激光位移傳感器；光學傳感器是依據(jù)光學原理進行測量的儀器，這類傳感器有許多優(yōu)點，例如，能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸和非破壞性測量、測量幾乎不受干擾、能夠?qū)崿F(xiàn)高速傳輸以及可遙測、遙控、可實時處理等優(yōu)點。光學傳感器包括很多類型，其中，以激光三角法為基本原理的激光位移傳感器是一種利用激光為光源、將CMOS(ComplementaryMetalOxideSemiconductor，互補金屬氧化物半導體)或者CCD(Charge-coupledDevice，電荷耦合元件)傳感器作為接收器的精密測量儀器。這種傳感器能夠在非接觸的情況下精確測量被測物體的位置、位移等變化，并且能夠被應用于檢測物體的位移、厚度、振動、距離、直徑等幾何量的測量。激光位移傳感器可以用于測量光學元件的位置和形狀。浙江激光位移傳感器成本價

非接觸式位移傳感器的出現(xiàn)推動了現(xiàn)有技術的適應，以滿足新的測量要求并提高測量的準確性和分辨率。浙江激光位移傳感器成本價

通過將反光元件設置在成像物鏡與感光元件之間，能夠減小激光位移傳感器的設備體積，便于激光位移傳感器的使用和安裝；通過采用線陣感光元件，能夠降低激光位移傳感器的成本；另外，由于線陣感光元件的多個感光單元沿著直線排列，所以在該直線的延伸方向上的MTF值拉高而將與該直線垂直方向上的MTF值降低，并不會影響測量精度，還能夠讓光斑更加容易地被線陣感光元件所接收；通過采用帶通濾光片，能夠濾除或降低雜散光，避免激光位移傳感器收到干擾，保證測量的準確度。浙江激光位移傳感器成本價