在探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上固定設(shè)置有反光鏡，所述反光鏡用于反射所述半透半反光學(xué)鏡所發(fā)出的反射光，即反光鏡對半透半反光學(xué)鏡所反射的光線進(jìn)行再次反射，所述接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方，通過反光鏡所反射的反射光進(jìn)入到接收光纖的入光端，再通過接收光纖傳遞反射光到光譜儀。本實(shí)施例中采用的入射光纖和接收光纖的入光端和出光端的用于導(dǎo)光的纖芯直徑均為微米級，直徑通常為50-100毫米，導(dǎo)光直徑非常小，當(dāng)反射光的焦點(diǎn)落在接收光纖的纖芯之外時(shí)，無法對反射光進(jìn)行接收，而需要測量的相應(yīng)波長的反射光可以順利通過接收光纖的纖芯，被順利接收和傳導(dǎo)，實(shí)現(xiàn)對不同波長的反射光進(jìn)行選擇和物理過濾，因此可以通過縮小光纖的纖芯直徑來使采樣信號更銳利，從提高采樣信號的信噪比和測量精確度。該傳感器的應(yīng)用將有助于提高微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測量的準(zhǔn)確性。成都光譜共焦位移傳感器安裝操作注意事項(xiàng)

進(jìn)一步，光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體，探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接； 半透半反光學(xué)鏡，半透半反光學(xué)鏡固定設(shè)置在入射光纖的出光端的正下方；反光鏡，反光鏡固定設(shè)置在探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上，反光鏡用于反射半透半反光學(xué)鏡所發(fā)出的反射光，接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。進(jìn)一步，半透半反光學(xué)鏡包括有上三棱鏡，與上三棱鏡相膠合的下三棱鏡，膠合面鍍有半透半反膜，半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設(shè)置，上三棱鏡和下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡，上三棱鏡和下三棱鏡的直角邊相等。浙江光譜共焦位移傳感器找哪家傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。

將光源耦合器與光譜共焦位移傳感探頭分開設(shè)置，設(shè)置在光源耦合器中的發(fā)光件實(shí)現(xiàn)發(fā)光，并通過導(dǎo)光光纖進(jìn)行傳導(dǎo)光后在探頭殼體上顯示，從而實(shí)現(xiàn)產(chǎn)生熱量的發(fā)光件與探頭殼體分離，而不影響探頭殼體，從而減少發(fā)光件發(fā)光時(shí)產(chǎn)生的熱量對光譜共焦位移傳感探頭精度的影響，減少測量誤差，提高測量精度；通過濾光片過濾紅外線，進(jìn)一步減小發(fā)熱量和傳導(dǎo)的熱量。將探頭殼體設(shè)置成可拆卸的上殼體和下殼體兩部分，產(chǎn)生的少量熱量集中在上殼體而不對下殼體上的主要光學(xué)部件產(chǎn)生影響，從而減少測量誤差，提高測量精度。

本發(fā)明提供一種光譜共焦傳感器和測量方法。該光譜共焦傳感器包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束;多個光學(xué)頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點(diǎn)反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學(xué)系統(tǒng),其包括用于使從所述多個光學(xué)頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束:以及位置計(jì)算部,用于基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計(jì)算作為所述多個光學(xué)頭的測量對象的多個測量點(diǎn)的位置它可以實(shí)現(xiàn)對材料的變形過程進(jìn)行精確測量，對于研究材料的變形行為具有重要意義。

激光位移傳感器的工作原理是利用激光發(fā)射光束投射到被測物體表面，接收反射光并將光信號轉(zhuǎn)換為電信號輸出，從而獲取被測物體空間位置信息。根據(jù)激光源發(fā)射光束的不同，激光傳感器可分為點(diǎn)、線兩種。點(diǎn)激光位移傳感器在一個采樣周期內(nèi)只能獲得被測量的一維信息，使用時(shí)通常依托于三坐標(biāo)測量機(jī)或三坐標(biāo)機(jī)床等設(shè)備，通過設(shè)備機(jī)械運(yùn)動及傳感器同步掃描來獲取被測物體三維信息。因此，激光位移傳感器在精密測量領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。。。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對材料的微小變形進(jìn)行精確測量，對于研究材料的性能具有重要意義。浙江光譜共焦位移傳感器找哪家

該傳感器適用于光學(xué)顯微鏡、掃描電子顯微鏡等高分辨率成像系統(tǒng)中的位移測量。成都光譜共焦位移傳感器安裝操作注意事項(xiàng)

在能夠以這種方式執(zhí)行多點(diǎn)測量的光譜共焦傳感器中,需要能夠減少必要組件的數(shù)量的技術(shù)。有鑒于如上所述的情形,本發(fā)明旨在提供能夠利用少量的組件來執(zhí)行多點(diǎn)測量的光譜共焦傳感器以及使用該光譜共焦傳感器的測量方法。為了實(shí)現(xiàn)上述目的,根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的光譜共焦傳感器包括光源部、多個光學(xué)頭、分光器和位置計(jì)算部。光源部射出具有不同波長的多個光束。多個光學(xué)頭將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處，并且射出在所述聚焦位置處被測量點(diǎn)反射的測量光。成都光譜共焦位移傳感器安裝操作注意事項(xiàng)