光學頭內(nèi)部的結構不受限制,并且可以適當?shù)卦O計。例如,可以使用諸如孔和準直透鏡等的其它透鏡。在本實施例中,可以通過No.1光學頭和第二光學頭來測量待測物體上的兩個測量點的位置。換句話說,可以同時對作為No.1 光學頭和第二光學頭的測量對象的兩個測量點和進行多點測量。當然,本發(fā)明不限于在同一待測物體0上進行多點測量的情況,并且可以同時測量兩個不同的待測物體。將從No.1光學頭和第二光學頭射出的測量光和經(jīng)由光纖和引導至控制器。射出綠色光作為測量光和。當然,本發(fā)明不限于射出同一波長光的情況,并且可以射出分別與測量點和的位置相對應的波長光。該傳感器可以用于微納加工、生物醫(yī)學、半導體制造等領域的精密測量。湖州光譜共焦位移傳感器信賴推薦

過去,針對測量待測物體的高度等,已經(jīng)使用了光譜共焦傳感器的技術。例如,日本的intenational公開2014/141535(以下稱為專利文獻1)公開了使用多個頭部的共焦光學系統(tǒng)來進行對測量對象的位移的多點測量的共焦測量設備。在該共焦測量設備中,在各頭部中設置有光學濾波器,并且設置要用于測量的波長帶,以使得這些頭部彼此不同。例如,在No.1頭部中使用具有約400nm~600nm的波長的光,并且在第二頭部中使用具有約600nm~800nm的波長的光(專利文獻1的說明書中的段落、通過以這種方式使要在這些頭部中使用的光的波長帶彼此不同,可以將分光器內(nèi)部所布置的攝像裝置分割成要由各頭部使用的多個區(qū)域(通道)。結果,可以針對多個光學頭only使用一個分光器(攝像裝置)來進行測量對象的多點測量.唐山光譜共焦位移傳感器價格走勢光譜共焦位移傳感器是一種高精度、非接觸式的位移測量傳感器。

激光位移傳感器的工作原理是利用激光發(fā)射光束投射到被測物體表面，接收反射光并將光信號轉換為電信號輸出，從而獲取被測物體空間位置信息。根據(jù)激光源發(fā)射光束的不同，激光傳感器可分為點、線兩種。點激光位移傳感器在一個采樣周期內(nèi)只能獲得被測量的一維信息，使用時通常依托于三坐標測量機或三坐標機床等設備，通過設備機械運動及傳感器同步掃描來獲取被測物體三維信息。因此，激光位移傳感器在精密測量領域有著廣泛的應用。。。

在能夠以這種方式執(zhí)行多點測量的光譜共焦傳感器中,需要能夠減少必要組件的數(shù)量的技術。有鑒于如上所述的情形,本發(fā)明旨在提供能夠利用少量的組件來執(zhí)行多點測量的光譜共焦傳感器以及使用該光譜共焦傳感器的測量方法。為了實現(xiàn)上述目的,根據(jù)本發(fā)明實施例的光譜共焦傳感器包括光源部、多個光學頭、分光器和位置計算部。光源部射出具有不同波長的多個光束。多個光學頭將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處，并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光。該傳感器利用光路中的光譜信息來測量位移。

6.根據(jù)權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜儀包括有機殼，固定設置在機殼中并位于所述接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進行色散的棱鏡組，固定設置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進行聚焦的聚焦透鏡組，所述感光元件設置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的各色光。7.根據(jù)權利要求6所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜儀還包括有用于對反射光進行準直調(diào)整的準直透鏡組，所述準直透鏡組設置在所述接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。它可以實現(xiàn)對材料的表面形貌進行高精度測量，對于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義。成都光譜共焦位移傳感器工廠

它可以應用于材料的力學性能測試、微納加工、光學元件的制造等多個領域。湖州光譜共焦位移傳感器信賴推薦

分光器包括線傳感器和光學系統(tǒng)。光學系統(tǒng)包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且所述光學系統(tǒng)向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束。 所述位置計算部基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。該光譜共焦傳感器包括用于使用從光源部射出的光進行測量的多個光學頭。從光學頭各自射出的測量光由于衍射光柵而發(fā)生衍射,并且分別向線傳感器的多個受光區(qū)域射出。因此,可以基于線傳感器的多個受光區(qū)域的各受光位置來計算多個測量點各自的位置。結果,可以在不增加衍射光柵和線傳感器的數(shù)量的情況下,利用少量的組件來執(zhí)行多點測量湖州光譜共焦位移傳感器信賴推薦