多個(gè)光入射口可以沿著與線傳感器的線方向相對應(yīng)的預(yù)定方向設(shè)置。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。分光器可以包括設(shè)置有多個(gè)光入射口的光入射面。在這種情況下,多個(gè)光入射口可以設(shè)置在包括線方向和預(yù)定基準(zhǔn)軸的方向的平面與光入射面相交的直線上。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。在針對多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將如下區(qū)域假定為測量對象區(qū)域的情況下，多個(gè)受光區(qū)域可以與分別對應(yīng)于多個(gè)光學(xué)頭的多個(gè)測量對象區(qū)域相對應(yīng),其中，該區(qū)域是線傳感器的從在射出多個(gè)光東中的具有shortest波長的光作為測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為測量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域。該傳感器利用光學(xué)共焦原理，通過測量材料表面的光譜變化來確定位移大小。金華認(rèn)可光譜共焦位移傳感器

本發(fā)明提供一種光譜共焦傳感器和測量方法。該光譜共焦傳感器包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個(gè)光束;多個(gè)光學(xué)頭,用于將從所述光源部射出的所述多個(gè)光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點(diǎn)反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學(xué)系統(tǒng),其包括用于使從所述多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個(gè)測量光束:以及位置計(jì)算部,用于基于所述線傳感器的所述多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來計(jì)算作為所述多個(gè)光學(xué)頭的測量對象的多個(gè)測量點(diǎn)的位置寶山區(qū)防護(hù)光譜共焦位移傳感器它的精度可以達(dá)到納米級別，適用于各種需要高精度位移測量的領(lǐng)域。

傳統(tǒng)的光譜儀中，還可采用光柵進(jìn)行分光，與棱鏡組相比，光柵分光的光能量損失較大，對于光譜共焦系統(tǒng)，finally照射到光譜儀的感光器件上的efficient光譜儀中，還可采用光柵進(jìn)行分光，與棱鏡組相比，光柵分光的光能量損失較大，對于光譜共焦系統(tǒng)，finally照射到光譜儀的感光器件上的有效光能信號很弱，影響測量精度和效果。光譜儀還包括有用于對反射光進(jìn)行準(zhǔn)直的準(zhǔn)直透鏡組，準(zhǔn)直透鏡組設(shè)置在接收光纖的出光端與棱鏡組之間。通常光線是發(fā)散的，即開始相鄰的兩條光線傳播后會相離越來越遠(yuǎn)，通過準(zhǔn)直透鏡組對反射光進(jìn)行準(zhǔn)直，可以讓多色光平行射入棱鏡組。平行光束的方向穩(wěn)定性高，在接收平面上能形成穩(wěn)定的中心，有利于后續(xù)對各色光進(jìn)行色散。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜儀包括有機(jī)殼，固定設(shè)置在機(jī)殼中并位于所述接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進(jìn)行色散的棱鏡組，固定設(shè)置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進(jìn)行聚焦的聚焦透鏡組，所述感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的各色光。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜儀還包括有用于對反射光進(jìn)行準(zhǔn)直調(diào)整的準(zhǔn)直透鏡組，所述準(zhǔn)直透鏡組設(shè)置在所述接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。該傳感器可用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的精密測量。

光學(xué)頭內(nèi)部的結(jié)構(gòu)不受限制,并且可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)。例如,可以使用諸如孔和準(zhǔn)直透鏡等的其它透鏡。在本實(shí)施例中,可以通過No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭來測量待測物體上的兩個(gè)測量點(diǎn)的位置。換句話說,可以同時(shí)對作為No.1 光學(xué)頭和第二光學(xué)頭的測量對象的兩個(gè)測量點(diǎn)和進(jìn)行多點(diǎn)測量。當(dāng)然,本發(fā)明不限于在同一待測物體0上進(jìn)行多點(diǎn)測量的情況,并且可以同時(shí)測量兩個(gè)不同的待測物體。將從No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭射出的測量光和經(jīng)由光纖和引導(dǎo)至控制器。射出綠色光作為測量光和。當(dāng)然,本發(fā)明不限于射出同一波長光的情況,并且可以射出分別與測量點(diǎn)和的位置相對應(yīng)的波長光。該傳感器適用于高分辨率成像系統(tǒng)，如光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量。河南防水光譜共焦位移傳感器

該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡的成像范圍限制。金華認(rèn)可光譜共焦位移傳感器

光纖連接至殼體部的后端的大致centre處所設(shè)置的連接口,使得白色光W被射出到殼體部的內(nèi)部。從光纖射出的白色光穿過物鏡并且從殼體部的前端處所設(shè)置的照射面向著待測物體上的測量點(diǎn)照射。物鏡是針對光譜傳感器所設(shè)計(jì)的透鏡并且產(chǎn)生軸向色像差。具體地,物鏡使入射到光學(xué)頭的光會聚于光軸上的各自與波長入相對應(yīng)的聚焦位置P處。因此,在本實(shí)施例中,白色光中所包括的多個(gè)可見光東由物鏡會聚于與波長入相對應(yīng)的相互不同的聚焦位置處。創(chuàng)視智金華認(rèn)可光譜共焦位移傳感器