如權(quán)利要求4所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述電子測(cè)量?jī)x包括一電子千分表以及一千分表夾持裝置；所述電子千分表夾持在所述千分表夾持裝置上，所述千分表夾持裝置一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述橫向蝸桿上。如權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述傳感器夾持裝置包括一縱向螺桿以及一夾持器；所述夾持器套設(shè)在所述縱向螺桿上，所述激光位移傳感器夾持在所述夾持器上。aaaaaaaaa使用激光位移傳感器測(cè)量目標(biāo)物時(shí),必須讓接收器獲得來(lái)自目標(biāo)物的反射光。嘉定區(qū)激光位移傳感器安裝操作注意事項(xiàng)
在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽踊∈赶虻那闆r下，成像物鏡本身的MTFS＞MTFT、或者在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下，成像物鏡本身的MTFT＞MTFS，使得解析結(jié)果滿足條件；和/或在成像物鏡前和/或在成像物鏡后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件，并且配合微調(diào)所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對(duì)距離使得解析結(jié)果滿足條件。反光元件，反光元件設(shè)置在成像物鏡的出射光路上，成像物鏡的出射光經(jīng)反光元件反射后，入射到感光元件。嘉定區(qū)激光位移傳感器制作廠家采用激光束對(duì)目標(biāo)物體進(jìn)行掃描和測(cè)量，因此可以實(shí)現(xiàn)非接觸式的位移測(cè)量。
本發(fā)明提出的激光位移傳感器的成像物鏡和感光元件的調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)解析結(jié)果滿足MTFS＞MTFT或MTFT＞MTFS，能夠利用像散，讓呈現(xiàn)在感光元件上的光斑在水平方向(即，弧矢方向，S方向)變窄，而在豎直方向(即，子午方向，T方向)變長(zhǎng)(或者讓光斑在水平方向(即，弧矢方向，S方向)變寬，而在豎直方向(即，子午方向，T方向)變窄)，有助于更加容易地確定光斑在水平方向上的中心位置，從而提高測(cè)量的準(zhǔn)確度；由于激光位移傳感器中感光元件的多個(gè)感光單元的陣列排布形狀為矩形或線形，將矩形長(zhǎng)邊或直線的延伸方向上的MTF降低，也不會(huì)影響測(cè)量精度；不僅如此，由于在MTF值被拉高的方向上光斑變窄，而在MTF值被降低的方向上光斑變寬，所以光斑與像元之間的接觸面積增大，使得光斑更加容易地被感光元件所接收，能夠更好地應(yīng)對(duì)使用中因?yàn)檎駝?dòng)或機(jī)械變形等隨帶來(lái)的不良影響；此外，由于本發(fā)明提出的激光位移傳感器所采用的成像物鏡無(wú)需兼顧水平方向和CN1 06855391B4豎直方向的MTF值，所以能夠降低物鏡的設(shè)計(jì)難度，節(jié)省制造和維護(hù)成本；
本實(shí)用新型涉及一種檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，特別指一種激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置。激光位移傳感器是一種利用激光技術(shù)進(jìn)行測(cè)量的傳感器，它由激光器、激光檢測(cè)器、測(cè)量電路組成。激光位移傳感器是一種新型的測(cè)量?jī)x表，能夠非接觸測(cè)量被測(cè)物體的位移變化，并且測(cè)量精度高。在激光位移傳感器的使用過(guò)程中，由于設(shè)備的磨損老化等原因，導(dǎo)致激光位移傳感器的測(cè)量誤差增大，此時(shí)需要將激光位移傳感器進(jìn)行定期的檢驗(yàn)、校準(zhǔn)。目前，對(duì)激光位移傳感器的檢驗(yàn)、校準(zhǔn)，主流的做法是測(cè)量一個(gè)已知的距離(比如：1米、5米、10米等)，通過(guò)對(duì)比測(cè)量的數(shù)值與實(shí)際的數(shù)值來(lái)判斷測(cè)量的精確度。但是這種方法存在有如下問(wèn)題：1、檢驗(yàn)的精度不夠高；2、需要較大的場(chǎng)地。激光位移傳感器可精確非接觸測(cè)量被測(cè)物體的位置、位移等變化。
傳統(tǒng)的接觸式平面檢測(cè)精度低、穩(wěn)定性差及對(duì)對(duì)象物檢測(cè)條件要求苛刻，已逐漸被現(xiàn)代非接觸式平面檢測(cè)所替代。非接觸式激光平面檢測(cè)系統(tǒng)以其高精度、高分辨率及不受對(duì)象物材質(zhì)、顏色或傾斜度的影響等優(yōu)點(diǎn)，可對(duì)任何對(duì)象物進(jìn)行平面檢測(cè)。介紹系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和激光位移傳感器的工作機(jī)理，并進(jìn)行平面定性檢測(cè)和定量檢測(cè)試驗(yàn)，用OpenGI。繪制及擬合三維曲面。試驗(yàn)結(jié)果表明，該系統(tǒng)平面檢測(cè)結(jié)果較好地反映出對(duì)象物平面起伏情況，并且達(dá)到系統(tǒng)的精度要求。光譜共焦位移傳感器是一種高精度的光學(xué)測(cè)量?jī)x器，能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸式的表面形貌測(cè)量。嘉定區(qū)激光位移傳感器制作廠家
它可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)物體的變形情況，提供及時(shí)的預(yù)警和反饋。嘉定區(qū)激光位移傳感器安裝操作注意事項(xiàng)
在采用方式2的情況下，可以在成像物鏡前或成像物鏡6后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件(如平板玻璃)，配合調(diào)整成像物鏡6與感光元件7之間的距離時(shí)，可以在微米量級(jí)進(jìn)行調(diào)整。每次調(diào)整后，可以進(jìn)行MTF解析，在判斷解析結(jié)果滿足上述條件時(shí)，停止調(diào)節(jié)。如果調(diào)整后發(fā)現(xiàn)解析結(jié)果不滿足上述條件，則繼續(xù)進(jìn)行調(diào)整。此外，在圖1所示的實(shí)施例中，反光元件8設(shè)置在接收物鏡6和感光元件7之間，從而可以提高所述激光位移傳感器的內(nèi)部空間利用率，減小其外形尺寸。在所述激光位移傳感器外形尺寸允許的情況下，反光元件8可省略。在測(cè)量光斑和成像物鏡6之間的帶通濾光片5被用來(lái)濾除或降低雜散光對(duì)測(cè)量系統(tǒng)的影響。嘉定區(qū)激光位移傳感器安裝操作注意事項(xiàng)