發(fā)光件和導(dǎo)光光纖的入光端之間,固定設(shè)置有濾光片,濾光片固定設(shè)置在發(fā)光件和導(dǎo)光光纖之間,濾光片用于過濾紅外線,以減少光熱效應(yīng)高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時,使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側(cè)壁上開設(shè)有沉孔,連接導(dǎo)光光纖的出光端的插槽開設(shè)在沉孔底部,且導(dǎo)光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接;這樣,通過沉孔的設(shè)置,在探頭殼體上形成對導(dǎo)光光纖連接位進行避讓,避免使用者在使用過程中觸碰到導(dǎo)光光纖,從而影響影響導(dǎo)光光纖,或損傷導(dǎo)光光纖與探頭殼體的連接位。光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度、抗振動等優(yōu)點。長春如何選光譜共焦位移傳感器
在接收光纖的出光端可裝配連接有光譜儀,當(dāng)光譜儀與接收光纖的出光端裝配好后,光譜儀與接收光纖的出光端實現(xiàn)固定連接,光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。這樣,通過光源耦合器產(chǎn)生多色光,多色光在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi);通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學(xué)元件使多色光發(fā)生光譜色散,不同波長的單色光聚焦到不同的軸向高度,使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系;石家莊光譜共焦位移傳感器常用解決方案它可以測量物體微小的位移,精度高達(dá)亞微米級別。
位于沉孔的開口端,通過粘接固定設(shè)置有透光鏡,透光鏡為玻璃材質(zhì)或塑料材質(zhì),透光鏡可以為平面鏡或凹透鏡,平面透光鏡的設(shè)置可以對導(dǎo)光光纖的出光端進行保護,本實施例中推薦凹透鏡,凹透鏡可以將導(dǎo)光光纖從發(fā)光件傳導(dǎo)過來的光發(fā)散傳導(dǎo)到探頭外,使光的指示范圍更廣,更有利于使用者觀察。探頭殼體設(shè)置為兩部分,包括有上殼體和下殼體,上殼體和下殼體均為圓柱形,上殼體和下殼體通過螺紋或卡扣實現(xiàn)可拆卸連接,導(dǎo)光光纖的出光端連接在上殼體的沉孔上;而探頭的其他精密光學(xué)部件設(shè)置在下殼體上,這樣導(dǎo)光光纖傳導(dǎo)從發(fā)光件發(fā)出來的光時,不可避免的會產(chǎn)生熱量,通過上殼體與下殼體的分開設(shè)置,從而上殼體和下殼體之間裝配過程中產(chǎn)生配合間隙,導(dǎo)光光纖的熱量大部分會傳導(dǎo)到上殼體上,上殼體與下殼體的配合間隙會抵消上殼體因受熱而產(chǎn)生的形變量,從而減少產(chǎn)生的熱量對下殼體及對下殼體中的高精度元件的影響,提高探頭精度。
將光源耦合器與光譜共焦位移傳感探頭分開設(shè)置,設(shè)置在光源耦合器中的發(fā)光件實現(xiàn)發(fā)光,并通過導(dǎo)光光纖進行傳導(dǎo)光后在探頭殼體上顯示,從而實現(xiàn)產(chǎn)生熱量的發(fā)光件與探頭殼體分離,而不影響探頭殼體,從而減少發(fā)光件發(fā)光時產(chǎn)生的熱量對光譜共焦位移傳感探頭精度的影響,減少測量誤差,提高測量精度;通過濾光片過濾紅外線,進一步減小發(fā)熱量和傳導(dǎo)的熱量。將探頭殼體設(shè)置成可拆卸的上殼體和下殼體兩部分,產(chǎn)生的少量熱量集中在上殼體而不對下殼體上的主要光學(xué)部件產(chǎn)生影響,從而減少測量誤差,提高測量精度。該傳感器可用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測量。
本實用新型公開了光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠?、y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素?zé)艄庠催B接Y型光纖,光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,Y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組,光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套筒和一個彎月透鏡,盒體內(nèi)設(shè)置有光路通道、限位槽和透光孔,光路通道上從左往右依次設(shè)置有較早卡槽和第二卡槽,兩個雙凸球面鏡分別限位在兩個較早卡槽內(nèi),彎月透鏡限位在第二卡槽內(nèi)。本實用新型采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,具有較強的實用性,減小傳感器探頭的體積,光源發(fā)射和接收同光路,適用于具有高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進行測量。光譜共焦位移傳感器是一種先進的光學(xué)測量技術(shù),可以實現(xiàn)高精度的位移測量。成都光譜共焦位移傳感器廠家供應(yīng)
光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的振動頻率和振動幅度的測量,對于研究材料的振動特性具有重要意義。長春如何選光譜共焦位移傳感器
光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩(wěn)定性的非接觸式位移傳感器。與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測目標(biāo)表面過于光滑而接收不到目標(biāo)反射光的情況,對被測物體適應(yīng)性強,適用于手機玻璃的檢測,凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復(fù)。 光譜共焦傳感器是一種基于光學(xué)色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長間的對應(yīng)關(guān)系。傳統(tǒng)的激光三角法測量技術(shù)已經(jīng)比較成熟,運用也比較widely,但由于CCD相機接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測量。光譜共焦位移傳感器由于其運用同光路的光纖,只要光能照射的區(qū)域就能夠沿原路返回,可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測量不了的領(lǐng)域,對一些高反射、高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進行測量,且測量精度能夠達(dá)到亞微米級別。長春如何選光譜共焦位移傳感器