光譜共焦傳感器如何工作?共焦色度測量原理通過使用多透鏡光學(xué)系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標(biāo)表面來工作。透鏡的排列方式是通過控制色差(像差)將白光分散成單色光。工廠校準(zhǔn)為每個波長分配了一定的偏差(特定距離)。只有精確聚焦在目標(biāo)表面或材料上的波長才能用于測量。從目標(biāo)表面反射的這種光通過共焦孔徑到達光譜儀,該光譜儀檢測并處理光譜變化。在整個傳感器的測量范圍內(nèi),實現(xiàn)了一個非常小的、恒定的光斑尺寸 ,通常 <10 μm。微型徑向和軸向共焦版本可用于測量鉆孔或鉆孔的內(nèi)表面,以及測量窄孔、小間隙和空腔。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的變形過程進行實時監(jiān)測,對于研究材料的力學(xué)行為具有重要意義。智能光譜共焦品牌企業(yè)
光譜共焦測量技術(shù)是共焦原理和編碼技術(shù)的結(jié)合。白色光源和光譜儀可以完成一個相對高度范圍的準(zhǔn)確測量。光譜共焦位移傳感器的準(zhǔn)確測量原理如圖1所示。在光纖和超色差鏡片的幫助下,產(chǎn)生一系列連續(xù)而不重合的可見光聚焦點。當(dāng)待測物體放置在檢測范圍內(nèi)時,只有一種光波長能夠聚焦在待測物表面并反射回來,產(chǎn)生波峰信號。其他波長將失去對焦 。使用干涉儀的校準(zhǔn)信息可以計算待測物體的位置,并創(chuàng)建對應(yīng)于光譜峰處波長偏移的編碼。超色差鏡片通過提高縱向色差,可以在徑向分離出電子光學(xué)信號的不同光譜成分,因此是傳感器的關(guān)鍵部件,其設(shè)計方案非常重要。高頻光譜共焦成本價光譜共焦技術(shù)的研究集中在光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計和優(yōu)化,以及數(shù)據(jù)處理和成像算法的研究。
三坐標(biāo)測量機是加工現(xiàn)場常用的高精度產(chǎn)品尺寸及形位公差檢測設(shè)備,其具有通用性強,精確可靠等優(yōu)點。本文面向一種特殊材料異型結(jié)構(gòu)零件內(nèi)曲面的表面粗糙度測量要求,提出一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術(shù)的表面粗糙度在線測量的方法,利用工業(yè)現(xiàn)場常用的三坐標(biāo)測量機平臺執(zhí)行輪廓掃描,并記錄測量掃描位置實時空間橫坐標(biāo),根據(jù)空間坐標(biāo)關(guān)系,將測量掃描區(qū)域的微觀高度信息和掃描采樣點組織映射為微觀輪廓,經(jīng)高斯濾波處理得到測量對象的表面粗糙度信息 。
光譜共焦技術(shù)將軸向距離與波長建立起一套編碼規(guī)則,是一種高精度、非接觸的光學(xué)測量技術(shù)。基于光譜共焦技術(shù)的傳感器作為一種亞微米級、快速精確測量的傳感器,已經(jīng)被大量應(yīng)用于表面微觀形狀、厚度測量、位移測量、在線監(jiān)控及過程控制等工業(yè)測量領(lǐng)域。展望其未來,隨著光譜共焦傳感技術(shù)的發(fā)展,必將在微電子、線寬測量、納米測試、超精密幾何量計量測試等領(lǐng)域得到更多的應(yīng)用。光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來 ,其無需軸向掃描,直接由波長對應(yīng)軸向距離信息,從而大幅提高測量速度。光譜共焦技術(shù)在醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用;
靶丸內(nèi)表面輪廓是激光核聚變靶丸的關(guān)鍵參數(shù),需要精密檢測。本文首先分析了基于白光共焦光譜和精密氣浮軸系的靶丸內(nèi)表面輪廓測量基本原理,建立了靶丸內(nèi)表面輪廓的白光共焦光譜測量方法。此外,搭建了靶丸內(nèi)表面輪廓測量實驗裝置,建立了基于靶丸光學(xué)圖像的輔助調(diào)心方法,實現(xiàn)了靶丸內(nèi)表面輪廓的精密測量,獲得了準(zhǔn)確的靶丸內(nèi)表面輪廓曲線;?對測量結(jié)果的可靠性進行了實驗驗證和不確定度分析,結(jié)果表明 ,白光共焦光譜能實現(xiàn)靶丸內(nèi)表面低階輪廓的精密測量.光譜共焦技術(shù)在材料科學(xué)領(lǐng)域可以用于材料的性能測試和分析;點光譜共焦排名
光譜共焦技術(shù)有著較大的應(yīng)用前景。智能光譜共焦品牌企業(yè)
靶丸內(nèi)表面輪廓是激光核聚變靶丸關(guān)鍵參數(shù)之一,需要進行精密檢測。本文基于白光共焦光譜和精密氣浮軸系,分析了靶丸內(nèi)表面輪廓測量的基本原理,并建立了相應(yīng)的白光共焦光譜測量方法。同時,作者還搭建了靶丸內(nèi)表面輪廓測量實驗裝置,并利用靶丸光學(xué)圖像的輔助調(diào)心方法,實現(xiàn)了靶丸內(nèi)表面低階輪廓的精密測量,獲得了準(zhǔn)確的靶丸內(nèi)表面輪廓曲線。作者在實驗中驗證了測量結(jié)果的可靠性,并進行了不確定度分析,結(jié)果表明,白光共焦光譜能夠?qū)崿F(xiàn)靶丸內(nèi)表面低階輪廓的精密測量 。智能光譜共焦品牌企業(yè)