本發(fā)明公開了一種激光位移傳感器，包括激光器、成像物鏡以及感光元件，激光器用于射出激光束，由成像物鏡接收并出射的光入射到感光元件，在對(duì)成像物鏡和感光元件進(jìn)行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時(shí)，解析結(jié)果滿足以下條件：在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较虻那闆r下，MTFS＞MTFT；在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下，MTFT＞MTFS；其中，MTFS為弧矢方向上的MTF值，MTFT為子午方向上的MTF值。本發(fā)明能夠降低物鏡的設(shè)計(jì)難度，節(jié)省制造和維護(hù)成本，另外還有助于提高測(cè)量的準(zhǔn)確度，能夠更好地應(yīng)對(duì)使用中因?yàn)檎駝?dòng)或機(jī)械變形等隨帶來的不良影響。激光位移傳感器在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用案例。廣東激光位移傳感器性價(jià)比高

在采用方式2的情況下，可以在成像物鏡前或成像物鏡6后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件(如平板玻璃)，配合調(diào)整成像物鏡6與感光元件7之間的距離時(shí)，可以在微米量級(jí)進(jìn)行調(diào)整。每次調(diào)整后，可以進(jìn)行MTF解析，在判斷解析結(jié)果滿足上述條件時(shí)，停止調(diào)節(jié)。如果調(diào)整后發(fā)現(xiàn)解析結(jié)果不滿足上述條件，則繼續(xù)進(jìn)行調(diào)整。此外，在圖1所示的實(shí)施例中，反光元件8設(shè)置在接收物鏡6和感光元件7之間，從而可以提高所述激光位移傳感器的內(nèi)部空間利用率，減小其外形尺寸。在所述激光位移傳感器外形尺寸允許的情況下，反光元件8可省略。在測(cè)量光斑和成像物鏡6之間的帶通濾光片5被用來濾除或降低雜散光對(duì)測(cè)量系統(tǒng)的影響。新品激光位移傳感器按需定制高精度激光位移傳感器采用激光技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)非常精確的位移測(cè)量。

進(jìn)一步地，所述可伸縮導(dǎo)軌包括一電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌、一No.1支撐件、一第二支撐件、一滑動(dòng)輪、一伸縮制動(dòng)開關(guān)以及一控制面板；所述No.1支撐件安裝在所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌固定端的底部，所述第二支撐件安裝在所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌可伸縮端的底部；所述滑動(dòng)輪設(shè)于所述第二支撐件的底部；所述伸縮制動(dòng)開關(guān)設(shè)于所述第二支撐件的側(cè)面；所述控制面板與所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌電連接。進(jìn)一步地，所述微調(diào)裝置包括一蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)、一電子測(cè)量?jī)x以及一微調(diào)平臺(tái)；所述微調(diào)平臺(tái)設(shè)于所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌上端的尾部，所述微調(diào)平臺(tái)的末端向上設(shè)有一延伸部；所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)設(shè)于所述微調(diào)平臺(tái)的前端；所述電子測(cè)量?jī)x的一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)。

方式[0019]請(qǐng)參照?qǐng)D1所示，本實(shí)用新型激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置100的較佳實(shí)施例，包括一可伸縮導(dǎo)軌1、一微調(diào)裝置2、一傳感器夾持裝置3、一激光位移傳感器4以及一激光紅外線接收擋板5；所述微調(diào)裝置2和傳感器夾持裝置3設(shè)于所述可伸縮導(dǎo)軌1的上端；所述激光位移傳感器4夾持在所述傳感器夾持裝置3上，且使所述激光位移傳感器4的激光發(fā)射端朝向所述微調(diào)裝置2；所述激光紅外線接收擋板5與所述微調(diào)裝置2固接，且使所述激光紅外線接收擋板5的接收面朝向所述傳感器夾持裝置3。激光位移傳感器在3C電子行業(yè)中的應(yīng)用案例。

在一個(gè)實(shí)施例中，上述感光元件7可以為線陣CCD感光芯片，或者也可以是線陣CMOS感光芯片。在線陣CCD感光芯片或線陣CMOS感光芯片中，包括線形排列的多個(gè)感光單元，通常為直線排列，該直線的延伸方向?yàn)楦泄鈫卧闹饕帕蟹较?，這些感光單元沿著水平方向(弧矢方向)排列。由于感光單元為直線狀排列，因此，長(zhǎng)條形光斑可增加與像元之間的接觸面積，可降低機(jī)械器件形變對(duì)所述激光位移傳感器信噪比的影響。[0045]在其他實(shí)施例中，上述感光元件7可以是面陣CCD感光芯片或面陣CMOS感光芯片。面陣CCD感光芯片或面陣CMOS感光芯片包括排列為矩形的多個(gè)感光單元，矩形的長(zhǎng)邊沿著水平方向(弧矢方向)延伸，短邊沿著豎直方向(子午方向)延伸，其長(zhǎng)邊的延伸方向即為感光單元的主要排列方向。這樣，長(zhǎng)條形光斑同樣更加容易地被面陣CCD感光芯片或CMOS感光芯片接收到。它抗干擾能力強(qiáng)，能夠在復(fù)雜環(huán)境下正常工作。嘉定區(qū)激光位移傳感器廠家現(xiàn)貨

它可以用于測(cè)量電子元件的尺寸和形狀。廣東激光位移傳感器性價(jià)比高

非接觸式激光平面檢測(cè)采用的是集光、機(jī)電一體化的測(cè)量設(shè)備系統(tǒng)，系統(tǒng)中的激光位移傳感器是一種代替?zhèn)鹘y(tǒng)接觸式測(cè)量的新型位移檢測(cè)裝置，具有分辨率高，線性度高和穩(wěn)定性好等特點(diǎn)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)對(duì)象物的高精度、高可靠性的測(cè)量。本文中定性檢測(cè)試驗(yàn)較好地反映出對(duì)象物平面實(shí)際起伏情況，定量檢測(cè)試驗(yàn)結(jié)果達(dá)到了儀器的理論精度為6μm范圍內(nèi)的要求。該系統(tǒng)能滿足現(xiàn)代化生產(chǎn)和科學(xué)研究的需要，具有廣闊的應(yīng)用前景。創(chuàng)視智能技術(shù)創(chuàng)視智能技術(shù)廣東激光位移傳感器性價(jià)比高