光譜共焦是一種綜合了光學成像和光譜分析技術的高精度位移傳感器,在3C電子行業(yè)中應用極為大量。光譜共焦傳感器可以用于智能手機內(nèi)線性馬達的位移測量,通過實時監(jiān)控和控制線性馬達的位移,可大幅提高智能手機的定位功能和相機的成像精度。也能測量手機屏的曲面角度、厚度等。平板電腦內(nèi)各種移動結構部件的位移和振動檢測是平板電腦生產(chǎn)過程中非常重要的環(huán)節(jié)。光譜共焦傳感器可以通過對平板電腦內(nèi)的各種移動機構、控制元件進行精密位移、振動、形變和應力等參數(shù)的測量,從而實現(xiàn)對其制造精度和運行狀態(tài)的實時監(jiān)控 。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)亞微米級別的位移和形變測量,具有高精度和高分辨率。怎樣選擇光譜共焦安裝注意事項
物體的表面形貌可以基于距離的確定來進行。光譜共焦傳感器還可用于測量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結構。當測量對象包含不同類型的材料(例如塑料和金屬)時,盡管距離值保持不變,但反射率會突出材料之間的差異。劃痕和不平整會影響反射度并變得可見。在檢測到信號強度的變化后,系統(tǒng)會創(chuàng)建目標及其精細結構的精確圖像。 除了距離測量之外,另一種選擇是使用信號強度進行測量,這可以實現(xiàn)精細結構的可視化 。通過恒定的曝光時間,可以獲得關于表面評估的附加信息,而這靠距離測量是不可能的。防水型光譜共焦定做光譜共焦技術的發(fā)展將有助于解決現(xiàn)實生產(chǎn)和生活中的問題。
光譜共焦測量技術是共焦原理和編碼技術的結合 。白色光源和光譜儀可以完成一個相對高度范圍的準確測量。光譜共焦位移傳感器的準確測量原理如圖1所示。在光纖和超色差鏡片的幫助下,產(chǎn)生一系列連續(xù)而不重合的可見光聚焦點。當待測物體放置在檢測范圍內(nèi)時,只有一種光波長能夠聚焦在待測物表面并反射回來,產(chǎn)生波峰信號。其他波長將失去對焦。使用干涉儀的校準信息可以計算待測物體的位置,并創(chuàng)建對應于光譜峰處波長偏移的編碼。超色差鏡片通過提高縱向色差,可以在徑向分離出電子光學信號的不同光譜成分,因此是傳感器的關鍵部件,其設計方案非常重要。
光譜共焦傳感器使用復色光作為光源 ,可以實現(xiàn)微米級精度的漫反射或鏡反射被測物體測量功能。此外,光譜共焦位移傳感器還可以實現(xiàn)對透明物體的單向厚度測量,其光源和接收光鏡為同軸結構,避免光路遮擋,適用于直徑4.5mm及以上的孔和凹槽的內(nèi)部結構測量。在測量透明物體的位移時,由于被測物體的上下兩個表面都會反射,傳感器接收到的位移信號是通過其上表面計算出來的,可能會引起一定誤差。本文分析了平行平板位移測量誤差的來源和影響因素。光譜共集技術的精度可以達到納米級別。
光譜共焦技術是在共焦顯微術基礎上發(fā)展而來的技術,在測量過程中無需軸向掃描,直接由波長對應軸向距離信息,因此可以大幅提高測量速度?;诠庾V共焦技術的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度、非接觸式的新型傳感器,精度理論上可達到納米級。由于光譜共焦傳感器對被測表面狀況要求低、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實時性高,因此迅速成為工業(yè)測量的熱門傳感器,大量應用于精密定位,薄膜厚度測量、微觀輪廓精密測量等領域。本文介紹了光譜共焦技術的原理,并列舉了光譜共焦傳感器在幾何量計量測試中的典型應用。同時,對共焦技術在未來精密測量的進一步應用進行了探討,并展望了其發(fā)展前景。光譜共焦技術將對未來的科學研究和產(chǎn)業(yè)發(fā)展產(chǎn)生重大影響。線光譜共焦精度
高精度光譜共焦位移傳感器是一種基于共焦原理實現(xiàn)的位移測量技術。怎樣選擇光譜共焦安裝注意事項
光譜共焦傳感器是采用復色光為光源的傳感器,其測量精度能夠達到微米量級,可用于對漫反射或鏡反射被測物體的測量。此外,光譜共焦位移傳感器還可以對透明物體進行單向厚度測量,光源和接收光鏡為同軸結構,有效地避免了光路遮擋,并使傳感器適于測量直徑4.5mm以上的孔及凹槽的內(nèi)部結構。光譜共焦位移傳感器在測量透明物體的位移時,由于被測物體的上、下兩個表面都會反射,而傳感器接收到的位移信號是通過其上表面計算出來的 ,從而會引起一定的誤差。本文基于測量平行平板的位移,對其進行了誤差分析。怎樣選擇光譜共焦安裝注意事項