隨著工業(yè)快速的發(fā)展 ，對(duì)精密測量技術(shù)的要求越來越高，位移測量技術(shù)作為幾何量精密測量的基礎(chǔ)，不僅需要超高測量精度，而且需要對(duì)環(huán)境和材料的大量適應(yīng)性，并且逐步趨于實(shí)時(shí)、無損檢測。與傳統(tǒng)接觸式測量方法相比，光譜共焦位移傳感器具有高速度，高精度，高適應(yīng)性等明顯優(yōu)勢。本文通過對(duì)光譜共焦傳感器應(yīng)用場景的分析，有助于廣大讀者進(jìn)一步加深對(duì)光譜共焦傳感器技術(shù)的理解。得益于納米級(jí)精度及超好的角度特性，光譜共焦位移傳感器可用于對(duì)表面粗糙度進(jìn)行高精度測量。相對(duì)于傳統(tǒng)的接觸式粗糙度儀，光譜共焦位移傳感器以更高的速度采集粗糙度輪廓，并且對(duì)產(chǎn)品表面無任何損傷。線性色散設(shè)計(jì)的光譜共焦測量技術(shù)是一種新型的測量方法；新型光譜共焦的精度

玻璃基板是液晶顯示屏必不可少的零部件之一，一張液晶顯示屏要用二張玻璃基板，各自做為底層玻璃基板和彩色濾底版應(yīng)用。玻璃基板的品質(zhì)對(duì)控制面板成品屏幕分辨率、透光性、厚度、凈重、可視角度等數(shù)據(jù)都是有關(guān)鍵危害。玻璃基板是組成液晶顯示屏元器件一個(gè)基本上構(gòu)件。這是一種表層極為平坦的方法生產(chǎn)制造薄玻璃鏡片?，F(xiàn)階段在商業(yè)上運(yùn)用的玻璃基板，其厚度為0.7 mm及0.5m m，且將要邁進(jìn)特薄厚度之制造。大部分，一片TFT-LCD控制面板需用到二片玻璃基板。因?yàn)椴ＡЩ搴穸群鼙?，而厚度?guī)格監(jiān)管又比較嚴(yán)格，一般在0.01mm的公差，關(guān)鍵清晰地測量夾層玻璃厚度、漲縮和平面度。選用創(chuàng)視智能自主生產(chǎn)研發(fā)的高精度光譜共焦位移傳感器可以非常好的處理這一難題，一次測量就可以完成了相對(duì)高度值、厚度系數(shù)的收集，再加上與此同時(shí)選用多個(gè)感應(yīng)器測量，不僅提高了效率，并且防止觸碰測量所造成的二次損害 。原裝光譜共焦測厚度光譜共焦位移傳感器在微機(jī)電系統(tǒng)、醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域中有著廣泛的應(yīng)用。

由于每一個(gè)波長都可以固定一個(gè)距離值，因此，通過將光譜山線峰值波長確定下來，就可以將精確的距離值推算出來。假設(shè)傳感器與物體表面存在相對(duì)移動(dòng)，此時(shí)物體表面的中心點(diǎn)恰好處在單色光（A1）的像點(diǎn)處，可以作出光譜儀探測到的光譜曲線。通過測量得到不同的波長值，可以將物體表面不同點(diǎn)之間的相對(duì)位移值計(jì)算出來。如果配上精細(xì)的掃描機(jī)構(gòu)，就可以對(duì)整體的二維表面輪廓及形貌進(jìn)行精確的測量。相比其他傳統(tǒng)的位移傳感器 ，光譜共焦傳感器憑借獨(dú)特的測量原理，具有測量效率高、精度高、體積小、非接觸等特點(diǎn)，在各個(gè)領(lǐng)域都得到了大量的應(yīng)用。

在容器玻璃生產(chǎn)過程中，圓度和壁厚是重要的質(zhì)量特征，需要進(jìn)行檢查。任何有缺陷的容器都會(huì)被判定為不合格產(chǎn)品并返回到玻璃熔體中。為了實(shí)現(xiàn)快速的非接觸式測量，并確保不損壞瓶子，需要高處理速度。對(duì)于這種測量任務(wù)，光譜共焦傳感器是一種合適的選擇。該系統(tǒng)在兩個(gè)點(diǎn)上同步測量并通過EtherCAT接口實(shí)時(shí)輸出數(shù)據(jù) ，厚度校準(zhǔn)功能允許在傳感器的整個(gè)測量范圍內(nèi)進(jìn)行精確的厚度測量。此外，自動(dòng)曝光控制可以實(shí)現(xiàn)對(duì)不同玻璃顏色的測量的穩(wěn)定性。激光位移傳感器的應(yīng)用主要是用于非標(biāo)的特定檢測設(shè)備中。

在硅片柵線的厚度測量過程中，創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光譜共焦位移傳感器具有0.025 μm的重復(fù)精度，±0.02%的線性精度，10kHz的測量速度和±60°的測量角度。它適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面和多層玻璃等材料表面，支持485、USB、以太網(wǎng)和模擬量數(shù)據(jù)傳輸接口。在測量太陽能光伏板硅片柵線厚度時(shí)，使用單探頭在二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上進(jìn)行掃描測量。柵線厚度可通過柵線高度與基底高度之差獲得，通過將需要掃描測量的硅片標(biāo)記三個(gè)區(qū)域并使用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測量來完成測量。由于柵線不是平整面，并且有一定的曲率，因此對(duì)于測量區(qū)域的選擇具有較大的隨機(jī)性影響 。光譜共焦位移傳感器可以應(yīng)用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、納米技術(shù)等多個(gè)領(lǐng)域。高采樣速率光譜共焦能測什么

光譜共焦透鏡組設(shè)計(jì)和性能優(yōu)化是光譜共焦技術(shù)研究的重要內(nèi)容之一；新型光譜共焦的精度

在精密幾何量計(jì)量測試中，光譜共焦技術(shù)是非常重要的應(yīng)用，可以提高測量效率和精度。在使用光譜共焦技術(shù)進(jìn)行測量之前，需要對(duì)其原理進(jìn)行分析，并對(duì)應(yīng)用的傳感器進(jìn)行綜合應(yīng)用，以獲得更準(zhǔn)確的測量數(shù)據(jù)。光譜共焦位移傳感器的工作原理是使用寬譜光源照射被測物體表面，然后通過光譜儀檢測反射回來的光譜。未來，光譜共焦技術(shù)將繼續(xù)發(fā)展，為更多領(lǐng)域帶來創(chuàng)新和改進(jìn)。通過不斷的研究和應(yīng)用，我們可以期待看到更多令人振奮的成果，使光譜共焦技術(shù)成為科學(xué)和工程領(lǐng)域不可或缺的一部分 為測量和測試提供更多可能性。新型光譜共焦的精度