擴(kuò)散泵：以低壓高速蒸汽流（油或汞等蒸汽）作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。氣體分子擴(kuò)散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的，這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作。可分為：① 自凈化擴(kuò)散泵：泵液中易揮發(fā)的雜質(zhì)經(jīng)專門的機(jī)械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴(kuò)散泵② 分餾式擴(kuò)散泵：這種泵具有分餾裝置，使蒸汽壓強(qiáng)較低的工作液蒸汽進(jìn)入高真空工作的噴嘴，而蒸汽壓強(qiáng)較高的工作液蒸汽進(jìn)入低真空工作的噴嘴，它是一種多級油擴(kuò)散泵。市場增長的主要驅(qū)動力來自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。雙極真空泵銷售

分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。雙級旋片真空泵采購臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。

干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)選擇的真空獲得設(shè)備，日本在螺桿壓縮機(jī)基礎(chǔ)上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線，并投入市場。德國幾家真空設(shè)備公司也逐步的開發(fā)出了等螺距、變螺距轉(zhuǎn)子型線，并在轉(zhuǎn)子和機(jī)體冷卻方面做了很多研究。中國企業(yè)在2008年也將螺桿真空泵的生產(chǎn)進(jìn)入批量化生產(chǎn)，在化工制藥等行業(yè)得到很好的應(yīng)用。在1999年底正式推出的螺桿式無油壓縮真空泵是一種專門為工業(yè)應(yīng)用(非半導(dǎo)體應(yīng)用)設(shè)計的干式泵，它是一種全新的設(shè)計，是專門用來解決工業(yè)應(yīng)用中艱苦的真空問題，如粉塵、焦油等。此泵也是采用變螺距轉(zhuǎn)子，有內(nèi)壓縮過程，泵腔內(nèi)無軸承和密封，極大降低了故障率，泵腔內(nèi)沒有內(nèi)部閥門，因而耐粉塵和焦油能力強(qiáng)，此泵的螺桿采用內(nèi)部中空冷卻，可以降低轉(zhuǎn)子溫度和熱變形，螺桿壽命長。

在水環(huán)真空泵中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中順時針方向旋轉(zhuǎn)時，水環(huán)的上部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸（實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入 深度）。此時葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部0°為起點(diǎn)，那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時氣體被吸入，當(dāng)吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕；當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當(dāng)小腔與排氣口相通時，氣體便被排出泵外。羅茨軸承向軸承體潤滑油，觀察油位應(yīng)在油中心線，應(yīng)及時更換或添加潤滑油。

真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會與油發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，腐蝕泵內(nèi)零件；吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕，所以要求具有良好的抗腐蝕和抗乳化性。主要要求真空泵中不攜帶輕質(zhì)組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標(biāo)以了解在比較低真空極限壓力下真空泵的極限壓力。真空泵腐蝕的形態(tài)可分為詳細(xì)（均勻）腐蝕和局部腐蝕兩大類，前者較均勻的發(fā)生在真空泵全部表面，后者只是發(fā)生在局部，如孔蝕、縫隙腐蝕、晶間腐蝕、應(yīng)力腐蝕等。采用高分子復(fù)合材料對真空泵實(shí)施表面有機(jī)涂層防腐，其具有良好的耐化學(xué)性能及優(yōu)異的力學(xué)性能和粘接性能，與傳統(tǒng)的壓力容器焊接修補(bǔ)相比，具有施工簡便、成本低、安全性能，修復(fù)效果好的特點(diǎn)。真空泵壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；雙級羅茨真空泵銷售費(fèi)用

比較大允許水蒸氣入口壓強(qiáng)：比較大允許水蒸氣入口壓強(qiáng) 單位是Pa。雙極真空泵銷售

真空泵油的抗泡性：真空泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，由于有空氣存在，常會產(chǎn)生泡沫，特別是當(dāng)油品中含有具有外表活性的添加劑時，則更容易產(chǎn)生泡沫，而且泡沫還不易消逝。光滑油運(yùn)用中產(chǎn)生泡沫會使油膜毀壞，不只使摩擦面發(fā)作燒結(jié)或增加磨損，并促進(jìn)光滑油氧化蛻變。運(yùn)轉(zhuǎn)中的真空系統(tǒng)內(nèi)氣領(lǐng)會經(jīng)過密封的真空泵油層不時排出，排出的氣領(lǐng)會在油層外表產(chǎn)生大量的氣泡，并從泵的排氣孔中溢出，形成油品損失和設(shè)備污染。加防抗泡劑的泵油，在抗泡效果上有明顯進(jìn)步。螺桿真空泵它應(yīng)用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精密動均衡校正，由軸承支撐，裝置在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因而泵工作時，互相之間無磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需光滑油，因而，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場所，極限真空更高，耗費(fèi)功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。雙極真空泵銷售