定期維護(hù)在正常的工作中要注意檢查軸承的工作和潤(rùn)滑情況，其溫度（軸承和外圓處）比環(huán)境溫度一般高出15℃～20℃為宜，比較高不允許超過(guò)30℃～35℃，即軸承架外圓處實(shí)際溫度不應(yīng)超過(guò)55℃～60℃；正常工作的軸承每年應(yīng)加油3～4次，每年至少清洗軸承一次，并將潤(rùn)滑油全部更換。在正常工作中還要定期壓緊填料，如果填料因磨損而不能保證所需要的密封性能時(shí)，應(yīng)更換新填料。如果采用機(jī)械密封，發(fā)現(xiàn)泄漏現(xiàn)象，應(yīng)檢查機(jī)械密封的動(dòng)靜環(huán)是否已損壞或是輔助密封老化，如出現(xiàn)上述情況，均需要更換新零件。在出現(xiàn)特殊聲音時(shí)，可拆下兩端蓋上的壓板，查看葉輪兩端面是否與分配器研傷，還可檢查排氣閥板是否正常。真空泵腔內(nèi)無(wú)壓縮，無(wú)排氣閥。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；旋片式真空泵代理公司

真空泵油的光滑性：摩擦面的磨擦磨損、外表疲倦磨損以及腐蝕磨損等，都與光滑條件有關(guān)。表現(xiàn)佳的真空泵油有利于抑止腐蝕磨損；能夠有效地減輕粘著磨損和外表疲倦磨損；流體光滑劑對(duì)摩擦面具有清洗作用，也可減輕磨擦磨損。降低摩擦阻力以節(jié)約能源，減少磨損，以延長(zhǎng)機(jī)械壽命。真空泵油的降溫冷卻性能降低摩擦面的溫度是光滑的一個(gè)重要作用。摩擦面運(yùn)動(dòng)時(shí)必需克制摩擦力而作功，耗費(fèi)在克制摩擦力上的功全部轉(zhuǎn)化為熱量，其結(jié)果將惹起摩擦面溫度上升。摩擦熱的大小與光滑狀態(tài)有關(guān)，粘度高的熱量比較大，粘度低的熱量比較小，而邊境摩擦的熱量則介于兩者之間。由此可見(jiàn)，用適宜粘度的真空泵油不只能夠完成液體光滑，減少摩擦熱的產(chǎn)生，而且還能夠?qū)⒛Σ翢峒皶r(shí)地帶出泵體外。無(wú)油真空泵代理商單級(jí)真空泵簡(jiǎn)單磨損的部位是蒸汽的噴嘴，噴嘴被磨損后，不只會(huì)影響泵的功能，還會(huì)增加體系的運(yùn)轉(zhuǎn)本錢(qián)。

分子泵應(yīng)該是中國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱(chēng)之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿(mǎn)足不同場(chǎng)合的需要。

螺桿真空泵的結(jié)構(gòu)：傳動(dòng)軸連接主動(dòng)轉(zhuǎn)子，通過(guò)同步齒輪帶動(dòng)從動(dòng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，在殼體上開(kāi)有冷卻水通道，用來(lái)冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤(rùn)滑，軸承和殼體內(nèi)部通過(guò)密封件來(lái)密封以達(dá)到無(wú)油的效果。干式螺桿真空泵同無(wú)油螺桿壓縮機(jī)在密封和潤(rùn)滑上結(jié)構(gòu)類(lèi)似，一般真空泵的排氣端用機(jī)械式密封件，進(jìn)氣側(cè)通常用雙唇形密封件。在傳動(dòng)方式上，通用的是直連電機(jī)，用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接，極少數(shù)用皮帶或者傳動(dòng)鏈傳動(dòng)。 等螺距螺桿泵由于無(wú)內(nèi)壓縮過(guò)程，排氣溫度非常高，如冷卻效果不好，會(huì)造成轉(zhuǎn)子和機(jī)殼變形，影響抽氣效果。冷卻機(jī)殼是必不可少的一個(gè)環(huán)節(jié)，水冷是比較常見(jiàn)的方法，在機(jī)殼本體、軸承外側(cè)通冷卻水，可以達(dá)到冷卻殼體進(jìn)而冷卻轉(zhuǎn)子的目的。真空泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中，系統(tǒng)內(nèi)水分及冷氣體會(huì)排入泵油中會(huì)影響泵油運(yùn)用壽命也使極限壓力變壞。

油封式真空泵：它是利用油類(lèi)密封各運(yùn)動(dòng)部件之間的間隙，減少有害空間的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡?。這種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置，故又稱(chēng)氣鎮(zhèn)式真空泵。按其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分為如下五種形式。干式螺桿真空泵：它是一種不用油類(lèi)（或液體）密封的變?nèi)菡婵毡?。液環(huán)式真空泵：帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)，當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時(shí)，把液體（通常為水或油）拋向泵殼內(nèi)形成泵殼同心的環(huán)液，環(huán)液同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期性變化的幾個(gè)小容積，故亦稱(chēng)旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡?。羅茨真空泵：泵內(nèi)裝有兩個(gè)相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡?。機(jī)械增壓泵即為這種形式的真空泵。水環(huán)真空泵（簡(jiǎn)稱(chēng)水環(huán)泵）是一種粗真空泵。無(wú)油真空泵代理商

雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵，但在中國(guó)的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域仍然有著很大的市場(chǎng)。旋片式真空泵代理公司

這種氣冷式羅茨泵可用于高壓差和高壓縮比的情況下工作，這種泵的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，冷卻器與泵的出口相聯(lián)，便于維修和更換。由于散熱均勻，轉(zhuǎn)子和泵體之間的間隙仍可保持很小，有利于泵容積效率的提高。真空泵油的密封性：真空泵油需求具有適合的粘度，在低溫下能使真空泵疾速啟動(dòng)，在高溫下真空泵油能具有良好的密封性，在泵內(nèi)真空泵油具有較低的溫升。不含有輕質(zhì)的易揮發(fā)組分，降低運(yùn)用過(guò)程中真空泵的返油率。真空泵油的飽和蒸汽壓：飽和蒸汽壓是真空泵油較關(guān)鍵的指標(biāo)之一。在恒溫的密閉容器中，當(dāng)汽液兩相到達(dá)動(dòng)態(tài)均衡時(shí)的壓力稱(chēng)謂飽和蒸汽壓。旋片式真空泵代理公司