高效異質(zhì)結(jié)電池生產(chǎn)流程中使用的設(shè)備,PECVD 1.等離子化學(xué)氣相沉積(PlasmaEnhancedCVD,PECVD)是指利用輝光放電的物理作用來化學(xué)氣相沉積反應(yīng)的CVD技術(shù);2.異質(zhì)結(jié)非晶硅薄膜沉積是采用RPECVD技術(shù),射頻等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(RFPlasma-EnhancedChemicalVaporDeposition,RPECVD),是PECVD的另外一種技術(shù)。它是利用射頻能量使反應(yīng)氣體等離子化。優(yōu)點(diǎn):低溫成膜(300-350℃),對(duì)基片影響小,避免了高溫帶來的膜層晶粒粗大;l低壓下形成薄膜厚度及成分較均勻、膜層致密、內(nèi)應(yīng)力小,不易產(chǎn)生裂紋;l擴(kuò)大CVD應(yīng)用范圍,特別是在不同基片上制備金屬薄膜、非晶態(tài)無機(jī)薄膜等,薄膜的附著力大于普通CVD。光伏異質(zhì)結(jié)技術(shù)的廣泛應(yīng)用能夠推動(dòng)光伏產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展,促進(jìn)科技進(jìn)步和經(jīng)濟(jì)增長。上海異質(zhì)結(jié)設(shè)備供應(yīng)商
異質(zhì)結(jié)電池工藝 1.清洗制絨。通過腐蝕去除表面損傷層,并且在表面進(jìn)行制絨,以形成絨面結(jié)構(gòu)達(dá)到陷光效果,減少反射損失;2.正面/背面非晶硅薄膜沉積。通過CVD方式在正面/背面分別沉積5~10nm的本征a-Si:H,作為鈍化層,然后再沉積摻雜層;3.正面/背面TCO沉積。通過PVD在鈍化層上面進(jìn)行TCO薄膜沉積;4.柵線電極。通過絲網(wǎng)印刷進(jìn)行柵線電極制作;5.烘烤(退火)。通過絲網(wǎng)印刷進(jìn)行正面柵線電極制作,然后通過低溫?zé)Y(jié)形成良好的接觸;6.光注入。7.電池測試及分選。江蘇專業(yè)異質(zhì)結(jié)技術(shù)光伏異質(zhì)結(jié)是一種綠色能源技術(shù),生產(chǎn)過程中不產(chǎn)生污染物,符合可持續(xù)發(fā)展的要求。
太陽能異質(zhì)結(jié)電池是一種新型的太陽能電池,相比于傳統(tǒng)的硅基太陽能電池和其他新型太陽能電池,具有以下優(yōu)勢:1.高效率:太陽能異質(zhì)結(jié)電池的轉(zhuǎn)換效率可以達(dá)到30%以上,比傳統(tǒng)的硅基太陽能電池高出很多。2.輕薄柔性:太陽能異質(zhì)結(jié)電池可以采用柔性材料制作,可以制成輕薄柔性的太陽能電池,適用于各種場合。3.長壽命:太陽能異質(zhì)結(jié)電池的壽命比傳統(tǒng)的硅基太陽能電池長,可以達(dá)到20年以上。4.低成本:太陽能異質(zhì)結(jié)電池的制造成本相對(duì)較低,可以大規(guī)模生產(chǎn),降低太陽能發(fā)電的成本。5.環(huán)保:太陽能異質(zhì)結(jié)電池不會(huì)產(chǎn)生任何污染物,是一種非常環(huán)保的能源。
異高效質(zhì)結(jié)電池HJT是HeterojunctionTechnology的縮寫,是一種N型單晶雙面電池,具有工藝簡單、發(fā)電量高、度電成本低的優(yōu)勢。異質(zhì)結(jié)太陽能電池使用晶體硅片進(jìn)行載流子傳輸和吸收,并使用非晶/或微晶薄硅層進(jìn)行鈍化和結(jié)的形成。頂部電極由透明導(dǎo)電氧化物(TCO)層和金屬網(wǎng)格組成。異質(zhì)結(jié)硅太陽能電池已經(jīng)吸引了很多人的注意,因?yàn)樗鼈兛梢赃_(dá)到很高的轉(zhuǎn)換效率,可達(dá)26.3%,由隆基團(tuán)隊(duì)對(duì)HJT極限效率進(jìn)行更新為28.5%,同時(shí)使用低溫度加工,通常整個(gè)過程低于200℃。低加工溫度允許處理厚度小于100微米的硅晶圓,同時(shí)保持高產(chǎn)量。零界高效異質(zhì)結(jié)電池整線裝備,可實(shí)現(xiàn)更低的度電成本及更好的長期可靠性。
高效異質(zhì)結(jié)電池整線裝備,物理的氣相沉積,PVD優(yōu)點(diǎn)沉積速度快、基材溫升低;所獲得的薄膜純度高、致密性好、成膜均勻性好;濺射工藝可重復(fù)性好,精確控制厚度;膜層粒子的散射能力強(qiáng),繞鍍性好;不同的金屬、合金、氧化物能夠進(jìn)行混合,同時(shí)濺射于基材上;缺點(diǎn):常規(guī)平面磁控濺射技術(shù)靶材利用率不高,一般低于40%;在輝光放電中進(jìn)行,金屬離化率較低。反應(yīng)等離子體沉,RPD優(yōu)點(diǎn):對(duì)襯底的轟擊損傷?。诲儗痈街阅芎?,膜層不易脫落;源材料利用率高,沉積速率高;易于化合物膜層的形成,增加活性;鍍膜所使用的基體材料和膜材范圍廣。缺點(diǎn):薄膜中的缺陷密度較高,薄膜與基片的過渡區(qū)較寬,應(yīng)用中受到限制(特別是電子器件和IC);薄膜中含有氣體量較高。異質(zhì)結(jié)電池功率高,雙面率高,工序短,低溫工藝,溫度系數(shù)低,衰減低等。安徽高效硅異質(zhì)結(jié)費(fèi)用
異質(zhì)結(jié)電池提升了太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率、良率和產(chǎn)能,并極大降低了生產(chǎn)成本。上海異質(zhì)結(jié)設(shè)備供應(yīng)商
光伏異質(zhì)結(jié)的制造工藝主要包括以下幾個(gè)步驟:1.基片制備:選擇合適的基片材料,如硅、鎵砷化鎵等,進(jìn)行表面處理和清洗,以保證后續(xù)工藝的順利進(jìn)行。2.沉積薄膜:利用化學(xué)氣相沉積、物理的氣相沉積等技術(shù),在基片表面沉積一層或多層薄膜,如n型或p型摻雜層、金屬電極等。3.制造異質(zhì)結(jié):通過摻雜、擴(kuò)散、離子注入等方法,在基片表面形成n型和p型半導(dǎo)體材料的異質(zhì)結(jié)。4.退火處理:將制造好的異質(zhì)結(jié)進(jìn)行高溫退火處理,以提高其電學(xué)性能和穩(wěn)定性。5.制造封裝:將制造好的光伏異質(zhì)結(jié)進(jìn)行封裝,以保護(hù)其免受外界環(huán)境的影響,并方便其在實(shí)際應(yīng)用中的使用。以上是光伏異質(zhì)結(jié)的制造工藝的基本步驟,不同的制造工藝可能會(huì)有所不同,但總體上都是在這些基本步驟的基礎(chǔ)上進(jìn)行的。上海異質(zhì)結(jié)設(shè)備供應(yīng)商