太陽(yáng)能異質(zhì)結(jié)中的不同層協(xié)同工作是通過(guò)光電轉(zhuǎn)換的方式實(shí)現(xiàn)的。太陽(yáng)能異質(zhì)結(jié)由p型半導(dǎo)體和n型半導(dǎo)體組成，兩種半導(dǎo)體之間形成了pn結(jié)。當(dāng)太陽(yáng)光照射到pn結(jié)上時(shí)，光子會(huì)被吸收并激發(fā)電子從價(jià)帶躍遷到導(dǎo)帶，形成電子空穴對(duì)。由于pn結(jié)兩側(cè)的電場(chǎng)方向相反，電子和空穴會(huì)被分離，形成電勢(shì)差，從而產(chǎn)生電流。不同層之間的協(xié)同工作是通過(guò)優(yōu)化各自的材料和結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)的。例如，p型半導(dǎo)體通常采用硼摻雜的硅材料，n型半導(dǎo)體則采用磷或氮摻雜的硅材料。這樣可以使得p型半導(dǎo)體的電子井深度較淺，n型半導(dǎo)體的電子井深度較深，從而提高光電轉(zhuǎn)換效率。此外，太陽(yáng)能電池的表面還會(huì)涂覆一層透明導(dǎo)電膜，以增加光的吸收和電子的收集效率?？傊?，太陽(yáng)能異質(zhì)結(jié)中的不同層通過(guò)優(yōu)化材料和結(jié)構(gòu)，協(xié)同工作實(shí)現(xiàn)光電轉(zhuǎn)換，將太陽(yáng)光能轉(zhuǎn)化為電能。這種協(xié)同工作的優(yōu)化可以提高太陽(yáng)能電池的效率和穩(wěn)定性，從而推動(dòng)太陽(yáng)能技術(shù)的發(fā)展。光伏異質(zhì)結(jié)的應(yīng)用領(lǐng)域不斷擴(kuò)大，包括但不限于家庭、商業(yè)、工業(yè)、農(nóng)業(yè)等領(lǐng)域。浙江高效異質(zhì)結(jié)裝備

異質(zhì)結(jié)（Heterojunction with Intrinsic Thin-layer，HJT）電池為對(duì)稱(chēng)的雙面結(jié)構(gòu)，主要由 N 型單晶硅片襯底、正面和背面的本征/摻雜非晶硅薄膜層（包括 N 型非晶硅薄膜 n-a-Si:H、本征非晶硅薄膜 i-a-Si:H 和 P 型非晶硅薄膜 p-a-Si:H）、雙面的透明導(dǎo)電氧化薄膜(TCO) 層和金屬電極構(gòu)成。其中，本征非晶硅層起到表面鈍化作用，P型摻雜非晶硅層為發(fā)射層，N 型摻雜非晶硅層起到背場(chǎng)作用。HJT是很有潛力優(yōu)勢(shì)的技術(shù)，在將來(lái)HJT電池與鈣鈦礦技術(shù)進(jìn)行復(fù)合疊層，突破轉(zhuǎn)換效率30%成為可能。0bb異質(zhì)結(jié)零界高效異質(zhì)結(jié)電池整線裝備，可實(shí)現(xiàn)更低的度電成本及更好的長(zhǎng)期可靠性。

異質(zhì)結(jié)電池HJT是HeterojunctionTechnology的縮寫(xiě)，是一種N型單晶雙面電池，具有工藝簡(jiǎn)單、發(fā)電量高、度電成本低的優(yōu)勢(shì)。異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池使用晶體硅片進(jìn)行載流子傳輸和吸收，并使用非晶/或微晶薄硅層進(jìn)行鈍化和結(jié)的形成。頂部電極由透明導(dǎo)電氧化物（TCO）層和金屬網(wǎng)格組成。異質(zhì)結(jié)硅太陽(yáng)能電池已經(jīng)吸引了很多人的注意，因?yàn)樗鼈兛梢赃_(dá)到很高的轉(zhuǎn)換效率，可達(dá)26.3%，由隆基團(tuán)隊(duì)對(duì)HJT極限效率進(jìn)行更新為28.5%，同時(shí)使用低溫度加工，通常整個(gè)過(guò)程低于200℃。低加工溫度允許處理厚度小于100微米的硅晶圓，同時(shí)保持高產(chǎn)量。

光伏異質(zhì)結(jié)和PN結(jié)都是半導(dǎo)體器件中常見(jiàn)的結(jié)構(gòu)，但它們的區(qū)別在于其形成的原因和應(yīng)用場(chǎng)景。PN結(jié)是由兩種不同摻雜的半導(dǎo)體材料（P型和N型）形成的結(jié)構(gòu)。在PN結(jié)中，P型半導(dǎo)體中的電子和N型半導(dǎo)體中的空穴會(huì)在結(jié)區(qū)域發(fā)生復(fù)合，形成一個(gè)空穴富集區(qū)和一個(gè)電子富集區(qū)，從而形成一個(gè)電勢(shì)壘。PN結(jié)的主要應(yīng)用包括二極管、光電二極管等。光伏異質(zhì)結(jié)是由兩種不同材料的半導(dǎo)體形成的結(jié)構(gòu)，其中一種材料的帶隙比另一種材料大。在光伏異質(zhì)結(jié)中，當(dāng)光子進(jìn)入結(jié)區(qū)域時(shí)，會(huì)激發(fā)出電子和空穴，從而形成電子空穴對(duì)。由于材料的帶隙不同，電子和空穴會(huì)在結(jié)區(qū)域形成電勢(shì)壘，從而產(chǎn)生電壓和電流。光伏異質(zhì)結(jié)的主要應(yīng)用是太陽(yáng)能電池。因此，PN結(jié)和光伏異質(zhì)結(jié)的區(qū)別在于其形成的原因和應(yīng)用場(chǎng)景。PN結(jié)主要用于電子學(xué)器件，而光伏異質(zhì)結(jié)則主要用于光電器件。光伏異質(zhì)結(jié)作為一種重要的可再生能源技術(shù)，將繼續(xù)為推動(dòng)全球能源轉(zhuǎn)型和可持續(xù)發(fā)展做出積極貢獻(xiàn)。

質(zhì)結(jié)電池TCO薄膜的方法主要有兩種：RPD（特指空心陰極離子鍍)和PVD(特指磁控濺射鍍膜)；l該工藝主要是在電池正背面上沉積一層透明導(dǎo)電膜層，通過(guò)該層薄膜實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電、減反射、保護(hù)非晶硅薄膜的作用，同時(shí)可以有效地增加載流子的收集；l目前常用于HJT電池TCO薄膜為In2O3系列，如ITO（錫摻雜In2O3，@PVD濺射法）、IWO（鎢摻雜In2O3，@RPD方法沉積）等。HJT電池具備光電轉(zhuǎn)化效率提升潛力高、更大的降成本空間。零界高效異質(zhì)結(jié)電池整線解決方案，實(shí)現(xiàn)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化，高效高產(chǎn)PVD DD CVD。零界高效異質(zhì)結(jié)電池整線設(shè)備，可延伸至鈣鈦礦疊層及IBC等技術(shù)。南京鈣鈦礦異質(zhì)結(jié)費(fèi)用

異質(zhì)結(jié)電池主工藝有4道：制絨、非晶硅沉積、TCO沉積、金屬化。浙江高效異質(zhì)結(jié)裝備

異質(zhì)結(jié)電池的清洗制絨：在沉積a-Si:H之前的晶圓清洗有兩個(gè)作用。一個(gè)是去除晶圓表面的顆粒和金屬污染。另一個(gè)是用氫氣使表面上的懸空鍵部分鈍化。清潔是降低a-Si:H/c-Si界面狀態(tài)密度的關(guān)鍵一步。不同清潔程序的效果可以通過(guò)測(cè)量清潔過(guò)的晶圓的載流子壽命來(lái)研究，這些晶圓已經(jīng)用相同的a-Si:H薄膜進(jìn)行了鈍化。在高質(zhì)量硅片的塊狀區(qū)域的載流子重組可以被認(rèn)為是可以忽略的，因此對(duì)載流子壽命的測(cè)量表明了表面重組，因此也表明了清潔過(guò)程的質(zhì)量。下圖顯示了在代爾夫特理工大學(xué)進(jìn)行的三種不同清洗方法的比較。在晶圓兩面沉積本征a-Si:H層之前，以三種不同的方式處理（100）取向的FZ c-Si晶圓。晶圓使用標(biāo)準(zhǔn)的RCA清洗，第二個(gè)晶圓使用涉及濃硝酸的標(biāo)準(zhǔn)DIMES清洗程序進(jìn)行清洗。所有三個(gè)晶圓都被浸泡在HF中，以去除原生氧化層，這是對(duì)第三個(gè)晶圓進(jìn)行的處理。在預(yù)處理之后，在晶圓的兩面都沉積了120納米厚的本征a-Si:H層，每次運(yùn)行都使用相同的沉積條件。使用Sinton壽命測(cè)試器測(cè)量載流子壽命，以評(píng)估鈍化質(zhì)量。使用標(biāo)準(zhǔn)RCA工藝清潔的晶圓載流子壽命高，因此鈍化效果也好。只接受HF浸漬處理的晶圓觀察到低的載流子壽命。浙江高效異質(zhì)結(jié)裝備