電鍍銅設(shè)備工序包括種子層制備、圖形化、電鍍?nèi)蟓h(huán)節(jié),涌現(xiàn)多種設(shè)備方案。電鍍銅 工藝尚未定型,各環(huán)節(jié)技術(shù)方案包括(1)種子層:設(shè)備主要采用 PVD,主要技術(shù)分歧 在于是否制備種子層、制備整面/局部種子層和種子層金屬選用;(2)圖形化:感光材料 分為干膜和油墨,主要技術(shù)分歧在于曝光顯影環(huán)節(jié)選用掩膜類光刻/LDI 激光直寫(xiě)/激光 開(kāi)槽;(3)電鍍:主要技術(shù)分歧在于水平鍍/垂直鍍/光誘導(dǎo)電鍍。釜川(無(wú)錫)智能科技有限公司,以半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備為主要產(chǎn)品,打造光伏設(shè)備一體化服務(wù)。擁有強(qiáng)大的科研團(tuán)隊(duì),憑借技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)力,在清洗制絨設(shè)備、PECVD設(shè)備、PVD設(shè)備、電鍍銅設(shè)備等方面都有獨(dú)特優(yōu)勢(shì);以高效加工制造、快速終端交付的能力,為客戶提供整線工藝設(shè)備的交付服務(wù)。 光伏電鍍銅設(shè)計(jì)的導(dǎo)電方式主要有彈片重力夾具等方式。江蘇光伏電鍍銅設(shè)備價(jià)格
全新的電鍍銅工藝旨在進(jìn)一步針對(duì)低成本電池的需求,光伏銅電鍍技術(shù)采用金屬銅完全代替銀漿作為柵線電極,實(shí)現(xiàn)整片電池的工藝轉(zhuǎn)換,打破瓶頸,創(chuàng)新行業(yè)發(fā)展。光伏電鍍銅設(shè)計(jì)的導(dǎo)電方式主要有彈片式導(dǎo)電舟方式、水平滾輪導(dǎo)電、模具掛架式、彈片重力夾具等方式。合理的導(dǎo)電方式對(duì)光伏電鍍銅設(shè)備非常重要是實(shí)現(xiàn)可量產(chǎn)的關(guān)鍵因素之一。優(yōu)良的導(dǎo)電方式可以實(shí)現(xiàn)設(shè)備的便捷維修和改善電鍍銅片與片之間的電鍍銅厚極差,甚至可以實(shí)現(xiàn)單片硅上分布電流的可監(jiān)控性。 異質(zhì)結(jié)電鍍銅設(shè)備報(bào)價(jià) 光伏電鍍銅設(shè)計(jì)的導(dǎo)電方式主要有模具掛架式方式。
電鍍銅光刻技術(shù)是指利用光學(xué)-化學(xué)反應(yīng)原理和化學(xué)、物理刻蝕方法,將設(shè)計(jì)好的微圖形結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到覆有感光材料的晶圓、玻璃基板、覆銅板等基材表面上的微納制造技術(shù)。光刻設(shè)備是微納制造的一種關(guān)鍵設(shè)備,在泛半導(dǎo)體領(lǐng)域,根據(jù)是否使用掩膜版,光刻技術(shù)主要分為直寫(xiě)光刻與掩膜光刻,其中掩膜光刻可進(jìn)一步分為接近/接觸式光刻以及投影式光刻。掩膜光刻由光源發(fā)出的光束,經(jīng)掩膜版在感光材料上成像,具體可分為接近、接觸式光刻以及投影光刻。其中,投影式光刻更加先進(jìn),能夠在使用相同尺寸掩膜版的情況下獲得更小比例的圖像,從而實(shí)現(xiàn)更精細(xì)的成像。直寫(xiě)光刻也稱無(wú)掩膜光刻,是指計(jì)算機(jī)將電路設(shè)計(jì)圖形轉(zhuǎn)換為機(jī)器可識(shí)別的圖形數(shù)據(jù),并由計(jì)算機(jī)控制光束調(diào)制器實(shí)現(xiàn)圖形的實(shí)時(shí)顯示,再通過(guò)光學(xué)成像系統(tǒng)將圖形光束聚焦成像至已涂覆感光材料的基板表面上,直接進(jìn)行掃描曝光。直寫(xiě)光刻既具有投影光刻的技術(shù)特點(diǎn),如投影成像技術(shù)、雙臺(tái)面技術(shù)、步進(jìn)式掃描曝光等,又具有投影光刻不具備的高靈活性、低成本以及縮短工藝流程等技術(shù)特點(diǎn)。
電鍍銅圖形化環(huán)節(jié)主要包含掩膜、曝光、顯影幾個(gè)步驟。其中,掩膜環(huán)節(jié)是將抗刻蝕的感光材料涂覆在電池表面以遮蓋保護(hù)不需要被電鍍的區(qū)域,感光材料主要有濕膜油墨、干膜材料等。曝光、顯影環(huán)節(jié)是將圖形轉(zhuǎn)移至感光材料上,主要技術(shù)有LDI激光直寫(xiě)光刻(無(wú)需掩膜)、常規(guī)掩膜光刻技術(shù)、激光開(kāi)槽、噴墨打印等;其中無(wú)需掩膜的LDI激光直寫(xiě)光刻技術(shù)應(yīng)用潛力較大,激光開(kāi)槽在BC類電池上已有量產(chǎn)應(yīng)用,整體看圖形化技術(shù)路線有望逐步明確和定型。電鍍銅工藝簡(jiǎn)單,易于操作和維護(hù),可以在短時(shí)間內(nèi)完成高質(zhì)量的表面處理。
電鍍銅的電流效率是指在電鍍過(guò)程中,實(shí)際沉積在工件表面的銅質(zhì)量與理論上應(yīng)沉積的銅質(zhì)量之比。電流效率的計(jì)算公式為:電流效率=實(shí)際沉積銅質(zhì)量/理論沉積銅質(zhì)量×100%其中,實(shí)際沉積銅質(zhì)量可以通過(guò)稱量電鍍前后工件的重量差來(lái)計(jì)算,而理論沉積銅質(zhì)量則可以通過(guò)法拉第電解定律來(lái)計(jì)算。法拉第電解定律表明,在相同的電流密度下,電解質(zhì)量與電流時(shí)間成正比,與電解液中離子濃度成正比。因此,在電鍍銅的過(guò)程中,需要控制電流密度和電解液中銅離子的濃度,以提高電流效率。同時(shí),還需要注意電鍍過(guò)程中的溫度、攪拌速度、PH值等因素,以保證電鍍質(zhì)量的穩(wěn)定性和一致性。光伏電鍍銅量產(chǎn),加速HJT降本放量。鄭州HJT電鍍銅設(shè)備價(jià)格
光伏應(yīng)用電鍍銅技術(shù)應(yīng)用的前景展望。江蘇光伏電鍍銅設(shè)備價(jià)格
電鍍銅各環(huán)節(jié)技術(shù)方案包括(1)種子層:設(shè)備主要采用 PVD,主要技術(shù)分歧 在于是否制備種子層、制備整面/局部種子層和種子層金屬選用;(2)圖形化:感光材料 分為干膜和油墨,主要技術(shù)分歧在于曝光顯影環(huán)節(jié)選用掩膜類光刻/LDI 激光直寫(xiě)/激光 開(kāi)槽;(3)電鍍:主要技術(shù)分歧在于水平鍍/垂直鍍/光誘導(dǎo)電鍍。釜川(無(wú)錫)智能科技有限公司,以半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備為主要產(chǎn)品,打造光伏設(shè)備一體化服務(wù)。擁有強(qiáng)大的科研團(tuán)隊(duì),憑借技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)力,在清洗制絨設(shè)備、PECVD設(shè)備、PVD設(shè)備、電鍍銅設(shè)備等方面都有獨(dú)特優(yōu)勢(shì);以高效加工制造、快速終端交付的能力,為客戶提供整線工藝設(shè)備的交付服務(wù)。江蘇光伏電鍍銅設(shè)備價(jià)格