現(xiàn)下科學(xué)實(shí)驗(yàn)需要更加精密的計(jì)算和測(cè)量,因此一個(gè)能與外界環(huán)境和干擾相對(duì)隔離的設(shè)備儀器對(duì)實(shí)驗(yàn)的結(jié)果測(cè)量是非常重要的。具備固定各種光學(xué)元件以及顯微鏡成像設(shè)備等功能的光學(xué)平臺(tái)為此成為科研實(shí)驗(yàn)中必備的產(chǎn)品。振源分析,周邊環(huán)境的振動(dòng)現(xiàn)象無處不在,經(jīng)過甄別后進(jìn)行測(cè)試及計(jì)算對(duì)比,振源類別、頻率及振幅詳情見下表:隔振三要素:1.被隔振的設(shè)備本身;2.地基(地面)條件;3.設(shè)備與地基之間的隔振臺(tái)。光學(xué)平臺(tái)的構(gòu)成,光學(xué)平臺(tái)主要由4個(gè)部分組成,分別是阻尼面包板、隔振器、支撐腿及自平衡水平調(diào)節(jié)閥。在半導(dǎo)體行業(yè)中,光學(xué)平臺(tái)用于鍍膜、刻蝕等工藝的光學(xué)測(cè)試。四川光學(xué)面包板廠家
光學(xué)平臺(tái)系統(tǒng)選型定位:1.剛性光學(xué)平臺(tái):適用于對(duì)隔振要求不高的場(chǎng)合;2.被動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)分為兩類:非氣浮式隔振光學(xué)平臺(tái):適用于對(duì)隔振要求較低的場(chǎng)合,平臺(tái)固有頻率5Hz~7.5Hz;氣浮式隔振光學(xué)平臺(tái):適用于對(duì)隔振要求較高的場(chǎng)合,平臺(tái)固有頻率1Hz~3Hz;3.主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái):適用于對(duì)隔振要求極高的場(chǎng)合,隔振頻率范圍為0.6Hz~200Hz;4.面包板:適用于對(duì)隔振無要求但需機(jī)動(dòng)靈活的場(chǎng)合;5.光學(xué)平臺(tái)附件及配件:根據(jù)實(shí)際使用環(huán)境需求配置。精密光學(xué)平臺(tái)附件光學(xué)平臺(tái)的配置靈活,可根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求簡(jiǎn)便的進(jìn)行組裝和維護(hù)。
自平衡水平調(diào)節(jié)閥,氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)可以高精確、快速自動(dòng)調(diào)平整個(gè)平臺(tái)系統(tǒng)。調(diào)節(jié)桿可 360 度旋轉(zhuǎn),重復(fù)性為 ± 0.3 mm 。光學(xué)平臺(tái)設(shè)計(jì)性能要求:1.光學(xué)平臺(tái)的臺(tái)板結(jié)構(gòu)應(yīng)符合鋼性好、質(zhì)量輕的特點(diǎn),以保證平臺(tái)的共振頻率盡可能的高,以便盡量減少可引起共振的普通振源數(shù)量;2.柔量特性應(yīng)盡量接近理想剛體的柔量特性;3.平臺(tái)應(yīng)具有內(nèi)部阻尼機(jī)制,從而在共振頻率下盡量減小平臺(tái)柔量,并盡量可能在較短時(shí)間內(nèi)抑制住所有振動(dòng)。光學(xué)平臺(tái)設(shè)計(jì)性能檢測(cè),平臺(tái)性能一般通過柔量量化曲線來體現(xiàn),利用動(dòng)態(tài)信號(hào)分析儀進(jìn)行測(cè)量,柔量值越小,平臺(tái)性能越好。柔量檢測(cè)方法:1.利用脈沖錘使用經(jīng)過測(cè)量的力施加在平臺(tái)或面包板的上表面;2.通過安裝在平臺(tái)表面的加速度儀探測(cè)所產(chǎn)生的振動(dòng),加速度儀的信號(hào)經(jīng)過分析器解讀之后生成頻率響應(yīng)頻譜(即柔量曲線);3.一般測(cè)量位置處于臺(tái)邊 150mm 處,此位置所測(cè)數(shù)據(jù)表示平臺(tái)較差情況下的數(shù)據(jù)。
光學(xué)平臺(tái)的設(shè)計(jì)旨在實(shí)現(xiàn)一定的水平性,在生產(chǎn)過程中,平臺(tái)表面經(jīng)過精密加工,確保其非常平坦。使用時(shí),光學(xué)平臺(tái)通常置于四個(gè)連接的氣囊上,通過這些氣囊保持平臺(tái)的水平狀態(tài),光學(xué)平臺(tái)上布滿了規(guī)則排列的工程螺紋孔,這些孔可以與相應(yīng)的螺絲配合,牢固地固定各種光學(xué)元器件和設(shè)備。當(dāng)研究人員完成光學(xué)平臺(tái)設(shè)備的搭建后,整個(gè)系統(tǒng)便可穩(wěn)定運(yùn)行,幾乎不受外界環(huán)境的影響,光學(xué)平臺(tái)還具備自動(dòng)回平功能,即使在實(shí)驗(yàn)中受到輕微震動(dòng),它也能迅速恢復(fù)到水平狀態(tài)。光學(xué)平臺(tái)的信息化管理系統(tǒng)可以用于重復(fù)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的記錄和分析。
臺(tái)式主動(dòng)減振系統(tǒng),臺(tái)式主動(dòng)減振系統(tǒng)由減振器和控制器兩部分組成。減振器采用精密金屬?gòu)椈蓪?shí)現(xiàn)被動(dòng)隔振,由音圈電機(jī)實(shí)現(xiàn)主動(dòng)減振。用于反饋控制檢測(cè)的速度傳感器采用美國(guó)GEOSPACE公司的產(chǎn)品,所有零、部件封閉在機(jī)體內(nèi)。桌式主動(dòng)減振臺(tái),桌式主動(dòng)減振臺(tái)是一個(gè)具有多項(xiàng)國(guó)家專利的高精密隔振平臺(tái)。此平臺(tái)由蜂窩內(nèi)芯光學(xué)臺(tái)面、隔振器以及臺(tái)架所組成。隔振器采用精密金屬?gòu)椈蓪?shí)現(xiàn)被動(dòng)隔振,由洛侖茲電機(jī)實(shí)現(xiàn)主動(dòng)減振。平臺(tái)提供六自由度、高精度、帶地基反饋的隔振。相比傳統(tǒng)的主動(dòng)減振方案,本系統(tǒng)采用三個(gè)速度傳感器來實(shí)現(xiàn)地基前饋控制,能在50Hz頻率范圍內(nèi)使隔振效果達(dá)到較佳水平。在教學(xué)研究中,光學(xué)平臺(tái)幫助學(xué)生理解光學(xué)原理與實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)的關(guān)系。江蘇升降光學(xué)平臺(tái)規(guī)格
光學(xué)平臺(tái)在天文觀測(cè)領(lǐng)域同樣重要,支持大型天文望遠(yuǎn)鏡的光學(xué)調(diào)整。四川光學(xué)面包板廠家
在本文中,我們將會(huì)介紹光學(xué)平臺(tái)的主要類型以及它們的區(qū)別。1. 傳統(tǒng)光學(xué)平臺(tái),傳統(tǒng)光學(xué)平臺(tái)是較為常見的光學(xué)元件安裝平臺(tái),在這種平臺(tái)上,光學(xué)元件可以通過旋鈕調(diào)整并固定在特定的位置。這種平臺(tái)通常由鋁材料制成,并且具有精細(xì)的X、Y和Z方向調(diào)節(jié)功能。傳統(tǒng)光學(xué)平臺(tái)較大的優(yōu)點(diǎn)在于成本低廉,而且可以適用于大多數(shù)光學(xué)任務(wù)。2. 復(fù)合光學(xué)平臺(tái),復(fù)合光學(xué)平臺(tái)是由多個(gè)融合在一起的光學(xué)組件組成的。這種平臺(tái)通常由強(qiáng)度高鋁材料或石墨復(fù)合材料制成。復(fù)合光學(xué)平臺(tái)的優(yōu)點(diǎn)在于可以提供更大的載荷承載能力,同時(shí)還可以減小振動(dòng)和噪音等問題。四川光學(xué)面包板廠家