自動化等離子清洗機(jī)是一種利用等離子體清洗產(chǎn)品表面的設(shè)備,能夠自動化進(jìn)行工作,自動完成清洗過程,提高清洗效率和精度,降低人工操作的誤差和勞動強(qiáng)度。自動化等離子清洗機(jī)設(shè)備組成清洗室:清洗室內(nèi)放置待處理產(chǎn)品,是等離子清洗的實(shí)際操作區(qū)域。等離子體發(fā)生器:等離子體發(fā)生器利用高頻電場將氣體轉(zhuǎn)化為等離子體,是等離子清洗的關(guān)鍵設(shè)備。氣體控制系統(tǒng):氣體控制系統(tǒng)對氣體的流量、壓力等參數(shù)進(jìn)行控制,保證等離子體清洗的穩(wěn)定性和可靠性。觸摸屏控制系統(tǒng):觸摸屏控制系統(tǒng)可以直觀地顯示設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)和參數(shù)設(shè)置,方便操作人員進(jìn)行設(shè)備控制和調(diào)整。真空泵系統(tǒng):真空泵系統(tǒng)可以降低環(huán)境壓強(qiáng),保證等離子體的穩(wěn)定性和清洗效果。專業(yè)等離子清洗機(jī)原生產(chǎn)廠家,找杰恒舜智能。承德大氣等離子清洗機(jī)廠家價格
等離子清洗機(jī)(plasmacleaner)也叫等離子清潔機(jī),或者等離子表面處理儀,是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的。秦皇島小型等離子清洗機(jī)怎么使用杰恒舜智能等離子清洗機(jī),表面清洗專業(yè)人員。
等離子清洗機(jī)有哪些作用?等離子清洗機(jī)是利用等離子來達(dá)到常規(guī)清洗無法完成的任務(wù)。在不同行業(yè)和領(lǐng)域,對于材料所需要達(dá)到的效果和目的也各有不同。一般而言,利用等離子清洗技術(shù)可達(dá)到改變材料表面活性,提高附著力增強(qiáng)刻蝕,去除污染物等效果。等離子表面改性指的是材料表面張力的改變,處理后可以提高表面附著力,有利于基體受面在進(jìn)行粘接、涂覆、印刷、焊接以及注塑等工藝時具有更好的鍵合效果。等離子改性不受基體材質(zhì)限制,常規(guī)清洗無法處理的材質(zhì),利用等離子體清洗可以完成,如聚丙烯、聚乙烯、橡膠等高分子極性塑膠經(jīng)由等離子體的處理,就可以在不使用助粘劑的情況下進(jìn)行基材間的粘接聚合。等離子的清潔作用主要可去除肉眼觀測不到的有機(jī)污染物,以及顆粒等微塵。有機(jī)污染物包括各種油污油脂、光刻膠、脫模劑、環(huán)氧樹脂和添加劑,還有金屬氧化物、氧化膜等。顆粒污染物則包括粉塵和雜質(zhì)等無機(jī)殘留物。由于等離子體清洗是一種干法清洗工藝,因此通常情況下,對于有機(jī)污染物的去除效率會更高。
等離子清洗機(jī)對晶圓干式清洗:晶圓表面常見的污染分為金屬污染、有機(jī)物污染以及顆粒污染。其中,金屬污染會導(dǎo)致漏電流,因?yàn)榻饘倥c空氣相結(jié)合生成的氧化物會降低電壓,致使載流電子循環(huán)周期減少;有機(jī)物污染則會使晶圓表面親水性降低,形成粘附于表面的疏水層,粗糙程度也隨之增加,破壞外延層的生長結(jié)構(gòu),除此之外,有機(jī)污染物的存在還會影響金屬污染物的清洗效果造成疊加污染;而顆粒污染會導(dǎo)致在蝕刻工藝中,產(chǎn)生阻塞或遮蓋,同時在沉積過程中,產(chǎn)生和微孔,如果顆粒直徑較大或是具有導(dǎo)電性,還會導(dǎo)致線路短路。所以,對污染物的清潔是必須要面對的問題。晶圓的表面清潔分為濕法清潔和干式清潔,等離子清洗機(jī)就屬于干式清潔。通常情況下,等離子清洗對于有機(jī)污染物的去除效率會更高,晶圓表面的有機(jī)污染物包括油脂、光刻膠、清洗溶劑等,其中尤其是對光刻膠的去除,使用等離子清洗技術(shù)具有較好的效果,這是由于光刻膠在強(qiáng)氧離子作用下,可迅速揮發(fā)成氣態(tài)物質(zhì),從而達(dá)到去除的效果。對顆粒和金屬污染物的去除,等離子清洗機(jī)可以通過物理和化學(xué)作用進(jìn)行部分清潔,想要完全清潔,可以先通過等離子體來提高晶圓表面親水性,促進(jìn)雙氧水對晶圓的清洗,從而使表面得到徹底的清潔。專業(yè)等離子清洗機(jī)原生產(chǎn)廠商哪家好,就選杰恒舜智能。
玻璃表面?zhèn)鹘y(tǒng)的清洗方法是先用洗滌劑刷洗,再用酸液、堿液與有機(jī)溶劑超聲波清洗,其工序復(fù)雜,費(fèi)時費(fèi)工,且造成污染。等離子體射流同時還具有機(jī)械沖擊力,起到了刷洗作用,使玻璃表面污染物迅速脫離玻璃表面,達(dá)到高效清洗的目的。等離子清洗機(jī)對玻璃表面的清洗,除了機(jī)械作用外,更主要是活性氧的化學(xué)作用,等離子中激發(fā)態(tài)的Ar,使氧分子激發(fā)為激發(fā)態(tài)氧原子高能量電子撞擊氧分子使其分解,形成激發(fā)態(tài)氧原子沾污的潤滑油與硬脂酸主要成分為碳?xì)浠衔?這些碳?xì)浠衔餅榛钚匝跛趸?生成二氧化碳和水從而將油脂從玻璃表面上除去。等離子清洗機(jī)品牌原生產(chǎn)廠商,找杰恒舜智能。肇慶plasma等離子清洗機(jī)操作手冊
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等離子清洗機(jī)原理:密閉的反應(yīng)腔體(真空室、真空腔體)被真空泵不斷抽氣,從1個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下降到設(shè)定的壓力值并維持真空度;通入氬、氫、氮?dú)獾裙に嚉怏w,啟動等離子發(fā)生器,讓反應(yīng)腔體內(nèi)電極之間產(chǎn)生高壓交變電場,使得自由電子能量加速,去激發(fā)工藝氣體分子形成等離子體,具有高反應(yīng)活性或高能量的等離子體,會與有機(jī)污染物及微顆粒污染物反應(yīng)、碰撞形成各種揮發(fā)性物質(zhì),這些揮發(fā)性物質(zhì)伴隨工藝氣流由真空泵抽取出去,從而達(dá)到被處理對象表面清潔、活化等目的。承德大氣等離子清洗機(jī)廠家價格