在半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備中，隨著大規(guī)模集成電路集成度的不斷提高以及半導(dǎo)體特征尺寸不斷縮少，等離子體刻蝕技術(shù)面臨了許多新的挑戰(zhàn)，例如等離子刻蝕晶圓帶來的污染問題、刻蝕工藝的穩(wěn)定性、刻蝕技術(shù)的應(yīng)用范圍等?？涛g機(jī)腔室材料作為晶圓污染的主要來源，等離子刻蝕對其影響程度決定了晶圓的良率、質(zhì)量、刻蝕工藝的穩(wěn)定性等等。因此，研究和開發(fā)出一種極其耐刻蝕腔體材料成為半導(dǎo)體集成產(chǎn)業(yè)以及等離子刻蝕技術(shù)中一項極具挑戰(zhàn)的任務(wù)。當(dāng)前，主要采用高純Al2O3涂層或Al2O3陶瓷作為刻蝕腔體和腔體內(nèi)部件的防護(hù)材料。除了腔體以外，等離子體設(shè)備的氣體噴嘴，氣體分配盤和固定晶圓的固定環(huán)等也需用到氧化鋁陶瓷。選擇氧化鋁陶瓷應(yīng)該注意什么？常州卡奇告訴您。常州防腐氧化鋁陶瓷表面處理

氧化鋁陶瓷的主要特性及應(yīng)用：1.由于她有耐高溫、耐腐蝕、高度度等特性，所以很好的運(yùn)用在了耐火材料、陶瓷、煉鐵高爐的內(nèi)襯;火花賽、耐高溫抗氧化涂層。2.由于它有硬度大、耐磨性能好、抗壓強(qiáng)度高的特性，在化工系統(tǒng)中也被普遍的應(yīng)用。3.氧化鋁屬于離子型，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定。因此在電子行業(yè)中也被普遍用。4.氧化鋁陶瓷產(chǎn)品氣密性好，即使在耐高溫下也嚴(yán)密不透氣，因此被普遍運(yùn)用到電真空中。5.氧化鋁陶瓷保溫材料也被普遍運(yùn)用于各類耐高溫爐窯的爐墻及爐頂，既耐高溫又保溫。蘇州不沾涂層氧化鋁陶瓷處理方法氧化鋁陶瓷的制作方法難嗎？常州卡奇告訴您。

氧化鋁陶瓷分為高純型與普通型兩種高純型氧化鋁陶瓷系A(chǔ)l2O3含量在99.9%以上的陶瓷材料，由于其燒結(jié)溫度高達(dá)1650—1990℃，透射波長為1～6μm，一般制成熔融玻璃以取代鉑坩堝。利用其透光性及可耐堿金屬腐蝕性用作鈉燈管;在電子工業(yè)中可用作集成電路基板與高頻絕緣材料。普通型氧化鋁陶瓷系按Al2O3含量不同分為99瓷、95瓷、90瓷、85瓷等品種，有時Al2O3含量在80%或75%者也劃為普通氧化鋁陶瓷系列。氧化鋁陶瓷管其中99氧化鋁瓷材料用于制作高溫坩堝、耐火爐管材料，如陶瓷軸承、陶瓷密封件及水閥片等;95氧化鋁瓷主要用作耐腐蝕部件。85瓷中由于常摻入部分滑石，提高了電性能與機(jī)械強(qiáng)度，可與鉬、鈮、鉭等金屬封接，有的用作電真空裝置器件。氧化鋁陶瓷制品成型方法有干壓、注漿、擠壓、冷等靜壓、注射、流延、熱壓與熱等靜壓成型等多種方法。

    氧化鋁材料的性能與特點：1.硬度大經(jīng)中科院上海硅酸鹽研究所測定，其洛氏硬度為HRA80-90，硬度只次于金剛石，遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過耐磨鋼和不銹鋼的耐磨性能。2.耐磨性能極好經(jīng)中南大學(xué)粉末冶金研究所測定，其耐磨性相當(dāng)于錳鋼的266倍，高鉻鑄鐵的。根據(jù)我們十幾年來的客戶跟蹤調(diào)查，在同等工況下，可至少延長設(shè)備使用壽命十倍以上。3.重量輕其密度為，只為鋼鐵的一半，可很大減輕設(shè)備負(fù)荷。氧化鋁陶瓷作為先進(jìn)陶瓷中應(yīng)用廣的一種材料，伴隨著整個行業(yè)的發(fā)展呈現(xiàn)以下發(fā)展趨勢:(1)技術(shù)裝備水平將快速提高:計算機(jī)技術(shù)和數(shù)字化控制技術(shù)的發(fā)展促進(jìn)了先進(jìn)陶瓷材料工業(yè)的技術(shù)進(jìn)步和快速發(fā)展，諸如自動控制連續(xù)燒結(jié)窯爐、大功率大容量研磨設(shè)備、高性能制粉造粒設(shè)備等凈壓成型設(shè)備等先進(jìn)的成套設(shè)備有利地推動了行業(yè)整體水平的提高，同時在生產(chǎn)效率、產(chǎn)品質(zhì)量等方面也都明顯改善;(2)產(chǎn)品質(zhì)量水平不斷提高:國內(nèi)微晶氧化鋁陶瓷制品從無到有，產(chǎn)業(yè)規(guī)模從小到大，產(chǎn)品質(zhì)量從低到較高，經(jīng)歷了一個快速發(fā)展的歷程;(3)產(chǎn)業(yè)規(guī)模將迅速擴(kuò)大:微晶氧化鋁陶瓷制品作為其它行業(yè)或領(lǐng)域的基礎(chǔ)材料，受著其它行業(yè)發(fā)展水平的影響和限制。從氧化鋁陶瓷的應(yīng)用情況看，應(yīng)用范圍越來越寬，用量越來越大。 氧化鋁陶瓷的應(yīng)用范圍十分廣闊。歡迎來電咨詢常州卡奇！

氧化鋁陶瓷是一種以氧化鋁(Al2O3)為主體的陶瓷材料，是一種用途普遍的陶瓷，具有較好的絕緣性、機(jī)械強(qiáng)度和耐高溫性。氧化鋁陶瓷分為高純型與普通型兩種：高純型氧化鋁陶瓷系A(chǔ)l2O3含量在99.9%以上的陶瓷材料，由于其燒結(jié)溫度高達(dá)1650-1990℃，透射波長為1~6μm，一般制成熔融玻璃以取代鉑坩堝;利用其透光性及可耐堿金屬腐蝕性用作鈉燈管;在電子工業(yè)中可用作集成電路基板與高頻絕緣材料。普通型氧化鋁陶瓷系按Al2O3含量不同分為99瓷、95瓷、90瓷、85瓷等品種，有時Al2O3含量在80%或75%者也劃為普通氧化鋁陶瓷系列。其中99氧化鋁瓷材料用于制作高溫坩堝、耐火爐管及特殊耐磨材料，如陶瓷軸承、陶瓷密封件及水閥片等;95氧化鋁瓷主要用作耐腐蝕、耐磨部件。氧化鋁陶瓷的生產(chǎn)廠家。歡迎來電咨詢常州卡奇！蘇州表面氧化鋁陶瓷

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氧化鋁陶瓷制品成型方法有干壓、注漿、擠壓、冷等靜壓、注射、流延、熱壓與熱等靜壓成型等多種方法。近幾年來國內(nèi)外又開發(fā)出壓濾成型、直接凝固注模成型、凝膠注成型、離心注漿成型與固體自由成型等成型技術(shù)方法。將顆粒狀陶瓷坯體致密化并形成固體材料的技術(shù)方法叫燒結(jié)。燒結(jié)即將坯體內(nèi)顆粒間空洞排除，將少量氣體及雜質(zhì)有機(jī)物排除，使顆粒之間相互生長結(jié)合，形成新的物質(zhì)的方法。燒成使用的加熱裝置普遍使用電爐。除常壓燒結(jié)外，還有熱壓燒結(jié)及熱等靜壓燒結(jié)、微波燒結(jié)法、電弧等離子燒結(jié)法、自蔓延燒結(jié)技術(shù)等。常州防腐氧化鋁陶瓷表面處理