承片臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),根據(jù)工藝要求,承片臺(tái)在繼承現(xiàn)有抬升機(jī)構(gòu) 穩(wěn)定性、可靠性的同時(shí),還應(yīng)具有高低溫控特性、低電磁吸收率、抗酸堿腐蝕等特性。設(shè)備要求溫度 范圍為-65~+200 ℃,這就要求承片盤(pán)溫度在此范圍內(nèi)程控可調(diào)。制冷機(jī)構(gòu)和加熱機(jī)構(gòu)必須和承 片盤(pán)非常接近,能夠更大限度地減少能量浪費(fèi),以 快速達(dá)到所需測(cè)試溫度。制冷機(jī)構(gòu)和制熱機(jī)構(gòu)的 合理設(shè)計(jì),可以更好地避免由于溫度傳導(dǎo)作用引 起其它零部件的溫度大幅的變化。腔體內(nèi)填充一 定濃度的特種氣體進(jìn)行測(cè)試,承片臺(tái)的承片盤(pán)及 其他機(jī)械構(gòu)件必須具有耐腐蝕,在承片臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè) 計(jì)時(shí),需要在特種環(huán)境下對(duì)選用的加工件材料和 外購(gòu)件進(jìn)行可靠性實(shí)驗(yàn),保證長(zhǎng)時(shí)間在特種環(huán)境 下的有效性。探針臺(tái)開(kāi)展的研究和觀測(cè)任務(wù)需要高精度的儀器和設(shè)備。天津8寸探針臺(tái)設(shè)備
承片臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)要具有實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的茲 向 旋轉(zhuǎn),茲 向旋轉(zhuǎn)的分度精度要求非常高,在150 mm (6 英寸)晶圓上的分度精度要臆0.05° ;為了實(shí)現(xiàn)與探針的緊密接觸穩(wěn)定地抬升、有效地達(dá)到接觸 位置的精度,抬升機(jī)構(gòu)的進(jìn)給精度要高,同時(shí)承片 臺(tái)要具備極高的剛性,而且在150 mm 的臺(tái)面上 剛度一致是非常重要的。通過(guò)在Z 軸方向的往復(fù) 移動(dòng),實(shí)現(xiàn)高剛性、穩(wěn)定的探針接觸。承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)在設(shè)計(jì)上采用THK 超精密 交叉滾柱軸環(huán)RB 型(外圈分隔,內(nèi)環(huán)旋轉(zhuǎn))支撐 旋轉(zhuǎn)。在交叉滾柱軸環(huán)中,因圓柱形滾柱在呈 90° 的V 形溝槽滾動(dòng)面上通過(guò)間隔保持器被相互垂直排列。使得單個(gè)軸承就可承受徑向、軸向及 力矩負(fù)荷等所有方向的負(fù)荷,具有很高的剛性。又 由于內(nèi)圈或外圈是分隔的構(gòu)造,軸承間隙可調(diào)整。安徽高精度探針臺(tái)多少錢(qián)探針臺(tái)的科學(xué)研究成果對(duì)推動(dòng)人類(lèi)的科學(xué)技術(shù)進(jìn)步有著舉足輕重的作用。
在地質(zhì)勘探方面,憑借其準(zhǔn)確度高、速度快的特點(diǎn),幫助人類(lèi)更好地探索地球深處的各種資源。探測(cè)機(jī)器人通過(guò)自己的機(jī)械臂采集樣本,在經(jīng)過(guò)相關(guān)的研究分析后,為地球物質(zhì)研究領(lǐng)域帶來(lái)了巨大的突破。而在生物科技的應(yīng)用中,可以幫助科學(xué)家在分子層面上研究生命現(xiàn)象,如蛋白質(zhì)合成、DNA 重組等,為生物學(xué)家們的研究提供出了便利。材料科學(xué)是另一個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域。利用實(shí)驗(yàn)結(jié)果為材料科學(xué)領(lǐng)域提供基礎(chǔ)數(shù)據(jù),幫助科學(xué)家們更好地掌握材料的物理特性。同時(shí),作為理論工具,在材料計(jì)算中也有不可替代的作用。它能將理論解析進(jìn)行實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,實(shí)驗(yàn)結(jié)果為理論研究提供了更多的數(shù)據(jù)支持。
射頻探針:射頻探針的本質(zhì)為適配器,將芯片測(cè)量接口轉(zhuǎn)為同軸或波導(dǎo)端口。常見(jiàn)的射頻探針有GSG型、GS型、GSSG型等。射頻探針的主要參數(shù)有高工作頻率、探針針尖距(Pitch)等。目前,同軸接口的射頻探針頻率可達(dá)110 GHz(MPI目前適配安利的擴(kuò)頻模塊可到220G)波導(dǎo)接口的射頻探針頻率高達(dá)1.1 THz,有一些型號(hào)的探針可以選配BiasTee。校準(zhǔn):微波射頻在片測(cè)試的校準(zhǔn)主要是指S參數(shù)校準(zhǔn),可以通過(guò)使用校準(zhǔn)片完成校準(zhǔn)。一般的校準(zhǔn)片提供開(kāi)路(Open)、短路(Short)、匹配(Match)、直通(Through)和延遲線(Line)標(biāo)準(zhǔn)件,可完成TOSM校準(zhǔn)或TRL校準(zhǔn)或SOLT或SOLR或LRM等。探針臺(tái)需要高度的保密性和安全措施。
探針臺(tái)的作用是什么?探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針?lè)胖迷诠杈?,從而可以與測(cè)試儀器/半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)配合來(lái)測(cè)試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測(cè)試可以很簡(jiǎn)單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測(cè)試??梢栽趯⒕A鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測(cè)試。在晶圓級(jí)別的測(cè)試允許制造商在生產(chǎn)過(guò)程中多次測(cè)試芯片器件,這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入較終產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測(cè)試管芯,這在封裝成本相對(duì)于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺(tái)還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和故障分析應(yīng)用。探針臺(tái)在天文學(xué)研究中具有舉足輕重的作用。安徽高精度探針臺(tái)多少錢(qián)
探針臺(tái)可以促進(jìn)人類(lèi)文明的發(fā)展和太空探索的進(jìn)程。天津8寸探針臺(tái)設(shè)備
探針臺(tái)是晶圓輸送與定位任務(wù)的承擔(dān)者,檢測(cè)半導(dǎo)體芯片電、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。CP 測(cè)試環(huán)節(jié)中,探針臺(tái)首先將晶圓移動(dòng)至晶圓相機(jī)下,確定晶圓的坐標(biāo)位置;再將探針相機(jī) 移動(dòng)至探針卡下,確定探針卡的坐標(biāo)位置,當(dāng)確定二者位置后,即通過(guò)載片臺(tái)將晶圓移動(dòng) 至探針卡下實(shí)現(xiàn)對(duì)針。其按不同功能可以分為高/低溫探針臺(tái)、RF 探針臺(tái)、LCD &TEG探針臺(tái)、光電探針臺(tái)等,當(dāng)晶圓依次與探針接觸完成測(cè)試后,探針臺(tái)記錄參數(shù)特性不符合要求的芯片, 并在進(jìn)入后序工序前予以剔除,以保障質(zhì)量與可靠性,降低器件的制造成本。天津8寸探針臺(tái)設(shè)備
深圳市泰克光電科技有限公司是一家有著雄厚實(shí)力背景、信譽(yù)可靠、勵(lì)精圖治、展望未來(lái)、有夢(mèng)想有目標(biāo),有組織有體系的公司,堅(jiān)持于帶領(lǐng)員工在未來(lái)的道路上大放光明,攜手共畫(huà)藍(lán)圖,在廣東省等地區(qū)的能源行業(yè)中積累了大批忠誠(chéng)的客戶(hù)粉絲源,也收獲了良好的用戶(hù)口碑,為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎(chǔ),也希望未來(lái)公司能成為*****,努力為行業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展奉獻(xiàn)出自己的一份力量,我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強(qiáng)不息,斗志昂揚(yáng)的的企業(yè)精神將**深圳市泰克光電科技供應(yīng)和您一起攜手步入輝煌,共創(chuàng)佳績(jī),一直以來(lái),公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理、創(chuàng)新發(fā)展、誠(chéng)實(shí)守信的方針,員工精誠(chéng)努力,協(xié)同奮取,以品質(zhì)、服務(wù)來(lái)贏得市場(chǎng),我們一直在路上!