除探針臺(tái)外,晶圓檢測(cè)環(huán)節(jié)還需要使用測(cè)試儀/機(jī),測(cè)試儀/機(jī)用于檢測(cè)芯片功能和性能,探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)被測(cè)芯片與測(cè)試機(jī)的連接,通過(guò)探針臺(tái)和測(cè)試機(jī)的配合使用,可以對(duì)晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測(cè)試或射頻測(cè)試,可以對(duì)芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。 在封裝之前對(duì)單個(gè)芯片進(jìn)行測(cè)試可以將有缺陷的器件從流通中移除,確保只封裝功能器件。探針臺(tái)在整個(gè)研發(fā)、產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和故障分析中都有很大的用途,工程師需要靈活而精確的工具來(lái)對(duì)設(shè)備的不同區(qū)域進(jìn)行一系列測(cè)試。探針臺(tái)能夠觀測(cè)到宇宙的細(xì)微之處,為人類(lèi)探索宇宙提供了重要的線索。深圳全自動(dòng)探針臺(tái)價(jià)位
隨著5G、汽車(chē)?yán)走_(dá)等技術(shù)的發(fā)展,在片測(cè)試也進(jìn)入了亞毫米波/太赫茲頻段,對(duì)在片測(cè)試技術(shù)提出了更高的挑戰(zhàn)。在片測(cè)量系統(tǒng):微波射頻在片測(cè)量系統(tǒng)一般由射頻/微波測(cè)量?jī)x器和探針臺(tái)及附件組成。 微波射頻在片測(cè)量系統(tǒng)中,探針臺(tái)和探針用于芯片測(cè)量端口與射頻測(cè)量?jī)x器端口(同軸或波導(dǎo))之間的適配;微波射頻測(cè)量?jī)x器完成各項(xiàng)所需的射頻測(cè)量。探針臺(tái)(Probe Station):探針臺(tái)是半導(dǎo)體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。通過(guò)與測(cè)試儀器的配合,探針臺(tái)將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來(lái),在進(jìn)入后序工序前予以剔除,較大程度上降低器件的制造成本。探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測(cè)、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。X8M探針臺(tái)公司探針臺(tái)是人類(lèi)探索宇宙、了解自身的一所寶庫(kù)。
GBITEST+MPI 半自動(dòng)探針臺(tái)。半導(dǎo)體測(cè)試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類(lèi):驗(yàn)證測(cè)試、晶圓測(cè)試測(cè)試、封裝檢測(cè)。晶圓檢測(cè)環(huán)節(jié)需要使用測(cè)試儀和探針臺(tái),測(cè)試儀/機(jī)用于檢測(cè)芯片功能和性能,探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)被測(cè)芯片與測(cè)試機(jī)的連接,通過(guò)探針臺(tái)和測(cè)試機(jī)的配合使用對(duì)晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測(cè)試或射頻測(cè)試,可以對(duì)芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。探針臺(tái)的分類(lèi)探針臺(tái)可以按照使用類(lèi)型與功能來(lái)劃分,也可以按照操作方式來(lái)劃分成:手動(dòng)探針臺(tái)、半自動(dòng)探針臺(tái)、全自動(dòng)探針臺(tái)。
極低溫測(cè)試:因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí),空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上,會(huì)導(dǎo)致漏電過(guò)大或者探針無(wú)法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。高溫?zé)o氧化測(cè)試:當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí),氧化現(xiàn)象會(huì)越來(lái)越明顯,并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過(guò)度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差,物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。探針臺(tái)的設(shè)立有助于拓展對(duì)太空天體的認(rèn)識(shí)。
溫控探針臺(tái)是一款使用溫度范圍在-190℃-600℃的儀器,在我們使用時(shí)還可對(duì)樣品氣氛進(jìn)行控制,同時(shí)允許探針電測(cè)試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。這樣既可以保證,即使在極低溫度下,腔體也不產(chǎn)生結(jié)霜影響實(shí)驗(yàn),又可以防止樣品發(fā)生氧化。探針臺(tái)上蓋與底殼構(gòu)成一個(gè)氣密腔,可往內(nèi)充入氮?dú)獾缺Wo(hù)氣體,來(lái)防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜,或高溫下氧化。此款通過(guò)杠桿式支架,使用的是彎針探針。相比傳統(tǒng)的直針探針,這種設(shè)計(jì)不只點(diǎn)針更準(zhǔn)確,而且點(diǎn)針力度更大,和樣品的電接觸性更好。探針臺(tái)可以通過(guò)觀測(cè)宇宙現(xiàn)象來(lái)解開(kāi)地球和人類(lèi)的謎團(tuán)。深圳全自動(dòng)探針臺(tái)價(jià)位
探針臺(tái)的科研成果對(duì)推動(dòng)人類(lèi)文明的發(fā)展有著重要的作用。深圳全自動(dòng)探針臺(tái)價(jià)位
真空腔體密封技術(shù),真空腔體密封技術(shù)是真空探針的關(guān)鍵部分, 真空腔體密封一旦在設(shè)計(jì)和加工過(guò)程中出現(xiàn)設(shè)計(jì) 缺陷、密封效果不好等問(wèn)題,就會(huì)產(chǎn)生氣體泄漏, 對(duì)操作人員造成人身傷害、甚至對(duì)大氣環(huán)境造成 污染,這些問(wèn)題在后期將無(wú)法彌補(bǔ),在腔體裝配前 要進(jìn)行預(yù)裝試驗(yàn),防止類(lèi)似事件發(fā)生。真空腔體采用圓形桶狀,下端面與工作平臺(tái) 緊密結(jié)合,上端面端蓋可拆卸。選用不銹鋼材料鍛 造后一體加工。加工過(guò)程中合理進(jìn)行材料熱處理,減少加工變形。深圳全自動(dòng)探針臺(tái)價(jià)位
深圳市泰克光電科技有限公司是一家生產(chǎn)型類(lèi)企業(yè),積極探索行業(yè)發(fā)展,努力實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品創(chuàng)新。是一家有限責(zé)任公司(自然)企業(yè),隨著市場(chǎng)的發(fā)展和生產(chǎn)的需求,與多家企業(yè)合作研究,在原有產(chǎn)品的基礎(chǔ)上經(jīng)過(guò)不斷改進(jìn),追求新型,在強(qiáng)化內(nèi)部管理,完善結(jié)構(gòu)調(diào)整的同時(shí),良好的質(zhì)量、合理的價(jià)格、完善的服務(wù),在業(yè)界受到寬泛好評(píng)。公司業(yè)務(wù)涵蓋探針臺(tái),芯片測(cè)試機(jī),藍(lán)膜編帶機(jī),分光編帶機(jī),價(jià)格合理,品質(zhì)有保證,深受廣大客戶的歡迎。泰克光電順應(yīng)時(shí)代發(fā)展和市場(chǎng)需求,通過(guò)**技術(shù),力圖保證高規(guī)格高質(zhì)量的探針臺(tái),芯片測(cè)試機(jī),藍(lán)膜編帶機(jī),分光編帶機(jī)。