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安徽高精度探針臺(tái)怎么樣

來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-07-23

探針臺(tái)(Prober station)又稱探針測試臺(tái),主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個(gè)測試平臺(tái),探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個(gè)可調(diào)測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析,抽查測試等用途。探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)得研發(fā),生產(chǎn)制造,失效分析等,是對(duì)晶圓(Wafer)上得器件進(jìn)行電特性測試或故障分析而使用得精密機(jī)臺(tái),通過探針臺(tái)能很好得幫助工程技術(shù)人員實(shí)現(xiàn)微小位置得電學(xué)參數(shù)測試。探針臺(tái)的運(yùn)營需要考慮科學(xué)、技術(shù)和管理等多個(gè)方面的因素,并做好安全保密方面的工作。安徽高精度探針臺(tái)怎么樣

滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng),相對(duì)于平面電機(jī)工作臺(tái),絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜,工作臺(tái)由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng),導(dǎo)向部分采用精密直線滾動(dòng)導(dǎo)軌。由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件,所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3 ℃,濕度≤70%,無有害氣體的環(huán)境中,滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,但不可過多,值得指出的是,這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過程中,從直線導(dǎo)軌的直線性,上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性,定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整,用戶一般情況不能輕易改變,一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來的狀態(tài),所以對(duì)需要調(diào)整的工作臺(tái)應(yīng)有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過培訓(xùn)的專業(yè)人員完成。江蘇晶圓測試探針臺(tái)怎么樣探針臺(tái)的建設(shè)需要對(duì)宇宙環(huán)境綜合思考,并有針對(duì)性解決相關(guān)科技難題。

探針臺(tái),是我們半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室電學(xué)性能測試的常用設(shè)備,也是各大實(shí)驗(yàn)室以及芯片設(shè)計(jì)、封裝測試的熟客。設(shè)備具備各項(xiàng)優(yōu)勢,高性能低成本,用途廣,操作方便,在不同測試環(huán)境下,測試結(jié)果穩(wěn)定,客觀,深受工程師們的青睞。探針臺(tái)主要用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的 CP 測試環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號(hào),使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測試,實(shí)現(xiàn)更加精確的數(shù)據(jù)測試測量。半導(dǎo)體測試設(shè)備主要包括測試機(jī)、探針臺(tái)和分選機(jī)。

探針臺(tái)的基本組件,探針臺(tái)由六個(gè)基本組件組成:Chuck – 一種用于固定晶片或裸片而不損壞它的裝置。載物臺(tái) – 用于將卡盤定位在 X、Y、Z 和 Theta (θ) 上。機(jī)械手——用于將探頭定位在被測設(shè)備 (DUT) 上。壓板 - 用于固定操縱器并使探針與設(shè)備接觸。探頭先進(jìn)和臂 - 安裝在機(jī)械手上,它們直接接觸設(shè)備。光學(xué) - 用于查看和放大被測設(shè)備和探頭先進(jìn)。它是如何工作的?探針臺(tái)將晶圓或芯片固定在安裝在平臺(tái)上的卡盤上,該平臺(tái)允許將 DUT 定位在顯微鏡視野的中心。探針臺(tái)能夠觀測到遠(yuǎn)離地球的星系和恒星群。

XY 精密工作臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),由于XY 工作臺(tái)需要放置于真空腔體內(nèi),XY 工作臺(tái)結(jié)構(gòu)越緊湊,真空腔體就越小,設(shè)備尺寸也 就相應(yīng)減小。結(jié)構(gòu)緊湊合理的XY 工作臺(tái)有利于 降低真空腔體加工難度、減少能源浪費(fèi)。XY 工作臺(tái)整體處于真空腔體中,要求零部件結(jié)構(gòu)密致性好,零部件材料不能逸出空氣,材料表 面不能有揮發(fā)性油脂。XY 工作臺(tái)需要完全暴露在特 種環(huán)境中,所有零部件均需要通過耐腐蝕、耐低溫 性等試驗(yàn),對(duì)于電機(jī)、絲杠、導(dǎo)軌等外購件,如果沒 有合適的型號(hào)滿足上述要求,需要對(duì)相應(yīng)外購件 加裝特制密封裝置,使外購件與腔體內(nèi)環(huán)境有效 隔絕。探針臺(tái)提供了探索宇宙的有效途徑。安徽高精度探針臺(tái)怎么樣

探針臺(tái)的觀測和研究任務(wù)需要具備高水平的科研和管理人才。安徽高精度探針臺(tái)怎么樣

不同的顯微鏡,顯微鏡的支架會(huì)有所不同,通常有立柱安裝和龍門安裝兩種配置。定位器平臺(tái)用于放置定位器(探針座)、形狀和尺寸根據(jù)測試應(yīng)用不同會(huì)有不同的設(shè)計(jì)形式。樣品臺(tái)(載物臺(tái))用于承載待測樣品,通常根據(jù)晶圓尺寸設(shè)計(jì),常用的尺寸從2~12英寸。除了承載樣品的功能,樣品臺(tái)還可根據(jù)測量需求,設(shè)計(jì)為帶測量通路和帶精密控溫的形式。精密移動(dòng)組件。以上承載平臺(tái)都配套了相應(yīng)的移動(dòng)定位功能,方便用戶對(duì)顯微鏡、待測樣品及定位器進(jìn)行精密的移動(dòng)。通常有X-Y-Z-R-T這些方向移動(dòng)功能。定位器。定位器(又稱探針座),幫助用戶實(shí)現(xiàn)探針的精密移動(dòng)定位。因此,結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性、驅(qū)動(dòng)絲桿精度、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的直線度、往復(fù)精度、長期使用時(shí)以上指標(biāo)的可靠性都是選購定位器時(shí)應(yīng)當(dāng)考慮的主要指標(biāo)。安徽高精度探針臺(tái)怎么樣

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