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天津大型探針臺(tái)工作原理

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-07-29

8英寸手動(dòng)探針臺(tái)用途:以往如果需要測(cè)試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),研發(fā)人員一般會(huì)采用萬(wàn)用電表的表筆去點(diǎn)測(cè)。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對(duì)于精密微?。{米級(jí))的微電子器件(如IC、wafer、Chip、LCDArray、CMOSCameraModule、Pitch微小的Connector),萬(wàn)用表點(diǎn)到被測(cè)位置就顯得無(wú)能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,利用高精度微探針將被測(cè)原件的內(nèi)部訊號(hào)引導(dǎo)出來(lái),便于其電性測(cè)試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對(duì)此測(cè)試、分析。探針臺(tái)需要高度的保密性和安全措施。天津大型探針臺(tái)工作原理

探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)的分類,縱觀國(guó)內(nèi)外的自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺(tái),可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測(cè)試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,即:以美國(guó)EG公司為表示的平面電機(jī)型x-y工作臺(tái)(又叫磁性氣浮工作臺(tái))自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和以日本及歐洲國(guó)家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)。由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大,所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,應(yīng)區(qū)別對(duì)待。深圳晶圓測(cè)試探針臺(tái)價(jià)位探針臺(tái)的建設(shè)需要尊重自然和秉持可持續(xù)發(fā)展理念。

機(jī)械手放置在平臺(tái)的平面上,并在機(jī)械手中插入探針臂和先進(jìn)。探頭先進(jìn)必須適合要執(zhí)行的測(cè)試程序。然后,用戶通過(guò)調(diào)整相應(yīng)的操縱器將探針先進(jìn)精確定位在設(shè)備內(nèi)的正確位置。然后通過(guò)降低壓板使探針與晶片接觸;現(xiàn)在可以測(cè)試該設(shè)備。對(duì)于具有多個(gè)器件的晶圓,在測(cè)試頭一個(gè)器件后,可以升起壓板并將支撐晶圓的平臺(tái)移動(dòng)到下一個(gè)器件。重復(fù)定位探針先進(jìn)的過(guò)程,直到測(cè)試完所有必需的設(shè)備。這個(gè)過(guò)程都可以由操作員手動(dòng)完成,但如果載物臺(tái)和機(jī)械手是電動(dòng)的,并且顯微鏡連接到計(jì)算機(jī)視覺系統(tǒng),那么這個(gè)過(guò)程可以變成半自動(dòng)或全自動(dòng)。這可以提高探針臺(tái)的生產(chǎn)力和吞吐量,并減少運(yùn)行多個(gè)測(cè)試所需的勞動(dòng)力。

承片臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)要具有實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的茲 向 旋轉(zhuǎn),茲 向旋轉(zhuǎn)的分度精度要求非常高,在150 mm (6 英寸)晶圓上的分度精度要臆0.05° ;為了實(shí)現(xiàn)與探針的緊密接觸穩(wěn)定地抬升、有效地達(dá)到接觸 位置的精度,抬升機(jī)構(gòu)的進(jìn)給精度要高,同時(shí)承片 臺(tái)要具備極高的剛性,而且在150 mm 的臺(tái)面上 剛度一致是非常重要的。通過(guò)在Z 軸方向的往復(fù) 移動(dòng),實(shí)現(xiàn)高剛性、穩(wěn)定的探針接觸。承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)在設(shè)計(jì)上采用THK 超精密 交叉滾柱軸環(huán)RB 型(外圈分隔,內(nèi)環(huán)旋轉(zhuǎn))支撐 旋轉(zhuǎn)。在交叉滾柱軸環(huán)中,因圓柱形滾柱在呈 90° 的V 形溝槽滾動(dòng)面上通過(guò)間隔保持器被相互垂直排列。使得單個(gè)軸承就可承受徑向、軸向及 力矩負(fù)荷等所有方向的負(fù)荷,具有很高的剛性。又 由于內(nèi)圈或外圈是分隔的構(gòu)造,軸承間隙可調(diào)整。探針臺(tái)的建設(shè)需要對(duì)宇宙環(huán)境綜合思考,并有針對(duì)性解決相關(guān)科技難題。

探針臺(tái),是我們半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室電學(xué)性能測(cè)試的常用設(shè)備,也是各大實(shí)驗(yàn)室以及芯片設(shè)計(jì)、封裝測(cè)試的熟客。設(shè)備具備各項(xiàng)優(yōu)勢(shì),高性能低成本,用途廣,操作方便,在不同測(cè)試環(huán)境下,測(cè)試結(jié)果穩(wěn)定,客觀,深受工程師們的青睞。探針臺(tái)主要用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的 CP 測(cè)試環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號(hào),使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試,實(shí)現(xiàn)更加精確的數(shù)據(jù)測(cè)試測(cè)量。半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備主要包括測(cè)試機(jī)、探針臺(tái)和分選機(jī)。探針臺(tái)的建設(shè)和發(fā)展需要長(zhǎng)期的投入和堅(jiān)定的信心。上海晶圓測(cè)試探針臺(tái)廠商

探針臺(tái)是在地球表面建立的觀測(cè)站,旨在收集宇宙射線、電磁波等信息。天津大型探針臺(tái)工作原理

探針臺(tái)的基本組件,探針臺(tái)由六個(gè)基本組件組成:Chuck – 一種用于固定晶片或裸片而不損壞它的裝置。載物臺(tái) – 用于將卡盤定位在 X、Y、Z 和 Theta (θ) 上。機(jī)械手——用于將探頭定位在被測(cè)設(shè)備 (DUT) 上。壓板 - 用于固定操縱器并使探針與設(shè)備接觸。探頭先進(jìn)和臂 - 安裝在機(jī)械手上,它們直接接觸設(shè)備。光學(xué) - 用于查看和放大被測(cè)設(shè)備和探頭先進(jìn)。它是如何工作的?探針臺(tái)將晶圓或芯片固定在安裝在平臺(tái)上的卡盤上,該平臺(tái)允許將 DUT 定位在顯微鏡視野的中心。天津大型探針臺(tái)工作原理

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