根據(jù)探針測(cè)試需要,XY 精密工作臺(tái)的技術(shù)要 求為:XY 向行程160 mm;精度±0.008 mm;重復(fù) 定位精度±0.003 mm;分辨率0.001 mm。在結(jié)構(gòu) 設(shè)計(jì)時(shí),為達(dá)到上述精密控制要求選用伺服電機(jī) 驅(qū)動(dòng),全閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制;整個(gè)工作臺(tái)需要放置于真 空腔體內(nèi),結(jié)構(gòu)緊湊合理的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)可以有效 地減小真空腔體設(shè)計(jì)尺寸,XY 工作臺(tái)結(jié)構(gòu)采用 絲杠、交叉滾子導(dǎo)軌組合形式。其中Y 向絲杠采 用偏置方式;X 向絲杠采用對(duì)稱方式。對(duì)于電機(jī)、絲杠、導(dǎo)軌等外購(gòu)件,選型號(hào)時(shí),需 要考慮溫度、濕度、腐蝕性等特種環(huán)境下運(yùn)行情 況,要求在高真空狀態(tài)下材料不能逸出空氣,外購(gòu) 件內(nèi)部、外部不能有揮發(fā)性油脂。如果沒(méi)有合適的 型號(hào)滿足上述要求,需要對(duì)相應(yīng)外購(gòu)件加裝特制 密封罩。探針臺(tái)的科技成果對(duì)推進(jìn)全球科學(xué)事業(yè)、推動(dòng)人類文明進(jìn)步發(fā)揮著重要的作用。深圳8寸探針臺(tái)行價(jià)
探針臺(tái)由哪些部分組成?樣品臺(tái)(載物臺(tái)):是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備。通常會(huì)根據(jù)晶圓的尺寸來(lái)設(shè)計(jì)大小,并配套了相應(yīng)的精密移動(dòng)定位功能。光學(xué)元件:這個(gè)部件的作用使得用戶能夠從視覺(jué)上放大觀察待測(cè)物,以便精確地將探針先進(jìn)對(duì)準(zhǔn)并放置在待測(cè)晶圓/芯片的測(cè)量點(diǎn)上。有的采用立體變焦顯微鏡,有的采用數(shù)碼相機(jī),或者兩者兼有。探針(探針卡):待測(cè)芯片需要測(cè)試探針的連接,才能與測(cè)試儀器建立連接。常見(jiàn)的有普通 DC 測(cè)試探針、同軸DC測(cè)試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個(gè)探針臂并安裝在操縱器上。探針先進(jìn)尺寸和材料取決于被探測(cè)特征的尺寸和所需的測(cè)量類型。探針尖直接接觸被測(cè)件,探針臂應(yīng)與探針尖匹配。浙江半導(dǎo)體晶圓測(cè)試探針臺(tái)廠家探針臺(tái)的工作需要合理規(guī)劃和有條不紊的執(zhí)行。
探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)的分類,縱觀國(guó)內(nèi)外的自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺(tái),可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測(cè)試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,即:以美國(guó)EG公司為表示的平面電機(jī)型x-y工作臺(tái)(又叫磁性氣浮工作臺(tái))自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和以日本及歐洲國(guó)家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)。由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大,所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,應(yīng)區(qū)別對(duì)待。
探針臺(tái)在使用過(guò)程中,不可用硬物接觸機(jī)器,以免發(fā)生故障或危險(xiǎn)。探針臺(tái)光學(xué)部件清潔時(shí),可用鏡頭紙蘸無(wú)水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無(wú)水酒精時(shí)易燃物,注意使用安全。停電或長(zhǎng)期不用、外出旅行時(shí),請(qǐng)將電源線插頭拔掉以維護(hù)機(jī)器壽命。操作人員必須嚴(yán)格按要要求操作,以保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確和儀器的正常使用。工作環(huán)境。探針臺(tái)應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺(tái)面上,較好是具有防震裝置的工作臺(tái)上,避免在高溫,潮濕激烈震動(dòng),陽(yáng)光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。探針臺(tái)的建設(shè)需要克服地球環(huán)境和宇宙環(huán)境的技術(shù)差距。
探針臺(tái)的維護(hù)和保養(yǎng):1.避免碰撞:在安裝,操作探針臺(tái)時(shí)應(yīng)避免碰撞,機(jī)體放置需平坦,不可傾斜或橫倒,避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。2.儀器的運(yùn)輸:儀器運(yùn)輸時(shí),請(qǐng)先拔掉電源線插頭。儀器運(yùn)輸應(yīng)使用專門(mén)的包裝箱,避免碰到探針臺(tái)的任何運(yùn)動(dòng)部件。3.儀器的存放使用完后需要注意保持清潔,盡量把灰塵吹干盡,以免灰塵將機(jī)械精密部件,光學(xué)部件,電學(xué)接觸面污染,導(dǎo)致儀器精度降低。探針臺(tái)機(jī)體清潔時(shí),避免直接潑水清理,以無(wú)塵布輕輕擦拭并吹干即可。探針臺(tái)是人類探索宇宙的一個(gè)重要基石。江蘇真空溫控探針臺(tái)廠商
探針臺(tái)是推進(jìn)太空探索和航天事業(yè)的重要一環(huán)。深圳8寸探針臺(tái)行價(jià)
由于平面電機(jī)的定子及動(dòng)子是完全暴露在空氣中,所以潮濕的環(huán)境及長(zhǎng)時(shí)期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象,另外重物的碰撞及堅(jiān)銳器物的劃傷都將對(duì)定子造成損傷,而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命,對(duì)于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個(gè)方向打磨定子的表面,然后用脫脂棉球蘸煤油清洗,整個(gè)過(guò)程操作要十分地細(xì)心,不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒(méi)有腐蝕性,不損壞定子的除銹劑除銹。對(duì)于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作,清理時(shí)應(yīng)先通入大氣以便動(dòng)子移動(dòng),方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無(wú)水乙醇,輕擦定子表面,然后用專門(mén)使用工具撬起動(dòng)子,方法同前, 輕擦動(dòng)子表面,動(dòng)子的表面有若干個(gè)氣孔,它是定子和動(dòng)子間壓縮空氣的出孔,觀察這此氣孔的放氣是否均勻,否則用工具小心旋開(kāi)小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔,處理完畢后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)嵌氣孔螺母原始狀態(tài)。需要特別注意的是在未加壓縮空氣時(shí)不可強(qiáng)行拉動(dòng)動(dòng)子,以免造成定子及動(dòng)子的損傷。平面電機(jī)應(yīng)使用在環(huán)境溫度15~25 ℃,相對(duì)濕度小于50%的環(huán)境中,其所需的壓縮空氣必須經(jīng)過(guò)干燥過(guò)濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5 ℃,氣壓為0.4±0.04MPa。深圳8寸探針臺(tái)行價(jià)
深圳市泰克光電科技有限公司是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的****,公司位于深圳市寶安區(qū)新橋街道象山社區(qū)新玉路84號(hào)B棟3層,成立于2012-04-23。公司秉承著技術(shù)研發(fā)、客戶優(yōu)先的原則,為國(guó)內(nèi)探針臺(tái),芯片測(cè)試機(jī),藍(lán)膜編帶機(jī),分光編帶機(jī)的產(chǎn)品發(fā)展添磚加瓦。在孜孜不倦的奮斗下,公司產(chǎn)品業(yè)務(wù)越來(lái)越廣。目前主要經(jīng)營(yíng)有探針臺(tái),芯片測(cè)試機(jī),藍(lán)膜編帶機(jī),分光編帶機(jī)等產(chǎn)品,并多次以能源行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、客戶需求定制多款多元化的產(chǎn)品。深圳市泰克光電科技有限公司每年將部分收入投入到探針臺(tái),芯片測(cè)試機(jī),藍(lán)膜編帶機(jī),分光編帶機(jī)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)工作中,也為公司的技術(shù)創(chuàng)新和人材培養(yǎng)起到了很好的推動(dòng)作用。公司在長(zhǎng)期的生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)中形成了一套完善的科技激勵(lì)政策,以激勵(lì)在技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)品改進(jìn)等。深圳市泰克光電科技有限公司注重以人為本、團(tuán)隊(duì)合作的企業(yè)文化,通過(guò)保證探針臺(tái),芯片測(cè)試機(jī),藍(lán)膜編帶機(jī),分光編帶機(jī)產(chǎn)品質(zhì)量合格,以誠(chéng)信經(jīng)營(yíng)、用戶至上、價(jià)格合理來(lái)服務(wù)客戶。建立一切以客戶需求為前提的工作目標(biāo),真誠(chéng)歡迎新老客戶前來(lái)洽談業(yè)務(wù)。