探針臺(tái)特性1:裝載部件，令客戶滿意的測(cè)試環(huán)境，可以提供從前部開始的通常的8"，12"及基本檢查單元。也為自動(dòng)物料輸送系統(tǒng)應(yīng)用做好了準(zhǔn)備。特性2:TTG(一點(diǎn)即到)，更加方便的操作，UF3000采用在顯示屏上點(diǎn)一下，相關(guān)的屏幕就會(huì)切換到新的位置顯示。相關(guān)的設(shè)定十分方便。屏幕的顯示模式也可以由客戶自行定義。晶圓測(cè)試的方式主要是通過測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)的聯(lián)動(dòng)，在測(cè)試過程中，測(cè)試機(jī)臺(tái)并不能直接對(duì)待測(cè)晶圓進(jìn)行量測(cè)，而是透過探針卡（Probe Card）中的探針（Probe）與晶圓上的焊墊（Pad）或凸塊（Bump）接觸而構(gòu)成電性接觸。探針臺(tái)的科技成果對(duì)推進(jìn)全球科學(xué)事業(yè)、推動(dòng)人類文明進(jìn)步發(fā)揮著重要的作用。北京小型探針臺(tái)價(jià)位

x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)，無論是全自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)還是自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)，x-y向工作臺(tái)都是其較主要的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測(cè)試臺(tái)的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺(tái)的故障，而工作臺(tái)故障有許多是對(duì)其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的，所以對(duì)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。本文只對(duì)自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹。平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)，平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺(tái)， 動(dòng)子和定子間有一層氣墊，動(dòng)子浮于氣墊上，而可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)，由于動(dòng)子和定子間無相對(duì)摩擦故無磨損，使用壽命長。遼寧探針臺(tái)定制價(jià)格探針臺(tái)的建設(shè)和發(fā)展需要長期的投入和堅(jiān)定的信心。

探針臺(tái)的維護(hù)和保養(yǎng)：1.避免碰撞：在安裝，操作探針臺(tái)時(shí)應(yīng)避免碰撞，機(jī)體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。2.儀器的運(yùn)輸：儀器運(yùn)輸時(shí)，請(qǐng)先拔掉電源線插頭。儀器運(yùn)輸應(yīng)使用專門的包裝箱，避免碰到探針臺(tái)的任何運(yùn)動(dòng)部件。3.儀器的存放使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免灰塵將機(jī)械精密部件，光學(xué)部件，電學(xué)接觸面污染，導(dǎo)致儀器精度降低。探針臺(tái)機(jī)體清潔時(shí)，避免直接潑水清理，以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。

焊接各接口時(shí)保證焊接可靠性與密封性，腔體所有零部件連接部位均要考慮密封結(jié)構(gòu)，目前 國內(nèi)比較普遍應(yīng)用的密封形式分為KF、CF 和 ISO 密封形式，密封圈材料有丁腈橡膠和氟橡膠 兩種。在探針臺(tái)測(cè)試領(lǐng)域一般選擇KF 密封形式 和氟橡膠材料密封圈，主要特點(diǎn)是裝配方便，氟橡 膠耐真空、耐高溫、耐腐蝕性好。腔體加工完成后要進(jìn)行真空檢漏試驗(yàn)，對(duì)腔 體整體真空度漏率要求小于10～8 Pa·L/s。真空探針臺(tái)工作臺(tái)結(jié)構(gòu)，工作臺(tái)結(jié)構(gòu)是真空探針臺(tái)設(shè)備的關(guān)鍵部件之 一，在探針測(cè)試過程起著至關(guān)重要的作用。工作臺(tái) 部分完全置于真空腔體內(nèi)，主要包括XY 工作臺(tái)和承片臺(tái)兩部分。探針臺(tái)擁有先進(jìn)的天文儀器，可以提供高質(zhì)量的觀測(cè)數(shù)據(jù)。

8英寸手動(dòng)探針臺(tái)使用方式：1、將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。4、顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)清晰，帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。5、待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后，再調(diào)節(jié)探針座的位置，將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊，再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕，慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn)，此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢，以防動(dòng)作過大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí)，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，然后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng)，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸。6、確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后，則可以通過連接的測(cè)試設(shè)備開始測(cè)試。探針臺(tái)是人類探索宇宙、了解自身的一所寶庫。上海高精度探針臺(tái)公司

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什么是自動(dòng)探針臺(tái)，自動(dòng)探針臺(tái)是一種用于電子與通信技術(shù)、計(jì)算機(jī)科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器。從裝片方式上區(qū)分，分為全自動(dòng)和半自動(dòng)兩種。主要用于晶圓測(cè)試，晶圓尺寸：4,,6,8 ，12英寸晶圓片裝卸：1個(gè)載片盒 (25 或者 26 個(gè)片槽)，連續(xù)的可編程雙向加載，快速單片晶圓手動(dòng)上下片，防晶圓交叉保護(hù) XYZ- 精度：±3微米。使用環(huán)境：1. 電源：AC 220V±22V 50Hz±1Hz，功率：＜1.5KW；2. 壓縮空氣源：> 0.7MPa，10L/H；3. 使用環(huán)境：溫度：15oC-25oC 相對(duì)濕度：＜70%。北京小型探針臺(tái)價(jià)位

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