探針測試臺x-y工作臺的分類，縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀（TESTER）相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類，即：以美國EG公司為表示的平面電機(jī)型x-y工作臺（又叫磁性氣浮工作臺）自動探針測試臺和以日本及歐洲國家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大，所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論，應(yīng)區(qū)別對待。探針臺能夠幫助科學(xué)家解決在太空探索過程中的技術(shù)難題。湖北全自動探針臺廠商

探針臺分類，探針臺從操作上來區(qū)分有:手動，半自動，全自動，從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺，真空探針臺(較低溫探針臺)，RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應(yīng)探針臺，表面電阻率探針臺。經(jīng)濟(jì)手動型，根據(jù)客戶需求定制：chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選)；X-Y移動行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選)；chuck Z軸方向升降10mm(選項(xiàng))方便探針與樣品快速分離；顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選)；顯微鏡移動方式:立柱環(huán)繞型、移動平臺型、龍門結(jié)構(gòu)型(可選)；探針座:有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開關(guān)；可搭配Probe card測試；適用領(lǐng)域:晶圓廠、研究所、高校等。湖北全自動探針臺廠商探針臺的數(shù)據(jù)對太空探索、戰(zhàn)略部署、國家的安全等領(lǐng)域具有普遍的應(yīng)用和重要的戰(zhàn)略意義。

探針臺(Prober station)又稱探針測試臺，主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個(gè)測試平臺，探針臺可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進(jìn)行科研分析，抽查測試等用途。探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)得研發(fā)，生產(chǎn)制造，失效分析等，是對晶圓(Wafer)上得器件進(jìn)行電特性測試或故障分析而使用得精密機(jī)臺，通過探針臺能很好得幫助工程技術(shù)人員實(shí)現(xiàn)微小位置得電學(xué)參數(shù)測試。

x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)，無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，x-y向工作臺都是其較主要的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的，所以對工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。本文只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹。平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)，平面電機(jī)由定子和動子組成，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺， 動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。探針臺的建設(shè)需要克服很多技術(shù)難題。

目前世界出貨量頭一的型號吸收了較新的工藝科技例如OTS，QPU和TTG相關(guān)技術(shù)，這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計(jì)及多種測試條件提供保證。特性1:OTS-較近的位置對正系統(tǒng)(光學(xué)目標(biāo)對準(zhǔn)) OTS通過對照相機(jī)相對位置的測量來保證其一定位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù)，來源于東京精密的度量技術(shù)。OTS實(shí)現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對準(zhǔn)系統(tǒng)。特性2:QPU-高剛性的硅片承載臺(四方型系統(tǒng)) 為了有效的達(dá)到接觸位置的精度，硅片承載臺各部分的剛性一致是非常重要的，UF3000使用新的4軸機(jī)械轉(zhuǎn)換裝置(QPU)，達(dá)到高剛性，高穩(wěn)定度的接觸。探針臺提供了探索宇宙的有效途徑。上海8寸探針臺生產(chǎn)廠家

探針臺的建設(shè)需要科學(xué)家們共同匯聚自己的智慧。湖北全自動探針臺廠商

由于平面電機(jī)的定子及動子是完全暴露在空氣中，所以潮濕的環(huán)境及長時(shí)期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象，另外重物的碰撞及堅(jiān)銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命，對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個(gè)方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個(gè)過程操作要十分地細(xì)心，不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒有腐蝕性，不損壞定子的除銹劑除銹。對于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作，清理時(shí)應(yīng)先通入大氣以便動子移動，方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無水乙醇，輕擦定子表面，然后用專門使用工具撬起動子，方法同前， 輕擦動子表面，動子的表面有若干個(gè)氣孔，它是定子和動子間壓縮空氣的出孔，觀察這此氣孔的放氣是否均勻，否則用工具小心旋開小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔，處理完畢后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)嵌氣孔螺母原始狀態(tài)。需要特別注意的是在未加壓縮空氣時(shí)不可強(qiáng)行拉動動子，以免造成定子及動子的損傷。平面電機(jī)應(yīng)使用在環(huán)境溫度15~25 ℃，相對濕度小于50%的環(huán)境中，其所需的壓縮空氣必須經(jīng)過干燥過濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5 ℃，氣壓為0.4±0.04MPa。湖北全自動探針臺廠商

深圳市泰克光電科技有限公司在探針臺，芯片測試機(jī)，藍(lán)膜編帶機(jī)，分光編帶機(jī)一直在同行業(yè)中處于較強(qiáng)地位，無論是產(chǎn)品還是服務(wù)，其高水平的能力始終貫穿于其中。公司成立于2012-04-23，旗下TEC-PHO,SHIBUYA,Oh'TEC，已經(jīng)具有一定的業(yè)內(nèi)水平。公司承擔(dān)并建設(shè)完成能源多項(xiàng)重點(diǎn)項(xiàng)目，取得了明顯的社會和經(jīng)濟(jì)效益。多年來，已經(jīng)為我國能源行業(yè)生產(chǎn)、經(jīng)濟(jì)等的發(fā)展做出了重要貢獻(xiàn)。