根據(jù)探針測試需要，XY 精密工作臺的技術(shù)要 求為：XY 向行程160 mm；精度±0.008 mm；重復(fù) 定位精度±0.003 mm；分辨率0.001 mm。在結(jié)構(gòu) 設(shè)計時，為達到上述精密控制要求選用伺服電機 驅(qū)動，全閉環(huán)運動控制；整個工作臺需要放置于真 空腔體內(nèi)，結(jié)構(gòu)緊湊合理的工作臺結(jié)構(gòu)可以有效 地減小真空腔體設(shè)計尺寸，XY 工作臺結(jié)構(gòu)采用 絲杠、交叉滾子導(dǎo)軌組合形式。其中Y 向絲杠采 用偏置方式；X 向絲杠采用對稱方式。對于電機、絲杠、導(dǎo)軌等外購件，選型號時，需 要考慮溫度、濕度、腐蝕性等特種環(huán)境下運行情 況，要求在高真空狀態(tài)下材料不能逸出空氣，外購 件內(nèi)部、外部不能有揮發(fā)性油脂。如果沒有合適的 型號滿足上述要求，需要對相應(yīng)外購件加裝特制 密封罩。探針臺是人類理解宇宙和了解人類自身的一個重要工具。真空溫控探針臺公司

半自動型，chuck尺寸800mm/600mm；X,Y電動移動行程200mm/150mm；chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm；可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡；針座擺放個數(shù)6~8顆；顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"；可搭配Probe card測試；適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品；電動型；chuck尺寸1200mm，平坦度土1u(不銹鋼或鍍金)；X,Y電動移動行程300mm x 300mm；chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm，微調(diào)精度土1u；可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡。真空溫控探針臺公司探針臺能夠幫助科學(xué)家解決在太空探索過程中的技術(shù)難題。

而定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計要求如分辨力等，用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽，線槽間的距離即稱為平面電機的齒距，而定子則按不同的細分控制方式，按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現(xiàn)步進運動。對定子的損傷將直接影響工作臺的步進精度及設(shè)備使用壽命，損壞嚴重將造成設(shè)備無法使用而報廢。由于平面電機的定子及動子是完全暴露在空氣中，所以潮濕的環(huán)境及長時期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象，另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機的步進精度及使用壽命，對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個過程操作要十分地細心，不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒有腐蝕性，不損壞定子的除銹劑除銹。

對于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作，清理時應(yīng)先通入大氣以便動子移動，方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無水乙醇，輕擦定子表面，然后用專門使用工具撬起動子，方法同前， 輕擦動子表面，動子的表面有若干個氣孔，它是定子和動子間壓縮空氣的出孔，觀察這此氣孔的放氣是否均勻，否則用工具小心旋開小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔，處理完畢后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)嵌氣孔螺母原始狀態(tài)。需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強行拉動動子，以免造成定子及動子的損傷。平面電機應(yīng)使用在環(huán)境溫度15～25 ℃，相對濕度小于50%的環(huán)境中，其所需的壓縮空氣必須經(jīng)過干燥過濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5 ℃，氣壓為0．4±0．04MPa。探針臺的運營需要專業(yè)的人員和技術(shù)支持。

極低溫測試:因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時，空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上，會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。高溫?zé)o氧化測試：當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現(xiàn)象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。探針臺是人類智慧的結(jié)晶和太空探索的橋梁。安徽雙層位移探針臺廠家直銷

探針臺的觀測數(shù)據(jù)對未來宇宙探索和科學(xué)研究提供了寶貴的資源。真空溫控探針臺公司

總的來說，手動探針臺適合研發(fā)人員使用，半自動探針臺適合初學(xué)者使用，而全自動探針臺適合具有一定經(jīng)驗的測試人員使用。不同類型的探針臺各有優(yōu)缺點，選擇何種探針臺主要取決于測試的需求和個人的技能水平。全自動探針臺是一種全自動控制的探針臺，可以在沒有很多待測器件需要測量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用。相比于半自動探針臺，全自動探針臺具有更高的精度和效率，可以在短時間內(nèi)完成大量的測試操作。全自動探針臺通常還配備有晶圓材料處理搬運單元(MHU)、模式識別(自動對準(zhǔn))等功能，以確保晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。全自動探針臺通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。真空溫控探針臺公司

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