探針臺(tái),是我們半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室電學(xué)性能測試的常用設(shè)備,也是各大實(shí)驗(yàn)室以及芯片設(shè)計(jì)、封裝測試的熟客。設(shè)備具備各項(xiàng)優(yōu)勢,高性能低成本,用途廣,操作方便,在不同測試環(huán)境下,測試結(jié)果穩(wěn)定,客觀,深受工程師們的青睞。探針臺(tái)主要用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的 CP 測試環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號(hào),使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測試,實(shí)現(xiàn)更加精確的數(shù)據(jù)測試測量。半導(dǎo)體測試設(shè)備主要包括測試機(jī)、探針臺(tái)和分選機(jī)。在所有的測試環(huán)節(jié)中都會(huì)用到測試機(jī),不同環(huán)節(jié)中測試機(jī)需要和分選機(jī)或探針臺(tái)配合使用。探針臺(tái)的技術(shù)需要不斷推陳出新。江蘇大型探針臺(tái)廠家直銷
探針測試臺(tái)x-y工作臺(tái)的分類,縱觀國內(nèi)外的自動(dòng)探針測試臺(tái)在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺(tái),可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,即:以美國EG公司為表示的平面電機(jī)型x-y工作臺(tái)(又叫磁性氣浮工作臺(tái))自動(dòng)探針測試臺(tái)和以日本及歐洲國家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測試臺(tái)。由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大,所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,應(yīng)區(qū)別對(duì)待。遼寧半自動(dòng)探針臺(tái)探針臺(tái)的發(fā)展需要國際合作和共同努力。
溫控探針臺(tái)是一款使用溫度范圍在-190℃-600℃的儀器,在我們使用時(shí)還可對(duì)樣品氣氛進(jìn)行控制,同時(shí)允許探針電測試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。這樣既可以保證,即使在極低溫度下,腔體也不產(chǎn)生結(jié)霜影響實(shí)驗(yàn),又可以防止樣品發(fā)生氧化。探針臺(tái)上蓋與底殼構(gòu)成一個(gè)氣密腔,可往內(nèi)充入氮?dú)獾缺Wo(hù)氣體,來防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜,或高溫下氧化。此款通過杠桿式支架,使用的是彎針探針。相比傳統(tǒng)的直針探針,這種設(shè)計(jì)不只點(diǎn)針更準(zhǔn)確,而且點(diǎn)針力度更大,和樣品的電接觸性更好。
8英寸手動(dòng)探針臺(tái)使用方式:1、將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái),在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)將樣品待測試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。4、顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點(diǎn),再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點(diǎn)在顯微鏡視場中心。5、待測點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢,以防動(dòng)作過大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測點(diǎn)上空時(shí),可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,然后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng),觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。6、確保針尖和被測點(diǎn)接觸良好后,則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。探針臺(tái)的運(yùn)營需要考慮科學(xué)、技術(shù)和管理等多個(gè)方面的因素,并做好安全保密方面的工作。
手動(dòng)探針臺(tái)的工作原理及應(yīng)用范圍。工作原理:手動(dòng)探針臺(tái)是普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的綜合經(jīng)濟(jì)型測試儀器,主要用于半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)檢測。手動(dòng)探針臺(tái)是通過兩根探針以及吸片盤夠成的回路以及相應(yīng)大型電參數(shù)測試儀對(duì)芯片中的集成電路進(jìn)行檢測的。應(yīng)用范圍:手動(dòng)探針臺(tái)主要用于對(duì)生產(chǎn)及科研中的集成電路、三極管、二極管、可控硅及敏感元件管芯的電壓、電流、電阻等參數(shù)進(jìn)行手動(dòng)測試。晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移,這時(shí)需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來調(diào)整探針的位置。探針臺(tái)能夠觀測到遠(yuǎn)離地球的星系和恒星群。深圳8寸探針臺(tái)生產(chǎn)商
探針臺(tái)的建設(shè)和運(yùn)行需要具備高度的專業(yè)素養(yǎng)和嚴(yán)謹(jǐn)性。江蘇大型探針臺(tái)廠家直銷
滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)。相對(duì)于平面電機(jī)工作臺(tái),絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜,工作臺(tái)由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng),導(dǎo)向部分采用精密直線滾動(dòng)導(dǎo)軌。由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件,所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3 ℃,濕度≤70%,無有害氣體的環(huán)境中,滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,但不可過多,值得指出的是,這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過程中,從直線導(dǎo)軌的直線性,上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性,定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整,用戶一般情況不能輕易改變,一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來的狀態(tài),所以對(duì)需要調(diào)整的工作臺(tái)應(yīng)有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過培訓(xùn)的專業(yè)人員完成。江蘇大型探針臺(tái)廠家直銷
深圳市泰克光電科技有限公司致力于能源,是一家生產(chǎn)型的公司。泰克光電致力于為客戶提供良好的探針臺(tái),芯片測試機(jī),藍(lán)膜編帶機(jī),分光編帶機(jī),一切以用戶需求為中心,深受廣大客戶的歡迎。公司從事能源多年,有著創(chuàng)新的設(shè)計(jì)、強(qiáng)大的技術(shù),還有一批專業(yè)化的隊(duì)伍,確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務(wù)。泰克光電憑借創(chuàng)新的產(chǎn)品、專業(yè)的服務(wù)、眾多的成功案例積累起來的聲譽(yù)和口碑,讓企業(yè)發(fā)展再上新高。