也即太陽輪的輪軸與驅(qū)動輪盤的中心連接軸同軸;行星架的行星輪與片盒架的限位盤的轉(zhuǎn)動軸連接,且每個行星輪至多連接一個限位盤的轉(zhuǎn)動軸,每個行星輪的軸線與其對應(yīng)的轉(zhuǎn)動軸共線設(shè)置;行星架的齒圈固定設(shè)置。其中,每個片盒架的轉(zhuǎn)動軸都需要連接一個行星輪,以實現(xiàn)片盒架的自轉(zhuǎn),但是行星輪的數(shù)量可以大于片盒架的數(shù)量,多余的行星輪可以是空轉(zhuǎn),也即不連接片盒架。推薦的,行星輪與片盒架的數(shù)量一一對應(yīng)設(shè)置,在本實施例中,行星架的行星輪的數(shù)量為個,片盒架的數(shù)量為個,行星輪與片盒架一一對應(yīng)設(shè)置。在本實施例中,如圖所示,行星架的太陽輪設(shè)置在驅(qū)動輪盤靠近從動輪盤的一側(cè),驅(qū)動輪盤的背離被動驅(qū)動輪盤的一側(cè)設(shè)置有與電機等驅(qū)動機構(gòu)(例如電機)連接的連接軸。驅(qū)動輪盤與從動輪盤小相同,驅(qū)動輪盤直徑大于行星架的太陽輪的直徑。行星輪的輪軸可通過軸承轉(zhuǎn)動連接在驅(qū)動輪盤上,以提高裝置的穩(wěn)定性。其中,限位盤的轉(zhuǎn)動軸與行星輪的輪軸固定連接。進一步地,本實施例晶圓加工固定裝置的安裝座包括底板、齒圈固定板和豎向桿。齒圈固定板和豎向桿間隔設(shè)置,且均安裝在底板上,齒圈固定板上設(shè)置有通孔,行星架的齒圈安裝在通孔內(nèi);驅(qū)動輪盤設(shè)置在齒圈固定板背離豎向桿的一側(cè)。深圳高精度共晶機哪家好泰克光電。遵義共晶機廠家
且所述片盒架能夠相對所述固定架自轉(zhuǎn),所述固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與所述片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線非共線設(shè)置。進一步地,所述片盒架的數(shù)量為多個,多個所述片盒架沿所述固定架的旋轉(zhuǎn)方向間隔設(shè)置在所述固定架上。進一步地,所述固定架包括驅(qū)動輪盤、從動輪盤和連接桿,所述驅(qū)動輪盤與所述從動輪盤同軸相對設(shè)置,且,所述驅(qū)動輪盤和所述從動輪盤分別可轉(zhuǎn)動的安裝在所述安裝座上,所述連接桿固定連接在所述驅(qū)動輪盤與所述從動輪盤之間;所述片盒架轉(zhuǎn)動連接在所述驅(qū)動輪盤和所述從動輪盤之間。進一步地,所述片盒架包括同軸相對設(shè)置的限位盤和第二限位盤,所述限位盤與所述第二限位盤之間設(shè)置有多根限位桿,多根所述限位桿沿所述限位盤的周向間隔設(shè)置,多個所述限位桿之間形成晶圓的放置空間;所述限位盤與所述第二限位盤相互遠離的側(cè)面分別通過轉(zhuǎn)動軸與所述驅(qū)動輪盤和所述從動輪盤轉(zhuǎn)動連接,且所述轉(zhuǎn)動軸與所述驅(qū)動輪盤的軸線平行設(shè)置。進一步地,所述限位桿的數(shù)量為三根,三根所述限位桿包括兩根固定桿和一根轉(zhuǎn)動桿,兩根所述固定桿的兩端分別與所述限位盤和第二限位盤固定連接。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機設(shè)備。上海全自動共晶機定制泰克固晶機是一種用于半導體封裝工藝中的關(guān)鍵設(shè)備。其主要作用是將芯片與基板連接在一起。
濺鍍鈦+氮化鈦+鋁+氮化鈦等多層金屬膜。離子刻蝕出布線結(jié)構(gòu),并用PECVD在上面沉積一層SiO2介電質(zhì)。并用SOG(spinonglass)使表面平坦,加熱去除SOG中的溶劑。然后再沉積一層介電質(zhì),為沉積第二層金屬作準備。(1)薄膜的沉積方法根據(jù)其用途的不同而不同,厚度通常小于1um。有絕緣膜、半導體薄膜、金屬薄膜等各種各樣的薄膜。薄膜的沉積法主要有利用化學反應(yīng)的CVD(chemicalvapordeposition)法以及物理現(xiàn)象的PVD(physicalvapordeposition)法兩大類。CVD法有外延生長法、HCVD,PECVD等。PVD有濺射法和真空蒸發(fā)法。一般而言,PVD溫度低,沒有毒氣問題;CVD溫度高,需達到1000oC以上將氣體解離,來產(chǎn)生化學作用。PVD沉積到材料表面的附著力較CVD差一些,PVD適用于在光電產(chǎn)業(yè),而半導體制程中的金屬導電膜大多使用PVD來沉積,而其他絕緣膜則大多數(shù)采用要求較嚴謹?shù)腃VD技術(shù)。以PVD被覆硬質(zhì)薄膜具有度,耐腐蝕等特點。(2)真空蒸發(fā)法(EvaporationDeposition)采用電阻加熱或感應(yīng)加熱或者電子束等加熱法將原料蒸發(fā)淀積到基片上的一種常用的成膜方法。蒸發(fā)原料的分子(或原子)的平均自由程長(10-4Pa以下,達幾十米),所以在真空中幾乎不與其他分子碰撞可直接到達基片。
個片盒架間隔設(shè)置在固定架的旋轉(zhuǎn)方向上??梢岳斫獾氖?,片盒架的數(shù)量為多個,固定架可以一次帶動多個片盒架移動,提高了一次清洗的晶圓的數(shù)量,相應(yīng)的提高了晶圓的清洗、加工效率。作為本實施例晶圓加工固定裝置的一個具體實施例,固定架包括驅(qū)動輪盤、從動輪盤和連接桿,驅(qū)動輪盤與從動輪盤同軸相對設(shè)置,連接桿固定連接在驅(qū)動輪盤與從動輪盤之間。片盒架轉(zhuǎn)動連接在驅(qū)動輪盤和從動輪盤之間。其中,連接桿的數(shù)量可為多根,在本實施例中連接桿的數(shù)量為三根,其中一根連接桿為中心連接軸,中心連接軸連接在驅(qū)動輪盤和從動輪盤的中心上,另兩根連接桿為加強桿,兩根加強桿設(shè)在中心連接軸的兩側(cè)。需要注意的是。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機設(shè)計、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機廣泛應(yīng)用于電子、光電子、半導體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片。共晶機設(shè)備實現(xiàn)TO56 的芯片及熱沉貼裝于管座的共晶工藝找泰克光電。
且所述太陽輪的軸線與所述驅(qū)動輪盤的旋轉(zhuǎn)軸線共線設(shè)置,所述行星架的行星輪與所述片盒架的所述限位盤的轉(zhuǎn)動軸連接,且每個行星輪至多連接一個所述限位盤的轉(zhuǎn)動軸,每個所述行星輪的軸線與其對應(yīng)的所述轉(zhuǎn)動軸共線設(shè)置;所述行星架的齒圈固定設(shè)置。進一步地,所述行星架的行星輪的數(shù)量為個,所述片盒架的數(shù)量為個,所述行星輪與所述片盒架一一對應(yīng)設(shè)置。進一步地。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機設(shè)計、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機廣泛應(yīng)用于電子、光電子、半導體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。所述安裝座包括底板、齒圈固定板和豎向桿;所述齒圈固定板和所述豎向桿間隔設(shè)置,且均安裝在所述底板上,所述齒圈固定板上設(shè)置有通孔,所述行星架的齒圈安裝在所述通孔內(nèi)。手動共晶機找手動共晶機找泰克光電。肇慶貼片共晶機廠家現(xiàn)貨
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