個(gè)片盒架間隔設(shè)置在固定架的旋轉(zhuǎn)方向上。可以理解的是,片盒架的數(shù)量為多個(gè),固定架可以一次帶動(dòng)多個(gè)片盒架移動(dòng),提高了一次清洗的晶圓的數(shù)量,相應(yīng)的提高了晶圓的清洗、加工效率。作為本實(shí)施例晶圓加工固定裝置的一個(gè)具體實(shí)施例,固定架包括驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)、從動(dòng)輪盤(pán)和連接桿,驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)與從動(dòng)輪盤(pán)同軸相對(duì)設(shè)置,連接桿固定連接在驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)與從動(dòng)輪盤(pán)之間。片盒架轉(zhuǎn)動(dòng)連接在驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)和從動(dòng)輪盤(pán)之間。其中,連接桿的數(shù)量可為多根,在本實(shí)施例中連接桿的數(shù)量為三根,其中一根連接桿為中心連接軸,中心連接軸連接在驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)和從動(dòng)輪盤(pán)的中心上,另兩根連接桿為加強(qiáng)桿,兩根加強(qiáng)桿設(shè)在中心連接軸的兩側(cè)。需要注意的是。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片。共晶機(jī)找2023共晶機(jī)價(jià)格|報(bào)價(jià)找泰克光電。贛州倒裝共晶機(jī)怎么樣
劃片過(guò)程容易產(chǎn)生崩邊、微裂紋、分層等缺陷,直接影響硅片的機(jī)械性能。同時(shí),由于硅片硬度高、韌性低、導(dǎo)熱系數(shù)低,劃片過(guò)程產(chǎn)生的摩擦熱難于快速傳導(dǎo)出去,易造成刀片中的金剛石顆粒碳化及熱破裂,使刀具磨損嚴(yán)重,嚴(yán)重影響劃切質(zhì)量[2]。晶圓制造工藝編輯晶圓表面清洗晶圓表面附著大約2μm的Al2O3和甘油混合液保護(hù)層,在制作前必須進(jìn)行化學(xué)刻蝕和表面清洗。晶圓初次氧化由熱氧化法生成SiO2緩沖層,用來(lái)減小后續(xù)中Si3N4對(duì)晶圓的應(yīng)力氧化技術(shù):干法氧化Si(固)+O2àSiO2(固)和濕法氧化Si(固)+2H2OàSiO2(固)+2H2。干法氧化通常用來(lái)形成,柵極二氧化硅膜,要求薄,界面能級(jí)和固定晶圓電荷密度低的薄膜。干法氧化成膜速度慢于濕法。濕法氧化通常用來(lái)形成作為器件隔離用的比較厚的二氧化硅膜。當(dāng)SiO2膜較薄時(shí),膜厚與時(shí)間成正比。SiO2膜變厚時(shí),膜厚與時(shí)間的平方根成正比。因而,要形成較厚SiO2膜,需要較長(zhǎng)的氧化時(shí)間。SiO2膜形成的速度取決于經(jīng)擴(kuò)散穿過(guò)SiO2膜到達(dá)硅表面的O2及OH基等氧化劑的數(shù)量的多少。濕法氧化時(shí)。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者。無(wú)錫共晶機(jī)市價(jià)提升UVC LED可靠性,共晶固晶機(jī)必不可少! 泰克光電。
多個(gè)定位槽沿限位桿的長(zhǎng)度方向依次間隔布置。在具體使用時(shí),將晶圓依次放置到定位槽內(nèi),并通過(guò)三根限位桿進(jìn)行限位固定??梢岳斫獾氖牵ㄎ徊劭墒沟镁A固定穩(wěn)定性得到提高,且使得各個(gè)晶圓之間具有間隙,以使每個(gè)晶圓都能充分清洗。為了簡(jiǎn)化設(shè)備,本實(shí)施例晶圓加工固定裝置還包括傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)和限位盤(pán)連接,傳動(dòng)機(jī)構(gòu)用于同步驅(qū)動(dòng)固定架轉(zhuǎn)動(dòng)和片盒架自轉(zhuǎn)。也即,通過(guò)設(shè)置傳動(dòng)機(jī)構(gòu),使得一個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可同時(shí)驅(qū)動(dòng)固定架和片盒架轉(zhuǎn)動(dòng)。具體而言,傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括行星架,行星架的太陽(yáng)輪與驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)連接,且太陽(yáng)輪的軸線與驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)的旋轉(zhuǎn)軸線共線設(shè)置。
也即太陽(yáng)輪的輪軸與驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)的中心連接軸同軸;行星架的行星輪與片盒架的限位盤(pán)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸連接,且每個(gè)行星輪至多連接一個(gè)限位盤(pán)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸,每個(gè)行星輪的軸線與其對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸共線設(shè)置;行星架的齒圈固定設(shè)置。其中,每個(gè)片盒架的轉(zhuǎn)動(dòng)軸都需要連接一個(gè)行星輪,以實(shí)現(xiàn)片盒架的自轉(zhuǎn),但是行星輪的數(shù)量可以大于片盒架的數(shù)量,多余的行星輪可以是空轉(zhuǎn),也即不連接片盒架。推薦的,行星輪與片盒架的數(shù)量一一對(duì)應(yīng)設(shè)置,在本實(shí)施例中,行星架的行星輪的數(shù)量為個(gè),片盒架的數(shù)量為個(gè),行星輪與片盒架一一對(duì)應(yīng)設(shè)置。在本實(shí)施例中,如圖所示,行星架的太陽(yáng)輪設(shè)置在驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)靠近從動(dòng)輪盤(pán)的一側(cè),驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)的背離被動(dòng)驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)的一側(cè)設(shè)置有與電機(jī)等驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(例如電機(jī))連接的連接軸。驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)與從動(dòng)輪盤(pán)小相同,驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)直徑大于行星架的太陽(yáng)輪的直徑。行星輪的輪軸可通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接在驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)上,以提高裝置的穩(wěn)定性。其中,限位盤(pán)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸與行星輪的輪軸固定連接。進(jìn)一步地,本實(shí)施例晶圓加工固定裝置的安裝座包括底板、齒圈固定板和豎向桿。齒圈固定板和豎向桿間隔設(shè)置,且均安裝在底板上,齒圈固定板上設(shè)置有通孔,行星架的齒圈安裝在通孔內(nèi);驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)設(shè)置在齒圈固定板背離豎向桿的一側(cè)。半導(dǎo)體全自動(dòng)共晶機(jī) 高精度共晶機(jī)找泰克光電。
作為推薦方案,所述固定板的頂部設(shè)有至少一條滑軌,所述托臂的底部通過(guò)滑塊滑動(dòng)連接在所述滑軌上,所述滑塊的頂部與所述托臂的底側(cè)固定連接,所述滑塊的底部與所述滑軌滑動(dòng)連接。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的晶圓視覺(jué)檢測(cè)機(jī)的晶圓移載機(jī)構(gòu)與現(xiàn)有技術(shù)相比,其有益效果在于:本實(shí)用新型實(shí)施例的晶圓移載機(jī)構(gòu)包括控制系統(tǒng)、升降裝置、承接裝置和感應(yīng)裝置,承接裝置包括托臂。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。托臂安裝在升降裝置上,可隨升降裝置升降。在工作狀態(tài)下,晶圓視覺(jué)檢測(cè)機(jī)的夾取機(jī)構(gòu)夾住晶圓。感應(yīng)裝置感應(yīng)晶圓的位置,并將信息反饋給控制系統(tǒng),控制系統(tǒng)控制升降裝置帶動(dòng)托臂上升或下降到晶圓所在位置的下方,盡量接近晶圓的位置。全自動(dòng)高精度共晶機(jī)找泰克光電。上海芯片共晶機(jī)廠家供應(yīng)
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且所述片盒架能夠相對(duì)所述固定架自轉(zhuǎn),所述固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與所述片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線非共線設(shè)置。進(jìn)一步地,所述片盒架的數(shù)量為多個(gè),多個(gè)所述片盒架沿所述固定架的旋轉(zhuǎn)方向間隔設(shè)置在所述固定架上。進(jìn)一步地,所述固定架包括驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)、從動(dòng)輪盤(pán)和連接桿,所述驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)與所述從動(dòng)輪盤(pán)同軸相對(duì)設(shè)置,且,所述驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)和所述從動(dòng)輪盤(pán)分別可轉(zhuǎn)動(dòng)的安裝在所述安裝座上,所述連接桿固定連接在所述驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)與所述從動(dòng)輪盤(pán)之間;所述片盒架轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)和所述從動(dòng)輪盤(pán)之間。進(jìn)一步地,所述片盒架包括同軸相對(duì)設(shè)置的限位盤(pán)和第二限位盤(pán),所述限位盤(pán)與所述第二限位盤(pán)之間設(shè)置有多根限位桿,多根所述限位桿沿所述限位盤(pán)的周向間隔設(shè)置,多個(gè)所述限位桿之間形成晶圓的放置空間;所述限位盤(pán)與所述第二限位盤(pán)相互遠(yuǎn)離的側(cè)面分別通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸與所述驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)和所述從動(dòng)輪盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)連接,且所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸與所述驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)的軸線平行設(shè)置。進(jìn)一步地,所述限位桿的數(shù)量為三根,三根所述限位桿包括兩根固定桿和一根轉(zhuǎn)動(dòng)桿,兩根所述固定桿的兩端分別與所述限位盤(pán)和第二限位盤(pán)固定連接。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備。贛州倒裝共晶機(jī)怎么樣