隨著半導(dǎo)體市場的逐步開放和增長，作為半導(dǎo)體檢測的必備儀器—探針臺的市場也在逐年增長和擴(kuò)大中，不論是海外品牌還是國產(chǎn)品牌，近幾年在半導(dǎo)體檢測儀器市場中的規(guī)模都在逐年擴(kuò)大。由于高校的管理模式及制度，探針臺大多養(yǎng)在“深閨”，大量科研資源潛能沒有得到充分發(fā)揮。為解決這個問題并加速釋放科技創(chuàng)新的動能，中間及各級government在近幾年來制訂頒布了關(guān)于科學(xué)儀器、科研數(shù)據(jù)等科技資源的共享與平臺建設(shè)文件。2021年1月22日，科技部和財政部聯(lián)合發(fā)布《科技部 財政部關(guān)于開展2021年度國家科技基礎(chǔ)條件資源調(diào)查工作的通知（國科發(fā)基〔2020〕342號）》，全國眾多高校和科研院所將各種科學(xué)儀器上傳共享。其中，對探針臺的統(tǒng)計分析或可一定程度反映科研領(lǐng)域相關(guān)儀器的市場信息（注：本文搜集信息來源于重大科研基礎(chǔ)設(shè)施和大型科研儀器國家網(wǎng)絡(luò)管理平臺，部分儀器品牌信息不全則根據(jù)型號等信息補全，不完全統(tǒng)計分析只供讀者參考）。探針臺具有規(guī)?；?、系統(tǒng)性、戰(zhàn)略性和國際性等特點，是人類探索宇宙的中心樞紐。安徽X8M探針臺平臺

探針測試臺x-y工作臺的分類，縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類，即:以美國EG公司為表示的平面電機(jī)型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以日本及歐洲國家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大，所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論，應(yīng)區(qū)別對待。安徽X8M探針臺平臺探針臺的設(shè)立有助于拓展對太空天體的認(rèn)識。

探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)。針對集成電路以及封裝的測試。 探針臺廠家生產(chǎn)的探針臺普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。激光探針臺，探針臺應(yīng)用范圍：8寸以內(nèi)Wafer，IC測試，IC設(shè)計等；激光探針臺測試內(nèi)容：1. 微小連接點信號引出；2. 失效分析失效確認(rèn)；3. FIB電路修改后電學(xué)特性確認(rèn)；4. 晶圓可靠性驗證；5. 激光打標(biāo)；6. 表層修復(fù)線路；7. 驅(qū)除短路點；8. 激光斷線；9. 干擾芯片測試。

探針臺分類，探針臺從操作上來區(qū)分有:手動，半自動，全自動，從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺，真空探針臺(較低溫探針臺)，RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應(yīng)探針臺，表面電阻率探針臺。經(jīng)濟(jì)手動型，根據(jù)客戶需求定制：chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選)；X-Y移動行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選)；chuck Z軸方向升降10mm(選項)方便探針與樣品快速分離；顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選)；顯微鏡移動方式:立柱環(huán)繞型、移動平臺型、龍門結(jié)構(gòu)型(可選)；探針座:有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開關(guān)；可搭配Probe card測試；適用領(lǐng)域:晶圓廠、研究所、高校等。探針臺的觀測數(shù)據(jù)對未來宇宙探索和科學(xué)研究提供了寶貴的資源。

不同的顯微鏡，顯微鏡的支架會有所不同，通常有立柱安裝和龍門安裝兩種配置。定位器平臺用于放置定位器（探針座）、形狀和尺寸根據(jù)測試應(yīng)用不同會有不同的設(shè)計形式。樣品臺（載物臺）用于承載待測樣品，通常根據(jù)晶圓尺寸設(shè)計，常用的尺寸從2～12英寸。除了承載樣品的功能，樣品臺還可根據(jù)測量需求，設(shè)計為帶測量通路和帶精密控溫的形式。精密移動組件。以上承載平臺都配套了相應(yīng)的移動定位功能，方便用戶對顯微鏡、待測樣品及定位器進(jìn)行精密的移動。通常有X-Y-Z-R-T這些方向移動功能。定位器。定位器（又稱探針座），幫助用戶實現(xiàn)探針的精密移動定位。因此，結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性、驅(qū)動絲桿精度、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的直線度、往復(fù)精度、長期使用時以上指標(biāo)的可靠性都是選購定位器時應(yīng)當(dāng)考慮的主要指標(biāo)。探針臺的科技成果對推進(jìn)全球科學(xué)事業(yè)、推動人類文明進(jìn)步發(fā)揮著重要的作用。北京大型探針臺價格

探針臺的建設(shè)需要科學(xué)家們共同匯聚自己的智慧。安徽X8M探針臺平臺

探針臺(Prober station)又稱探針測試臺，主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個可調(diào)測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進(jìn)行科研分析，抽查測試等用途。探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)得研發(fā)，生產(chǎn)制造，失效分析等，是對晶圓(Wafer)上得器件進(jìn)行電特性測試或故障分析而使用得精密機(jī)臺，通過探針臺能很好得幫助工程技術(shù)人員實現(xiàn)微小位置得電學(xué)參數(shù)測試。安徽X8M探針臺平臺