探針臺:手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺、8英寸半自動探針臺、12英寸全自動探針臺、太赫茲探針臺、射頻探針臺、硅光探針臺等探針臺的簡單介紹,探針臺是半導(dǎo)體表征參數(shù)測試測量非常常用的設(shè)備,應(yīng)用范圍非常普遍。本文,我們只就手動探針臺及其半導(dǎo)體測試測量應(yīng)用進行討論。首先,我們來看看維基百科上對于探針臺(機械探針臺)的定義:盡管以上定義對于測量儀器的描述比較窄(探針臺較早期的用法),但從上面我們不難了解到,探針臺是一個實現(xiàn)精密探針定位、為用戶提供半導(dǎo)體待測點至測量儀器連接通路的設(shè)備。它主要包含了探針臺、定位器、探針、探針夾具及電纜組件。探針臺能夠為太空探索提供關(guān)鍵的科研數(shù)據(jù)。北京手動探針臺生產(chǎn)商
手動探針臺系統(tǒng)顧名思義是手動控制的,這意味著晶圓載物臺、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動探針臺。該類探針臺的優(yōu)點之一是只需要較少的培訓(xùn),易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測試環(huán)境,并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時間的電子設(shè)備、PC或軟件。由于其靈活和可變性高的特點,非常適合研發(fā)人員使用。全自動探針臺相比上述兩種添加了晶圓材料處理搬運單元(MHU)和模式識別(自動對準)。負責(zé)晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試??梢?4小時連續(xù)工作,通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。全自動探針臺價格也是遠比手動/半自動探針臺要昂貴。深圳8寸探針臺廠商探針臺的數(shù)據(jù)對太空探索、戰(zhàn)略部署、國家的安全等領(lǐng)域具有普遍的應(yīng)用和重要的戰(zhàn)略意義。
在地質(zhì)勘探方面,憑借其準確度高、速度快的特點,幫助人類更好地探索地球深處的各種資源。探測機器人通過自己的機械臂采集樣本,在經(jīng)過相關(guān)的研究分析后,為地球物質(zhì)研究領(lǐng)域帶來了巨大的突破。而在生物科技的應(yīng)用中,可以幫助科學(xué)家在分子層面上研究生命現(xiàn)象,如蛋白質(zhì)合成、DNA 重組等,為生物學(xué)家們的研究提供出了便利。材料科學(xué)是另一個應(yīng)用領(lǐng)域。利用實驗結(jié)果為材料科學(xué)領(lǐng)域提供基礎(chǔ)數(shù)據(jù),幫助科學(xué)家們更好地掌握材料的物理特性。同時,作為理論工具,在材料計算中也有不可替代的作用。它能將理論解析進行實驗驗證,實驗結(jié)果為理論研究提供了更多的數(shù)據(jù)支持。
射頻探針:射頻探針的本質(zhì)為適配器,將芯片測量接口轉(zhuǎn)為同軸或波導(dǎo)端口。常見的射頻探針有GSG型、GS型、GSSG型等。射頻探針的主要參數(shù)有高工作頻率、探針針尖距(Pitch)等。目前,同軸接口的射頻探針頻率可達110 GHz(MPI目前適配安利的擴頻模塊可到220G)波導(dǎo)接口的射頻探針頻率高達1.1 THz,有一些型號的探針可以選配BiasTee。校準:微波射頻在片測試的校準主要是指S參數(shù)校準,可以通過使用校準片完成校準。一般的校準片提供開路(Open)、短路(Short)、匹配(Match)、直通(Through)和延遲線(Line)標(biāo)準件,可完成TOSM校準或TRL校準或SOLT或SOLR或LRM等。探針臺建設(shè)需要綜合考慮技術(shù)、人力、資金等眾多因素。
探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。探針臺普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。據(jù) SEMI 預(yù)測,2020 年全球的探針臺市場規(guī)模約為 42.96 億元。由于半導(dǎo)體設(shè)備需求 與半導(dǎo)體芯片出貨量息息相關(guān),在 5G、物聯(lián)網(wǎng)等因素的催化下,半導(dǎo)體芯片出貨量維持較 高規(guī)模,半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模將穩(wěn)步提升,探針臺市場規(guī)模在 2021、2022 年有望達到 51.56 億元、59.29 億元。探針臺具有規(guī)?;?、系統(tǒng)性、戰(zhàn)略性和國際性等特點,是人類探索宇宙的中心樞紐。上海12寸探針臺價位
探針臺的發(fā)展需要國際合作和共同努力。北京手動探針臺生產(chǎn)商
x-y工作臺的維護與保養(yǎng),無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,x-y向工作臺都是其較主要的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的,所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要。本文只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養(yǎng)作一介紹。平面電機x-y步進工作臺的維護與保養(yǎng),平面電機由定子和動子組成,它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎(chǔ)平臺, 動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。北京手動探針臺生產(chǎn)商