探針臺的基本組件,探針臺由六個基本組件組成:Chuck – 一種用于固定晶片或裸片而不損壞它的裝置。載物臺 – 用于將卡盤定位在 X、Y、Z 和 Theta (θ) 上。機械手——用于將探頭定位在被測設(shè)備 (DUT) 上。壓板 - 用于固定操縱器并使探針與設(shè)備接觸。探頭先進和臂 - 安裝在機械手上,它們直接接觸設(shè)備。光學 - 用于查看和放大被測設(shè)備和探頭先進。它是如何工作的?探針臺將晶圓或芯片固定在安裝在平臺上的卡盤上,該平臺允許將 DUT 定位在顯微鏡視野的中心。探針臺能夠觀測到宇宙的細微之處,為人類探索宇宙提供了重要的線索。江西探針臺廠家
GBITEST+MPI 半自動探針臺。半導(dǎo)體測試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類:驗證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。晶圓檢測環(huán)節(jié)需要使用測試儀和探針臺,測試儀/機用于檢測芯片功能和性能,探針臺實現(xiàn)被測芯片與測試機的連接,通過探針臺和測試機的配合使用對晶圓上的裸芯片進行功能和電參數(shù)測試或射頻測試,可以對芯片的良品、不良品的進行篩選。探針臺的分類探針臺可以按照使用類型與功能來劃分,也可以按照操作方式來劃分成:手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。江西探針臺廠家探針臺的觀測數(shù)據(jù)對未來宇宙探索和科學研究提供了寶貴的資源。
探針臺特性1:裝載部件,令客戶滿意的測試環(huán)境,可以提供從前部開始的通常的8",12"及基本檢查單元。也為自動物料輸送系統(tǒng)應(yīng)用做好了準備。特性2:TTG(一點即到),更加方便的操作,UF3000采用在顯示屏上點一下,相關(guān)的屏幕就會切換到新的位置顯示。相關(guān)的設(shè)定十分方便。屏幕的顯示模式也可以由客戶自行定義。晶圓測試的方式主要是通過測試機和探針臺的聯(lián)動,在測試過程中,測試機臺并不能直接對待測晶圓進行量測,而是透過探針卡(Probe Card)中的探針(Probe)與晶圓上的焊墊(Pad)或凸塊(Bump)接觸而構(gòu)成電性接觸。
滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺的維護與保養(yǎng),相對于平面電機工作臺,絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜,工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅(qū)動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,導(dǎo)向部分采用精密直線滾動導(dǎo)軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件,所以具有傳動效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特點。這種結(jié)構(gòu)的工作臺應(yīng)放置在溫度23±3 ℃,濕度≤70%,無有害氣體的環(huán)境中,滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,但不可過多,值得指出的是,這種結(jié)構(gòu)的工作臺在裝配過程中,從直線導(dǎo)軌的直線性,上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復(fù)性,定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整,用戶一般情況不能輕易改變,一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來的狀態(tài),所以對需要調(diào)整的工作臺應(yīng)有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過培訓的專業(yè)人員完成。探針臺開展的研究和觀測任務(wù)需要高精度的儀器和設(shè)備。
重復(fù)定位探針先進的過程,直到測試完所有必需的設(shè)備。這個過程都可以由操作員手動完成,但如果載物臺和機械手是電動的,并且顯微鏡連接到計算機視覺系統(tǒng),那么這個過程可以變成半自動或全自動。這可以提高探針臺的生產(chǎn)力和吞吐量,并減少運行多個測試所需的勞動力。作為半導(dǎo)體封測行業(yè)三大設(shè)備之一,探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的晶圓、芯片等器件的測試,研發(fā)難度大,國產(chǎn)化率低,進口依賴度高,它的品質(zhì)和精度直接決定測試可靠性與否。探針臺加工廠家潮濕的環(huán)境及長時期保養(yǎng)不當將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象。探針臺是人類智慧的結(jié)晶和太空探索的橋梁。福建電學溫控探針臺
探針臺需要高度的保密性和安全措施。江西探針臺廠家
對于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作,清理時應(yīng)先通入大氣以便動子移動,方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無水乙醇,輕擦定子表面,然后用專門使用工具撬起動子,方法同前, 輕擦動子表面,動子的表面有若干個氣孔,它是定子和動子間壓縮空氣的出孔,觀察這此氣孔的放氣是否均勻,否則用工具小心旋開小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔,處理完畢后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)嵌氣孔螺母原始狀態(tài)。需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強行拉動動子,以免造成定子及動子的損傷。平面電機應(yīng)使用在環(huán)境溫度15~25 ℃,相對濕度小于50%的環(huán)境中,其所需的壓縮空氣必須經(jīng)過干燥過濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5 ℃,氣壓為0.4±0.04MPa。江西探針臺廠家