本實(shí)施例給出的是一個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)同步驅(qū)動(dòng)固定架和片盒架轉(zhuǎn)動(dòng)的形式,自然也可以是固定架單獨(dú)驅(qū)動(dòng),片盒架單獨(dú)驅(qū)動(dòng)的形式。但是相比,固定架單獨(dú)驅(qū)動(dòng)、片盒架單獨(dú)驅(qū)動(dòng)的形式,本實(shí)施例晶圓加工固定裝置結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)單、且緊湊。在本實(shí)施例晶圓加工固定裝置的片盒架與固定架可以是可拆卸的轉(zhuǎn)動(dòng)連接,以方便通過(guò)更換片盒架實(shí)現(xiàn)不同尺寸的晶圓的清洗。綜上所述,本實(shí)施例晶圓加工固定裝置的齒圈固定板和豎向桿安裝在底板上,同時(shí)由拉桿連接,構(gòu)成基本框架,也即安裝座;從動(dòng)輪盤安裝在豎向桿上,通過(guò)連接桿與驅(qū)動(dòng)輪盤連接。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。構(gòu)成固定架的轉(zhuǎn)動(dòng)部分。泰克光電共晶機(jī)通過(guò)控制熱能和加壓條件,使液態(tài)的金屬共晶落在設(shè)定的位置上,形成微小的凸起部分!肇慶共晶機(jī)廠家
我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。達(dá)到阻止下一步中n型雜質(zhì)注入P型阱中。去除SIO2層退火處理,然后用HF去除SiO2層。干法氧化法干法氧化法生成一層SiO2層,然后LPCVD沉積一層氮化硅。此時(shí)P阱的表面因SiO2層的生長(zhǎng)與刻蝕已低于N阱的表面水平面。這里的SiO2層和氮化硅的作用與前面一樣。接下來(lái)的步驟是為了隔離區(qū)和柵極與晶面之間的隔離層。光刻技術(shù)和離子刻蝕技術(shù)利用光刻技術(shù)和離子刻蝕技術(shù),保留下柵隔離層上面的氮化硅層。濕法氧化生長(zhǎng)未有氮化硅保護(hù)的SiO2層,形成PN之間的隔離區(qū)。生成SIO2薄膜熱磷酸去除氮化硅,然后用HF溶液去除柵隔離層位置的SiO2,并重新生成品質(zhì)更好的SiO2薄膜,作為柵極氧化層。氧化LPCVD沉積多晶硅層,然后涂敷光阻進(jìn)行光刻,以及等離子蝕刻技術(shù),柵極結(jié)構(gòu),并氧化生成SiO2保護(hù)層。形成源漏極表面涂敷光阻,去除P阱區(qū)的光阻,注入砷(As)離子,形成NMOS的源漏極。用同樣的方法,在N阱區(qū),注入B離子形成PMOS的源漏極。沉積利用PECVD沉積一層無(wú)摻雜氧化層,保護(hù)元件,并進(jìn)行退火處理。沉積摻雜硼磷的氧化層含有硼磷雜質(zhì)的SiO2層,有較低的熔點(diǎn),硼磷氧化層。成都共晶機(jī)設(shè)備泰克光電共晶機(jī)將覆晶芯片牢固地通過(guò)共晶焊接技術(shù)焊接在基板上成為關(guān)鍵技術(shù)之一。
多個(gè)定位槽沿限位桿的長(zhǎng)度方向依次間隔布置。在具體使用時(shí),將晶圓依次放置到定位槽內(nèi),并通過(guò)三根限位桿進(jìn)行限位固定??梢岳斫獾氖?,定位槽可使得晶圓固定穩(wěn)定性得到提高,且使得各個(gè)晶圓之間具有間隙,以使每個(gè)晶圓都能充分清洗。為了簡(jiǎn)化設(shè)備,本實(shí)施例晶圓加工固定裝置還包括傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與驅(qū)動(dòng)輪盤和限位盤連接,傳動(dòng)機(jī)構(gòu)用于同步驅(qū)動(dòng)固定架轉(zhuǎn)動(dòng)和片盒架自轉(zhuǎn)。也即,通過(guò)設(shè)置傳動(dòng)機(jī)構(gòu),使得一個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可同時(shí)驅(qū)動(dòng)固定架和片盒架轉(zhuǎn)動(dòng)。具體而言,傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括行星架,行星架的太陽(yáng)輪與驅(qū)動(dòng)輪盤連接,且太陽(yáng)輪的軸線與驅(qū)動(dòng)輪盤的旋轉(zhuǎn)軸線共線設(shè)置。
泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。使得固定連接在同步帶不同輸送側(cè)上的托臂相互靠近或相互遠(yuǎn)離。通過(guò)調(diào)節(jié)兩個(gè)托臂之間的距離,使得托臂能夠托住不同大小的晶圓(一個(gè)托臂拖著晶圓的一側(cè))。該晶圓移栽機(jī)構(gòu)可用于承托不同體積大小的晶圓,應(yīng)用。托臂的形狀為長(zhǎng)條形,托臂的縱截面形狀為l形。托臂可分為限位部和水平設(shè)置的承托部,限位部豎直固定在承托部遠(yuǎn)離另一托臂的一側(cè),用于限定晶圓在承托部上的位置。限位部和承托部形成l形的托臂。當(dāng)兩個(gè)托臂相互靠近,直至兩個(gè)承托部的一側(cè)接觸時(shí),兩個(gè)托臂形成縱截面為凵,將晶圓穩(wěn)固限定于兩個(gè)托臂的承托部之上。為了有利于托臂在固定板上來(lái)回滑動(dòng),減少托臂與固定板之間的摩擦力,固定板的頂部設(shè)有至少一條滑軌,托臂的底部通過(guò)滑塊滑動(dòng)連接在滑軌上,滑塊的頂部與托臂的底側(cè)固定連接,滑塊的底部與滑軌滑動(dòng)連接。在本實(shí)施例中,固定板的頂部設(shè)有兩條并列的滑軌,兩側(cè)滑軌位于固定板頂部的前后兩側(cè)?;墳橥斜鄣囊苿?dòng)起導(dǎo)向作用。托臂的頂部固定連接有滑塊,滑塊的面積較大。共晶機(jī)/固晶機(jī)找泰克光電。
個(gè)片盒架間隔設(shè)置在固定架的旋轉(zhuǎn)方向上。可以理解的是,片盒架的數(shù)量為多個(gè),固定架可以一次帶動(dòng)多個(gè)片盒架移動(dòng),提高了一次清洗的晶圓的數(shù)量,相應(yīng)的提高了晶圓的清洗、加工效率。作為本實(shí)施例晶圓加工固定裝置的一個(gè)具體實(shí)施例,固定架包括驅(qū)動(dòng)輪盤、從動(dòng)輪盤和連接桿,驅(qū)動(dòng)輪盤與從動(dòng)輪盤同軸相對(duì)設(shè)置,連接桿固定連接在驅(qū)動(dòng)輪盤與從動(dòng)輪盤之間。片盒架轉(zhuǎn)動(dòng)連接在驅(qū)動(dòng)輪盤和從動(dòng)輪盤之間。其中,連接桿的數(shù)量可為多根,在本實(shí)施例中連接桿的數(shù)量為三根,其中一根連接桿為中心連接軸,中心連接軸連接在驅(qū)動(dòng)輪盤和從動(dòng)輪盤的中心上,另兩根連接桿為加強(qiáng)桿,兩根加強(qiáng)桿設(shè)在中心連接軸的兩側(cè)。需要注意的是。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片。泰克光電|#共晶機(jī)廠家 #半導(dǎo)體封裝設(shè)備廠家。成都共晶機(jī)設(shè)備
COC共晶機(jī)找可配置處理MAP芯片來(lái)料分選功能“泰克光電”。肇慶共晶機(jī)廠家
工作人員可以通過(guò)控制系統(tǒng)控制升降電機(jī)驅(qū)動(dòng)升降板在豎直方向上移動(dòng)。承接裝置包括至少一個(gè)托臂,托臂與升降板連接,可隨升降板上下移動(dòng)。在搬運(yùn)晶圓時(shí),托臂位于夾取機(jī)構(gòu)的正下方,且靠近晶圓。夾取機(jī)構(gòu)夾取晶圓后,可將晶圓拖到托臂上,由升降驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)升降板和托臂下降,帶動(dòng)晶圓下降到檢測(cè)位置。從源頭上杜絕了因夾取機(jī)構(gòu)機(jī)器故障而松開晶圓,導(dǎo)致晶圓從高處掉落的事故,減少了晶圓受損的概率,使得晶圓運(yùn)輸更加可靠。感應(yīng)裝置安裝在托臂上,用于感應(yīng)晶圓是否被拖放到位,感應(yīng)裝置與控制系統(tǒng)電連接,可將晶圓的位置數(shù)據(jù)傳輸給控制系統(tǒng),控制系統(tǒng)再控制升降裝置帶動(dòng)托臂升降到位,以使托臂盡量靠近夾取機(jī)構(gòu)。在本實(shí)施例中,感應(yīng)裝置具體為光電傳感器。其中,升降裝置還包括安裝板。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。肇慶共晶機(jī)廠家