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來源: 發(fā)布時間:2023-11-21

    個片盒架間隔設(shè)置在固定架的旋轉(zhuǎn)方向上??梢岳斫獾氖?,片盒架的數(shù)量為多個,固定架可以一次帶動多個片盒架移動,提高了一次清洗的晶圓的數(shù)量,相應(yīng)的提高了晶圓的清洗、加工效率。作為本實施例晶圓加工固定裝置的一個具體實施例,固定架包括驅(qū)動輪盤、從動輪盤和連接桿,驅(qū)動輪盤與從動輪盤同軸相對設(shè)置,連接桿固定連接在驅(qū)動輪盤與從動輪盤之間。片盒架轉(zhuǎn)動連接在驅(qū)動輪盤和從動輪盤之間。其中,連接桿的數(shù)量可為多根,在本實施例中連接桿的數(shù)量為三根,其中一根連接桿為中心連接軸,中心連接軸連接在驅(qū)動輪盤和從動輪盤的中心上,另兩根連接桿為加強桿,兩根加強桿設(shè)在中心連接軸的兩側(cè)。需要注意的是。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗。我們的團(tuán)隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機設(shè)計、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機廣泛應(yīng)用于電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片。泰克光電|#共晶機廠家 #半導(dǎo)體封裝設(shè)備廠家。高速共晶機廠家現(xiàn)貨

    隨同步帶移動而左右移動。托臂通過連接塊與同步帶固定連接,連接塊的底部固定連接在同步帶上,連接塊的頂部與托臂的底部固定連接。托臂位于固定板的頂側(cè),以便托住晶圓。連接塊伸出于固定板的前側(cè)或后側(cè),托臂通過連接塊與設(shè)于固定板底側(cè)的同步帶固定連接。連接塊有利于托臂與同步帶連接穩(wěn)固。具體地,托臂的數(shù)量為兩個,各托臂分別固定連接在同步帶的不同輸送側(cè)上,移動電機驅(qū)動主動輪轉(zhuǎn)動,帶動從動輪和同步帶轉(zhuǎn)動,使得各托臂在固定板上做張合運動。一個托臂通過一個連接塊粘附在同步帶的前側(cè),另一托臂通過另一連接塊連接在同步帶的后側(cè)。當(dāng)同步帶轉(zhuǎn)動時,連接在不同輸送側(cè)的連接塊帶動托臂往不同方向移動,實現(xiàn)兩個托臂在固定板上做張合運動。工作人員可根據(jù)不同規(guī)格的晶圓,通過控制系統(tǒng)控制移動電機驅(qū)動主動輪轉(zhuǎn)動,帶動同步帶和從動輪轉(zhuǎn)動。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗。我們的團(tuán)隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機設(shè)計、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識。合肥FDB211共晶機源頭廠家手動共晶機找手動共晶機找泰克光電。

    然而現(xiàn)有的夾取機構(gòu)一旦夾得不牢固,晶圓就容易從夾取機構(gòu)上掉落,造成損壞。例如,一旦真空吸盤發(fā)生真空失效的情況,晶圓會從吸盤底部垂直跌落,導(dǎo)致晶圓破損,生產(chǎn)成本較高。技術(shù)實現(xiàn)要素:本實用新型的目的是:提供一種晶圓視覺檢測機的晶圓移載機構(gòu),其結(jié)構(gòu)簡單,能避免晶圓跌落的情況發(fā)生,降低晶圓的損壞率。為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型提供了一種晶圓視覺檢測機的晶圓移載機構(gòu),其包括控制系統(tǒng)、升降裝置、承接裝置和感應(yīng)裝置,所述升降裝置包括升降驅(qū)動器和升降板。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗。我們的團(tuán)隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機設(shè)計、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。所述升降驅(qū)動器安裝在晶圓視覺檢測機上,所述升降驅(qū)動器的輸入端與所述控制系統(tǒng)電連接。

    泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗。我們的團(tuán)隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機設(shè)計、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。本實用新型涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種晶圓視覺檢測機的晶圓移載機構(gòu)。背景技術(shù):目前,集成電路產(chǎn)業(yè)是我國大力發(fā)展的重要科技產(chǎn)業(yè),而晶圓的生產(chǎn)和檢測是該產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)。晶圓被切割后,非常容易產(chǎn)生諸如污染、劃痕和裂紋等缺陷。若這些有問題的次品被流入下一環(huán)節(jié),將會地降低芯片的良率。為防止此情況發(fā)生,半導(dǎo)體生產(chǎn)車間中一般都設(shè)有晶圓視覺檢測機,用于檢測晶圓的質(zhì)量。傳統(tǒng)的晶圓檢測機依靠人工將晶圓搬運至檢測臺,這樣的操作費時費力。現(xiàn)有的晶圓視覺檢測機設(shè)有夾取機構(gòu),其能夾住晶圓,并將晶圓搬運到晶圓視覺檢測機的檢測裝置中。這種夾取機構(gòu)可以是真空吸盤或其他機械裝置。泰克光電共晶機將覆晶芯片牢固地通過共晶焊接技術(shù)焊接在基板上成為關(guān)鍵技術(shù)之一。

    泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗。我們的團(tuán)隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機設(shè)計、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機廣泛應(yīng)用于電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。因在于OH基SiO2膜中的擴散系數(shù)比O2的大。氧化反應(yīng),Si表面向深層移動,距離為SiO2膜厚的。因此,不同厚度的SiO2膜,去除后的Si表面的深度也不同。SiO2膜為透明,通過光干涉來估計膜的厚度。這種干涉色的周期約為200nm,如果預(yù)告知道是幾次干涉,就能正確估計。對其他的透明薄膜,如知道其折射率,也可用公式計算出(dSiO2)/(dox)=(nox)/(nSiO2)。SiO2膜很薄時,看不到干涉色,但可利用Si的疏水性和SiO2的親水性來判斷SiO2膜是否存在。也可用干涉膜計或橢圓儀等測出。SiO2和Si界面能級密度和固定電荷密度可由MOS二極管的電容特性求得。(100)面的Si的界面能級密度低,約為10E+10--10E+11/cm?數(shù)量級。(100)面時,氧化膜中固定電荷較多,固定電荷密度的大小成為左右閾值的主要因素。晶圓熱CVD熱CVD(HotCVD)/(thermalCVD),此方法生產(chǎn)性高。深圳全自動共晶機全自動共晶機找泰克光電。高速共晶機廠家現(xiàn)貨

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    從動輪盤與豎向桿面向齒圈固定板的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接。底板上對應(yīng)驅(qū)動輪盤的周向邊緣設(shè)置有軸承,驅(qū)動輪盤的周向邊緣轉(zhuǎn)動設(shè)置在軸承上。推薦的,底板還設(shè)置有相對設(shè)置的兩個限位輪座,軸承和驅(qū)動輪盤設(shè)置在兩個限位輪座之間。其中,齒圈固定板可以是與行星架的齒圈為一體構(gòu)造,也即如圖所示,齒圈固定板上的通孔上沿其周向設(shè)置內(nèi)齒作為齒圈。軸承可為法蘭軸承,數(shù)量可為兩個,兩個軸承分別設(shè)置在兩個限位輪座之間,且每個軸承設(shè)置在一個限位輪座上,軸承與限位輪座均位于驅(qū)動輪盤的下方。軸承的設(shè)置不能夠支撐驅(qū)動輪盤,使驅(qū)動輪盤能夠轉(zhuǎn)動,且配合限位輪座能夠限位驅(qū)動輪盤的位置,同時還可使得固定架在水平設(shè)置時,從動輪盤與底板泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗。我們的團(tuán)隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機設(shè)計、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機廣泛應(yīng)用于電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。高速共晶機廠家現(xiàn)貨