高精度探針臺(tái):目前世界出貨量頭一的型號(hào)吸收了較新的工藝科技例如OTS,QPU和TTG相關(guān)技術(shù),這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計(jì)及多種測(cè)試條件提供保證。特性1:OTS-較近的位置對(duì)正系統(tǒng)(光學(xué)目標(biāo)對(duì)準(zhǔn))OTS通過(guò)對(duì)照相機(jī)相對(duì)位置的測(cè)量來(lái)保證其一定位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù),來(lái)源于精密的度量技術(shù)。OTS實(shí)現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。特性2:QPU-高剛性的硅片承載臺(tái)(四方型系統(tǒng))為了有效的達(dá)到接觸位置的精度,硅片承載臺(tái)各部分的剛性一致是非常重要的,UF3000使用新的4軸機(jī)械轉(zhuǎn)換裝置(QPU),達(dá)到高剛性,高穩(wěn)定度的接觸。特性3:裝載部件。令客戶(hù)滿(mǎn)意的測(cè)試環(huán)境,可以提供從前部開(kāi)始的通常的8“,12”及基本檢查單元。也為自動(dòng)物料輸送系統(tǒng)應(yīng)用做好了準(zhǔn)備。特性4:TTG(一點(diǎn)即到)。更加方便的操作,UF3000采用在顯示屏上點(diǎn)一下,相關(guān)的屏幕就會(huì)切換到新的位置顯示。相關(guān)的設(shè)定十分方便。屏幕的顯示模式也可以由客戶(hù)自行定義。探針臺(tái)的設(shè)立能夠加深人類(lèi)對(duì)宇宙和自身的認(rèn)識(shí)。河北探針臺(tái)行價(jià)
全球半導(dǎo)體設(shè)備支出進(jìn)入上升周期。5G、物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、人工智能以及汽車(chē)電 子等新技術(shù)和新產(chǎn)品的應(yīng)用,將帶來(lái)龐大的半導(dǎo)體市場(chǎng)需求,行業(yè)將進(jìn)入新一輪的 上升周期。半導(dǎo)體設(shè)備位于產(chǎn)業(yè)鏈的上游,其市場(chǎng)規(guī)模隨著下游半導(dǎo)體的技術(shù)發(fā)展 和市場(chǎng)需求而波動(dòng)。根據(jù) SEMI 預(yù)測(cè),2020 年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)創(chuàng)紀(jì)錄 的 689 億美元,同比增長(zhǎng) 16%,2021 年將達(dá) 719 億美元,同比增長(zhǎng) 4.4%,2022 年仍舊保持增長(zhǎng)態(tài)勢(shì),市場(chǎng)將達(dá) 761 億美元,同比增長(zhǎng) 5.8%。安徽真空溫控探針臺(tái)平臺(tái)探針臺(tái)能夠?yàn)樘仗剿魈峁╆P(guān)鍵的科研數(shù)據(jù)。
極低溫測(cè)試:因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí),空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上,會(huì)導(dǎo)致漏電過(guò)大或者探針無(wú)法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。高溫?zé)o氧化測(cè)試:當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí),氧化現(xiàn)象會(huì)越來(lái)越明顯,并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過(guò)度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差,物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
8英寸手動(dòng)探針臺(tái)使用方式:1、將樣品載入真空卡盤(pán),開(kāi)啟真空閥門(mén)控制開(kāi)關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤(pán)上。2、使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái),在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3、使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。4、顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn),再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。5、待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀(guān)先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢,以防動(dòng)作過(guò)大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí),可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,然后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng),觀(guān)察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。6、確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后,則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試。探針臺(tái)能夠觀(guān)測(cè)到遠(yuǎn)離地球的星系和恒星群。
滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)。相對(duì)于平面電機(jī)工作臺(tái),絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜,工作臺(tái)由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng),導(dǎo)向部分采用精密直線(xiàn)滾動(dòng)導(dǎo)軌。由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件,所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小,使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3 ℃,濕度≤70%,無(wú)有害氣體的環(huán)境中,滾珠絲杠、直線(xiàn)導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,但不可過(guò)多,值得指出的是,這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過(guò)程中,從直線(xiàn)導(dǎo)軌的直線(xiàn)性,上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性,定位精度等都是用專(zhuān)業(yè)的儀器儀表調(diào)整,用戶(hù)一般情況不能輕易改變,一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來(lái)的狀態(tài),所以對(duì)需要調(diào)整的工作臺(tái)應(yīng)有專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)廠(chǎng)家或經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的專(zhuān)業(yè)人員完成。探針臺(tái)可以通過(guò)觀(guān)測(cè)宇宙現(xiàn)象來(lái)解開(kāi)地球和人類(lèi)的謎團(tuán)。河北探針臺(tái)行價(jià)
探針臺(tái)能夠捕捉到宇宙中不同能量和波長(zhǎng)的輻射線(xiàn),并運(yùn)用檔次高技術(shù)解析這些信息。河北探針臺(tái)行價(jià)
真空腔體密封技術(shù),真空腔體密封技術(shù)是真空探針的關(guān)鍵部分, 真空腔體密封一旦在設(shè)計(jì)和加工過(guò)程中出現(xiàn)設(shè)計(jì) 缺陷、密封效果不好等問(wèn)題,就會(huì)產(chǎn)生氣體泄漏, 對(duì)操作人員造成人身傷害、甚至對(duì)大氣環(huán)境造成 污染,這些問(wèn)題在后期將無(wú)法彌補(bǔ),在腔體裝配前 要進(jìn)行預(yù)裝試驗(yàn),防止類(lèi)似事件發(fā)生。真空腔體采用圓形桶狀,下端面與工作平臺(tái) 緊密結(jié)合,上端面端蓋可拆卸。選用不銹鋼材料鍛 造后一體加工。加工過(guò)程中合理進(jìn)行材料熱處理,減少加工變形。河北探針臺(tái)行價(jià)