總的來(lái)說(shuō),手動(dòng)探針臺(tái)適合研發(fā)人員使用,半自動(dòng)探針臺(tái)適合初學(xué)者使用,而全自動(dòng)探針臺(tái)適合具有一定經(jīng)驗(yàn)的測(cè)試人員使用。不同類型的探針臺(tái)各有優(yōu)缺點(diǎn),選擇何種探針臺(tái)主要取決于測(cè)試的需求和個(gè)人的技能水平。全自動(dòng)探針臺(tái)是一種全自動(dòng)控制的探針臺(tái),可以在沒(méi)有很多待測(cè)器件需要測(cè)量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用。相比于半自動(dòng)探針臺(tái),全自動(dòng)探針臺(tái)具有更高的精度和效率,可以在短時(shí)間內(nèi)完成大量的測(cè)試操作。全自動(dòng)探針臺(tái)通常還配備有晶圓材料處理搬運(yùn)單元(MHU)、模式識(shí)別(自動(dòng)對(duì)準(zhǔn))等功能,以確保晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試。全自動(dòng)探針臺(tái)通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。探針臺(tái)可以促進(jìn)人類文明的發(fā)展和太空探索的進(jìn)程。X8M探針臺(tái)工作原理
半導(dǎo)體測(cè)試是半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的重要環(huán)節(jié),其測(cè)試設(shè)備包括測(cè)試機(jī)、分選機(jī)、探針臺(tái)。其中,測(cè)試機(jī)是檢測(cè)芯片功能和性能的專業(yè)設(shè)備,分選機(jī)和探針臺(tái)是將芯片的引腳與測(cè)試機(jī)的功能模塊連接起來(lái)的專業(yè)設(shè)備,與測(cè)試機(jī)共同實(shí)現(xiàn)批量自動(dòng)化測(cè)試。受益于國(guó)內(nèi)封裝測(cè)試業(yè)產(chǎn)能擴(kuò)張,半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備市場(chǎng)快速發(fā)展。8英寸手動(dòng)探針臺(tái)是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái),適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析,抽查測(cè)試等用途。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。X8M探針臺(tái)工作原理探針臺(tái)的科研成果對(duì)探索宇宙、維護(hù)人類福祉和生存環(huán)境有著重要的促進(jìn)作用。
探針臺(tái)由哪些部分組成?1.樣品臺(tái)(載物臺(tái)),載物臺(tái)是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備。通常會(huì)根據(jù)晶圓的尺寸來(lái)設(shè)計(jì)大小,并配套了相應(yīng)的精密移動(dòng)定位功能。克洛諾斯科技自主研發(fā)的超精密氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)就是作為定位晶圓或芯片的部件設(shè)備,重復(fù)定位精度達(dá)±50納米,可以依靠精密機(jī)械運(yùn)作在極短的曝光時(shí)間內(nèi)完美定位,完成晶圓在量測(cè)端的極精密的檢測(cè)。2.光學(xué)元件,這個(gè)部件的作用是能夠從視覺(jué)上放大觀察待測(cè)物,以便精確地將探針先進(jìn)對(duì)準(zhǔn)并放置在待測(cè)晶圓/ 芯片的測(cè)量點(diǎn)上。3.卡盤,有一個(gè)非常平坦的金屬表面,卡盤用夾具來(lái)固定待測(cè)物,或使用真空來(lái)吸附晶圓。
手動(dòng)探針臺(tái)是一種手動(dòng)控制的探針臺(tái),通常用于沒(méi)有很多待測(cè)器件需要測(cè)量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下。該類探針臺(tái)的優(yōu)點(diǎn)是靈活、可變性高,易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測(cè)試環(huán)境,并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時(shí)間的電子設(shè)備、PC或軟件。手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)只需要少量的培訓(xùn),因此非常適合研發(fā)人員使用。半自動(dòng)探針臺(tái)是一種半自動(dòng)控制的探針臺(tái),可以在沒(méi)有很多待測(cè)器件需要測(cè)量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用。與手動(dòng)探針臺(tái)相比,半自動(dòng)探針臺(tái)的操作相對(duì)簡(jiǎn)單,但需要使用者進(jìn)行一些簡(jiǎn)單的操作,如移動(dòng)晶圓載物臺(tái)、調(diào)整顯微鏡焦距等。半自動(dòng)探針臺(tái)通常需要進(jìn)行一些預(yù)設(shè)置,以便能夠適應(yīng)不同的測(cè)試環(huán)境。探針臺(tái)具有規(guī)?;?、系統(tǒng)性、戰(zhàn)略性和國(guó)際性等特點(diǎn),是人類探索宇宙的中心樞紐。
設(shè)計(jì)需要提前考慮的方面有:腔體和外部管件的接口 預(yù)留位置和接口大小、與外部接線端子的預(yù)留位 置和數(shù)量、整個(gè)腔體端蓋的鎖緊形式、觀察窗口和照明系統(tǒng)的位置和數(shù)量、液氮管道的接口形 式、取放片窗口位置和大小,主要包括以下幾方面的設(shè)計(jì)。(1)真空腔體密封性設(shè)計(jì);(2)腔體內(nèi)對(duì)特種氣體的防腐蝕性、防毒性設(shè)計(jì); (3)腔體的電磁屏蔽設(shè)計(jì);(4)電氣接插頭的防潮、防水設(shè)計(jì);(5)操作區(qū)的安全設(shè)計(jì);(6)維修、維護(hù)的方便性設(shè)計(jì)。探針臺(tái)能夠幫助科學(xué)家解決在太空探索過(guò)程中的技術(shù)難題。安徽小型探針臺(tái)公司
探針臺(tái)可以幫助科學(xué)家研究和觀測(cè)太陽(yáng)系、銀河系乃至更遠(yuǎn)的星際空間。X8M探針臺(tái)工作原理
探針臺(tái)(Prober station)又稱探針測(cè)試臺(tái),主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái),探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座,配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析,抽查測(cè)試等用途。探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)得研發(fā),生產(chǎn)制造,失效分析等,是對(duì)晶圓(Wafer)上得器件進(jìn)行電特性測(cè)試或故障分析而使用得精密機(jī)臺(tái),通過(guò)探針臺(tái)能很好得幫助工程技術(shù)人員實(shí)現(xiàn)微小位置得電學(xué)參數(shù)測(cè)試。X8M探針臺(tái)工作原理