根據(jù)探針測(cè)試需要，XY 精密工作臺(tái)的技術(shù)要 求為：XY 向行程160 mm；精度±0.008 mm；重復(fù) 定位精度±0.003 mm；分辨率0.001 mm。在結(jié)構(gòu) 設(shè)計(jì)時(shí)，為達(dá)到上述精密控制要求選用伺服電機(jī) 驅(qū)動(dòng)，全閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制；整個(gè)工作臺(tái)需要放置于真 空腔體內(nèi)，結(jié)構(gòu)緊湊合理的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)可以有效 地減小真空腔體設(shè)計(jì)尺寸，XY 工作臺(tái)結(jié)構(gòu)采用 絲杠、交叉滾子導(dǎo)軌組合形式。其中Y 向絲杠采 用偏置方式；X 向絲杠采用對(duì)稱方式。對(duì)于電機(jī)、絲杠、導(dǎo)軌等外購(gòu)件，選型號(hào)時(shí)，需 要考慮溫度、濕度、腐蝕性等特種環(huán)境下運(yùn)行情 況，要求在高真空狀態(tài)下材料不能逸出空氣，外購(gòu) 件內(nèi)部、外部不能有揮發(fā)性油脂。如果沒(méi)有合適的 型號(hào)滿足上述要求，需要對(duì)相應(yīng)外購(gòu)件加裝特制 密封罩。探針臺(tái)的建設(shè)需要對(duì)宇宙環(huán)境綜合思考，并有針對(duì)性解決相關(guān)科技難題。海南12寸探針臺(tái)

探針臺(tái)。探針臺(tái)屬于整個(gè)測(cè)試系統(tǒng)的基礎(chǔ)，沒(méi)有探針臺(tái)，就相當(dāng)于醫(yī)生沒(méi)有了手術(shù)臺(tái)，在普通的病床上給病人做手術(shù)，將極大地增加手術(shù)風(fēng)險(xiǎn)。探針臺(tái)可按實(shí)現(xiàn)目標(biāo)功能不同劃分成三部分：顯微鏡、承載平臺(tái)和精密移動(dòng)組件。（1）顯微鏡。沒(méi)有該配置，所有精密操作將無(wú)從談起。目前行業(yè)內(nèi)較常見的配置有三種：體視顯微鏡、金相顯微鏡、單筒顯微鏡，前兩種用得較多。（2）承載平臺(tái)。該部分是構(gòu)成探針臺(tái)骨架，可分為顯微鏡支架、定位器平臺(tái)和樣品臺(tái)（載物臺(tái)）。天津探針臺(tái)哪家好探針臺(tái)的發(fā)展需要國(guó)際合作和共同努力。

x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)，無(wú)論是全自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)還是自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)，x-y向工作臺(tái)都是其較主要的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測(cè)試臺(tái)的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺(tái)的故障，而工作臺(tái)故障有許多是對(duì)其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的，所以對(duì)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。本文只對(duì)自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹。平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)，平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺(tái)， 動(dòng)子和定子間有一層氣墊，動(dòng)子浮于氣墊上，而可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)，由于動(dòng)子和定子間無(wú)相對(duì)摩擦故無(wú)磨損，使用壽命長(zhǎng)。

滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)，相對(duì)于平面電機(jī)工作臺(tái)，絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜，工作臺(tái)由上層（x向）及下層（y向）兩部分組成。工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動(dòng)導(dǎo)軌。由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件，所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小，使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3 ℃，濕度≤70%，無(wú)有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油，但不可過(guò)多，值得指出的是，這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過(guò)程中，從直線導(dǎo)軌的直線性，上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性，定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來(lái)的狀態(tài)，所以對(duì)需要調(diào)整的工作臺(tái)應(yīng)有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的專業(yè)人員完成。探針臺(tái)具有規(guī)模化、系統(tǒng)性、戰(zhàn)略性和國(guó)際性等特點(diǎn)，是人類探索宇宙的中心樞紐。

自動(dòng)探針臺(tái)主要功能：1. TTL專門使用測(cè)試儀接口；GPIB/RS232/網(wǎng)絡(luò)接口（選配）；與測(cè)試機(jī)連接方便；2. Windows風(fēng)格界面，動(dòng)態(tài)顯示測(cè)試過(guò)程，MAP圖實(shí)時(shí)顯示、存儲(chǔ)；3. Map導(dǎo)航功能，map編輯（可編輯標(biāo)注DIE屬性、測(cè)試區(qū)域）；4. 自動(dòng)測(cè)試方式有矩陣、圓形方式、Map方式；5. 圖像對(duì)準(zhǔn)功能，自動(dòng)掃描，自動(dòng)首點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)；6. 不良品噴墨打點(diǎn)標(biāo)記，墨點(diǎn)尺寸?0.5mm；7. 分級(jí)權(quán)限管理；8. 控制打印機(jī)打印測(cè)試結(jié)果；9. 配合上位機(jī)，上傳并記錄測(cè)試數(shù)據(jù)。探針臺(tái)的科學(xué)研究成果對(duì)推動(dòng)人類的科學(xué)技術(shù)進(jìn)步有著舉足輕重的作用。天津探針臺(tái)哪家好

探針臺(tái)的科研成果對(duì)探索宇宙、維護(hù)人類福祉和生存環(huán)境有著重要的促進(jìn)作用。海南12寸探針臺(tái)

承片臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，根據(jù)工藝要求，承片臺(tái)在繼承現(xiàn)有抬升機(jī)構(gòu) 穩(wěn)定性、可靠性的同時(shí)，還應(yīng)具有高低溫控特性、低電磁吸收率、抗酸堿腐蝕等特性。設(shè)備要求溫度 范圍為-65～+200 ℃，這就要求承片盤溫度在此范圍內(nèi)程控可調(diào)。制冷機(jī)構(gòu)和加熱機(jī)構(gòu)必須和承 片盤非常接近，能夠更大限度地減少能量浪費(fèi)，以 快速達(dá)到所需測(cè)試溫度。制冷機(jī)構(gòu)和制熱機(jī)構(gòu)的 合理設(shè)計(jì)，可以更好地避免由于溫度傳導(dǎo)作用引 起其它零部件的溫度大幅的變化。腔體內(nèi)填充一 定濃度的特種氣體進(jìn)行測(cè)試，承片臺(tái)的承片盤及 其他機(jī)械構(gòu)件必須具有耐腐蝕，在承片臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè) 計(jì)時(shí)，需要在特種環(huán)境下對(duì)選用的加工件材料和 外購(gòu)件進(jìn)行可靠性實(shí)驗(yàn)，保證長(zhǎng)時(shí)間在特種環(huán)境 下的有效性。海南12寸探針臺(tái)