半自動型,chuck尺寸800mm/600mm;X,Y電動移動行程200mm/150mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm;可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡;針座擺放個數(shù)6~8顆;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2";可搭配Probe card測試;適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品;電動型;chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不銹鋼或鍍金);X,Y電動移動行程300mm x 300mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm,微調(diào)精度土1u;可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡。探針臺的科學(xué)研究成果對推動人類的科學(xué)技術(shù)進(jìn)步有著舉足輕重的作用。電學(xué)溫控探針臺價位
全球半導(dǎo)體設(shè)備支出進(jìn)入上升周期。5G、物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、人工智能以及汽車電 子等新技術(shù)和新產(chǎn)品的應(yīng)用,將帶來龐大的半導(dǎo)體市場需求,行業(yè)將進(jìn)入新一輪的 上升周期。半導(dǎo)體設(shè)備位于產(chǎn)業(yè)鏈的上游,其市場規(guī)模隨著下游半導(dǎo)體的技術(shù)發(fā)展 和市場需求而波動。根據(jù) SEMI 預(yù)測,2020 年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模達(dá)創(chuàng)紀(jì)錄 的 689 億美元,同比增長 16%,2021 年將達(dá) 719 億美元,同比增長 4.4%,2022 年仍舊保持增長態(tài)勢,市場將達(dá) 761 億美元,同比增長 5.8%。電學(xué)溫控探針臺價位探針臺的科技成果對推進(jìn)全球科學(xué)事業(yè)、推動人類文明進(jìn)步發(fā)揮著重要的作用。
隨著5G、汽車?yán)走_(dá)等技術(shù)的發(fā)展,在片測試也進(jìn)入了亞毫米波/太赫茲頻段,對在片測試技術(shù)提出了更高的挑戰(zhàn)。在片測量系統(tǒng):微波射頻在片測量系統(tǒng)一般由射頻/微波測量儀器和探針臺及附件組成。 微波射頻在片測量系統(tǒng)中,探針臺和探針用于芯片測量端口與射頻測量儀器端口(同軸或波導(dǎo))之間的適配;微波射頻測量儀器完成各項(xiàng)所需的射頻測量。探針臺(Probe Station):探針臺是半導(dǎo)體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。通過與測試儀器的配合,探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進(jìn)入后序工序前予以剔除,較大程度上降低器件的制造成本。探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。
8英寸手動探針臺使用方式:1、將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點(diǎn)移動至顯微鏡下。4、顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點(diǎn),再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點(diǎn)在顯微鏡視場中心。5、待測點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點(diǎn),此時動作要小心且緩慢,以防動作過大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測點(diǎn)上空時,可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,然后則使用X軸旋鈕左右滑動,觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。6、確保針尖和被測點(diǎn)接觸良好后,則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。探針臺可以通過觀測宇宙現(xiàn)象來解開地球和人類的謎團(tuán)。
探針臺(Prober station)又稱探針測試臺,主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個可調(diào)測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進(jìn)行科研分析,抽查測試等用途。探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)得研發(fā),生產(chǎn)制造,失效分析等,是對晶圓(Wafer)上得器件進(jìn)行電特性測試或故障分析而使用得精密機(jī)臺,通過探針臺能很好得幫助工程技術(shù)人員實(shí)現(xiàn)微小位置得電學(xué)參數(shù)測試。探針臺的發(fā)展需要國際合作和共同努力。安徽X8M探針臺廠家直銷
探針臺是人類探索宇宙、了解自身的一所寶庫。電學(xué)溫控探針臺價位
讓一個好的探針臺與眾不同并為您的測試增加價值的是它能夠精確控制這些探針在設(shè)備上的位置、外部刺激的應(yīng)用方式以及測試發(fā)生時設(shè)備周圍的環(huán)境條件。探針臺由六個基本組件組成:Chuck – 一種用于固定晶片或裸片而不損壞它的裝置。載物臺 – 用于將卡盤定位在 X、Y、Z 和 Theta (θ) 上。機(jī)械手——用于將探頭定位在被測設(shè)備 (DUT) 上。壓板 - 用于固定操縱器并使探針與設(shè)備接觸。探頭先進(jìn)和臂 - 安裝在機(jī)械手上,它們直接接觸設(shè)備。光學(xué) - 用于查看和放大被測設(shè)備和探頭先進(jìn)。電學(xué)溫控探針臺價位